线性蒸发源、蒸镀装置及方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种线性蒸发源、蒸镀装置及方法。其中，所述蒸镀方法包括：控制线性蒸发源的蒸发部对蒸发材料进行加热，使其形成气态蒸发材料并凝结在需要蒸镀的基板上；在传送所述基板的同时，控制所述蒸发部沿着预定方向进行往复式运动，所述预定方向为垂直于所述基板运动方向的方向。通过本发明专利技术，避免了各种显示不均现象的发生。达到了提高显示面板的显示效果和用户体验度的效果。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及显示
，尤其是涉及一种线性蒸发源、蒸镀装置及方法。
技术介绍
OLED(OrganicLightEmittingDiode，有机发光二极管)以其轻薄、低功耗、高对比度、高色域以及柔性显示等诸多优点，逐渐成为下一代显示器的发展趋势。蒸镀装置是用于制备OLED显示器件中各功能层薄膜的重要研发和生产设备，其在OPV(有机太阳能电池)、OFET(OrganicField-EffectTransistors，有机场效应晶体管)等诸多有机光电领域也被广泛运用。OLED显示器件包括各种有机功能材料层，目前，制作有机功能材料层的主流技术是采用线性蒸发源对TFT(ThinFilmTransistor，薄膜晶体管)基板进行蒸镀扫描的方式，为便于理解，请参考图1A(图1A是根据现有技术的线性蒸发源进行蒸镀的正视角度示意图)和图1B(图1B是根据现有技术的线性蒸发源进行蒸镀的俯视角度示意图)，如图1A和图1B所示，线性蒸发源固定在TFT基板下方，TFT基板朝向线性蒸发源并以速度V垂直于线性蒸发源的长轴方向运动，在这个过程中，线性蒸发源以不断加热的方式在其上方形成了有机材料的有效蒸发范围，这个蒸发范围必须大于TFT基板的有效区域。蒸发的有机材料在TFT基板上遇冷凝结成膜，形成了各有机功能材料层。通常情况下，由于线性蒸发源比较长，线性蒸发源各段会分别使用独立的加热器进行加热，不同加热器之间的加热功率和加热效果差别很大，而且线性蒸发源各段中所处的环境也各不相同。由于这两个原因，线性蒸发源的有效蒸发范围内不同位置的有机材料的蒸发速率是不一样的，如图1A所示，不同区域的蒸发线分别以V1、V2、V3的速度(V1、V2、V3代表不同的蒸发速率)对TFT基板进行蒸镀，这就会导致蒸镀到TFT基板上不同位置的有机材料的膜厚不一致，从而降低了蒸镀的精度，并最终影响了显示器的显示效果，极容易出现显示不均的现象。
技术实现思路
本专利技术的主要目的在于提供一种避免由于蒸发材料的不同蒸发速率导致形成在TFT基板上的膜厚不一致，从而避免产生显示不均现象的技术方案。为了达到上述目的，根据本专利技术的一个方面，提供了一种线性蒸发源，包括：蒸发部，用于对蒸发材料进行加热，使其形成气态蒸发材料并凝结在需要蒸镀的基板上；控制模块，用于控制所述蒸发部沿着预定方向进行往复式运动。优选地，所述预定方向为所述蒸发部的长轴方向。优选地，还包括：滑动轨道；设置在所述滑动轨道上的滑动模块，用于承载所述蒸发部，在所述控制模块的控制下，带动所述蒸发部沿着所述长轴方向进行所述往复式运动。优选地，所述滑动轨道为凹槽，所述滑动模块为滑轮或长方体状滑块。优选地，所述滑动轨道为工字型轨道，所述滑动模块为滑轮。优选地，所述往复式运动为匀速运动。根据本专利技术的另一个方面，提供了一种蒸镀装置，该蒸镀装置包括上述线性蒸发源。优选地，还包括：传输部，用于将基板传送至所述线性蒸发源的蒸发部的蒸镀区域，使得所述蒸发部对所述基板进行蒸镀。优选地，当所述蒸发部沿着所述长轴方向运动到所述基板的边缘位置时，所述蒸发部的蒸镀区域完全覆盖所述基板的待蒸镀区域。优选地，所述往复式运动的速率大于所述传输部传送基板的速率。