加热装置及包括该装置的涂覆机制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种加热装置及包括该装置的涂覆机，所述加热装置生成用于镀覆连续移动的母材(钢板)的涂覆蒸汽(气体)。本发明专利技术中，采用液相供给方式，将所供给的固相涂覆材料容纳在喷嘴装置的内部，然后进行加热以将液相涂覆材料供给至加热部，因此能够顺利、稳定地生成涂覆蒸气，此外可实现固态涂覆材料的预热供给，并防止供给管道堵塞，以根本上提高高速移动的钢板的涂覆质量或操作性。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】【专利摘要】本专利技术涉及一种加热装置及包括该装置的涂覆机，所述加热装置生成用于镀覆连续移动的母材(钢板)的涂覆蒸汽(气体)。本专利技术中，采用液相供给方式，将所供给的固相涂覆材料容纳在喷嘴装置的内部，然后进行加热以将液相涂覆材料供给至加热部，因此能够顺利、稳定地生成涂覆蒸气，此外可实现固态涂覆材料的预热供给，并防止供给管道堵塞，以根本上提高高速移动的钢板的涂覆质量或操作性。【专利说明】加热装置及包括该装置的涂覆机
本专利技术涉及一种生成用于镀覆连续移动的母材(钢板)的涂覆蒸气(气体)的加热装置，更详细地，涉及一种加热装置及包括该装置的涂覆机，采用液相供给方式，将所供给的固相涂覆材料容纳在喷嘴装置的内部，然后进行加热以将液相涂覆材料排出至加热部，因此能够顺利、稳定地生成涂覆蒸气，此外可实现固相涂覆材料的预热供给，防止供给管道堵塞，以根本上提高(高速移动)钢板的涂覆质量或作业效率。
技术介绍
通过在真空氛围下对基板，如连续(高速)移动的钢板进行沉积的公知方式，将涂覆材料即金属蒸气涂覆在钢板表面。如上所述的真空沉积是在真空氛围下通过多种方式将固体(固相)或液体(液相)涂覆材料进行加热-蒸发，以转换成蒸气(气体)并沉积在钢板上，由此进行涂覆的方式。然而，如上所述的通过真空沉积的基板(钢板)的连续涂覆可根据加热方法进行分类，例如有热蒸发镀法(thermal e vaporat i on )和电子束沉积法(e I ec tron beamevaporat1n)等。另外，近年来正研发用于高速沉积的电磁(悬浮)沉积法(eIectro-magneti clevitat1n evaporat1n)ο如上所述的电磁沉积法是通过如下方法实施，即将涂覆材料包覆于电磁线圈，并将高频电源生成的高频交流电流施加到电磁线圈，通过此时生成的交流电磁场将涂覆材料加热至悬浮状态，因此，与现有的在坩祸中生成金属蒸气相比，能够减少热量损失，同时能够将大量的金属蒸气涂覆在基板如连续(高速)移动的钢板表面。但是，为了在真空环境下涂覆连续移动的钢板需要生成涂覆蒸气的加热装置(蒸发源装置)，而为了实现连续涂覆需要供给涂覆材料(蒸发(涂覆)对象物质)。如上所述的涂覆材料的供给可根据涂覆材料的状态分为固相(固体)供给和液相(液体)供给，液相供给时可分为机械方式、利用高度差的方式、压力差方式等。例如，液相供给方式中的机械方式有活塞式(美国公开专利US2005-0229856)、利用电磁的MHD栗方式(韩国公开专利第2007-0015923号)、螺旋方式(日本公开专利第2010-189739 号)等。并且，利用高度差的方式被韩国公开专利第2009-0074064号等中公开，压力差方式被日本公开专利昭55-154537号等中公开。然而，上述相关专利中公开的液相供给方式有一个共同的问题，即，因所供给的液相物质的温度或者化学性质导致设备的侵蚀(磨损)。另一方面，作为固相(固体)供给方式的代表性方式，迄今为止使用了供给固体线(solid wire)的方式，但是该方式具有在电磁线圈内降低蒸气物质温度的问题。
技术实现思路
(一)要解决的技术问题因此，在本专利技术所属
中需要如下的加热装置，S卩，采用液相供给方式，将所供给的固相涂覆材料容纳在喷嘴装置内部，然后进行加热，并将液相涂覆材料排出至加热部，由此能够顺利、稳定地生成涂覆蒸气。此外，还需要通过对固相涂覆材料进行预热，以顺利相变成液相涂覆材料，并防止涂覆材料供给管道堵塞和涂覆蒸气回流的加热装置。并且，还需要利用所述加热装置来根本上提高高速移动的钢板的涂覆质量或作业效率的涂覆机。(二)技术方案作为实现上述目的的技术性的一个方式，本专利技术提供一种加热装置，其包括:加热部，对所供给的涂覆材料进行加热，以便生成沉积在涂覆对象上的涂覆蒸气；以及喷嘴装置，配置在所述加热部内侧，并放置所供给的固相涂覆材料，以便加热时相变成液相涂覆材料，然后排出至加热部。并且，作为技术性的另一个方式，本专利技术提供一种涂覆机，其包括:上述加热装置；真空腔室，包围所述加热装置的全部或一部分，在涂覆对象通过真空状态下的所述真空腔室时，得以将加热装置中生成的涂覆蒸气镀覆在涂覆对象上；以及涂覆蒸气喷射管，与所述加热装置中所包括的涂覆蒸气生成管连接，并具备用于向涂覆对象喷射所生成的涂覆蒸气的喷射口。(三)有益效果如上所述的本专利技术的加热装置具有如下效果，S卩，采用涂覆蒸汽的生成量少或温度下降少的液相供给方式，将所供给的固相涂覆材料容纳在喷嘴装置内部，然后进行加热，以将液相涂覆材料最终供给至加热部，由此能够顺利、稳定地生成涂覆蒸气。并且，本专利技术的加热装置还具有如下效果，S卩，可进一步对固相涂覆材料进行预热，以容易地相变成液相涂覆材料，并防止在特定位置(固相的液相物质供给管道的路径中)的涂覆蒸气回流或者供给管道的堵塞。因此，本专利技术的利用加热装置的涂覆机还具有如下效果，S卩，尤其能够提高高速移动的钢板的涂覆质量或作业效率。【附图说明】图1是示出包括图2和图3中示出的本专利技术的一个实施例的喷嘴装置的本专利技术的涂覆机的整体结构的结构图。图2是示出本专利技术的一个实施例的包括喷嘴装置的加热装置的图1的一部分的放大图。图3是示出图2的本专利技术的喷嘴装置的分解立体图。图4是示出本专利技术的另一个实施例的包括喷嘴装置的加热装置的图1的一部分的放大图。图5是示出图4的本专利技术的喷嘴装置的分解立体图。图6是示出本专利技术的包括与喷嘴装置连接的缓冲装置的加热装置的图1的一部分的放大图。图7是示出图6的本专利技术的与缓冲装置连接的喷嘴装置的分解立体图。图8是示出本专利技术的又一个实施例的喷嘴装置的结构图。图9是示出本专利技术的又一个实施例的喷嘴装置的立体图。图10是示出图9的本专利技术的喷嘴装置的平面结构图。图11是示出本专利技术的设置在加热装置中的供给管道阻挡装置的图1的一部分的放大图。图12是图11的平面结构图。图13是示出本专利技术的包括加热装置的图1的涂覆机的变形例的整体结构的结构图。图14是示出本专利技术的包括加热装置的图1的涂覆机的另一个实施例的整体结构的结构图。【具体实施方式】以下，(参照附图)对本专利技术的优选实施方式进行说明。但是，本专利技术的实施方式可变更为其他多种方式，本专利技术的保护范围并不限定于以下说明的实施方式。并且，本专利技术的实施方式是为了向本领域的普通技术人员更全面地说明本专利技术而提供的。(为了更明确地说明，可放大表示附图中的构件形状和大小等。)首先，图1、13、14中示出了包括具备下面将进行详细说明的图2至图10中具体说明的本专利技术的喷嘴装置50的加热装置I的一个实施例、变形例以及其他实施例的涂覆机200。另外，图1和图13中示出的一个实施例和其变形例的本专利技术的涂覆机200描述了垂直移动涂覆对象即钢板210的同时进行涂覆的方式，图14中示出的本专利技术的另一个实施例的涂覆机200描述了水平移动钢板210的同时进行涂覆的方式，下面将详细说明的本专利技术的加热装置I均可适用于这些涂覆机200。在下面的本实施例的说明中将涂覆对象限定为(高速)移动的钢板210来进行说明，对于涂覆材料(涂覆介质)，将固体状态的涂覆材料表示为‘固相涂覆材料10’，将通过加热从固相涂覆材料相变(熔融)成液体状态的涂覆材料表示为‘液相涂覆材料12’，对液本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种加热装置，其包括：加热部，对所供给的涂覆材料进行加热，以便生成沉积在涂覆对象上的涂覆蒸气；以及喷嘴装置，配置在所述加热部内侧，并放置所供给的固相涂覆材料，以便加热时相变成液相涂覆材料，然后排出至加热部。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：郑勇华，郑宇城，南庆勋，严文钟，洪锡俊，郭荣镇，金兑烨，李东烈，
申请(专利权)人：POSCO公司，
类型：发明
国别省市：韩国;KR