根据本专利技术的又一个方面，提供了一种蒸镀方法，应用于上述蒸镀装置，所述方法包括：控制线性蒸发源的蒸发部对蒸发材料进行加热，使其形成气态蒸发材料并凝结在需要蒸镀的基板上；在传送所述基板的同时，控制所述蒸发部沿着预定方向进行往复式运动，所述预定方向为垂直于所述基板运动方向的方向。与现有技术相比，本专利技术所述的线性蒸发源、蒸镀装置及方法，采用使线性蒸发源沿着长轴以一定频率来回运动的方式，在其上方形成更为均匀的有机蒸发材料分布区域，使有机材料蒸发速率更加均一，从而提高蒸镀出的各有机材料功能膜层的厚度均匀性，提高显示面板的显示效果。附图说明图1A是根据现有技术的线性蒸发源进行蒸镀的截面示意图；图1B是根据现有技术的线性蒸发源进行蒸镀的俯视示意图；图2是根据本专利技术实施例的蒸镀装置进行蒸镀的截面示意图；图3是根据本专利技术实施例的蒸镀装置进行蒸镀的俯视示意图；以及图4是根据本专利技术实施例的蒸镀方法流程图。具体实施方式下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域的普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。目前，线性蒸发源的有效蒸发范围内不同位置的有机材料的蒸发速率不一样，导致蒸镀到TFT基板上不同位置的有机材料的膜厚不一致而容易出现显示不均，降低显示器的显示效果。为了解决该问题，有些技术方案采用降低TFT基板的温度的方法，来降低基板的变形量从而提高蒸镀均匀性，但依然没有根据膜厚不一致的主要成因做出改进。基于此，本专利技术实施例提供了一种线性蒸发源。该线性蒸发源可以包括：蒸发部，用于对蒸发材料进行加热，使其形成气态蒸发材料并凝结在需要蒸镀的基板上；控制模块，用于控制所述蒸发部沿着预定方向进行往复式运动。采用这种设计的线性蒸发源，其蒸发部在控制模块的控制下可以做往复式运动，可以均衡不同位置和不同环境下的有机材料蒸发速率，使有机材料的蒸发速率更加均一，从而使得蒸镀在基板上的有机材料膜厚变得均匀，提高显示器的显示效果。作为一个优选示例，可以将所述预定方向设定为所述蒸发部的长轴方向，这种情况下，蒸发部沿着其长轴方向做往复式运动，而需要蒸镀的基板通常是在垂直于蒸发部的长轴方向的方向上匀速前进的，即，蒸发部的运动方向与基板的运动方式是垂直的，更加有利于对蒸发部各段的有机材料蒸发速率的均匀化，从而使蒸镀在基板上的有机材料膜厚更加均匀。当然，在实际应用中，所述预定方向可以是与蒸发部的长轴方向成一定角度的方向，相对蒸发部固定设置而言，只要蒸发部处于往复式运动状态，就有利于均匀化蒸发部各段上有机材料的不同蒸发速率。在本专利技术实施例中，所述线性蒸发源还包括滑动轨道，以及设置在所述滑动轨道上的滑动模块，该滑动模块用于承载所述蒸发部，并在所述控制模块的控制下，带动所述蒸发部沿着所述长轴方向进行所述往复式运动。采用这种滑动轨道和滑动模块的组合移动机构，可以方便地承载着所述蒸发部进行移动，而且这种组合移动机构的设计方式比较简单，制作成本较低。对于本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种线性蒸发源，其特征在于，包括：蒸发部，用于对蒸发材料进行加热，使其形成气态蒸发材料并凝结在需要蒸镀的基板上；控制模块，用于控制所述蒸发部沿着预定方向进行往复式运动。

【技术特征摘要】
1.一种线性蒸发源，其特征在于，包括：
蒸发部，用于对蒸发材料进行加热，使其形成气态蒸发材料并凝结在需要
蒸镀的基板上；
控制模块，用于控制所述蒸发部沿着预定方向进行往复式运动。
2.根据权利要求1所述的线性蒸发源，其特征在于，所述预定方向为所
述蒸发部的长轴方向。
3.根据权利要求2所述的线性蒸发源，其特征在于，还包括：
滑动轨道；
设置在所述滑动轨道上的滑动模块，用于承载所述蒸发部，在所述控制模
块的控制下，带动所述蒸发部沿着所述长轴方向进行所述往复式运动。
4.根据权利要求3所述的线性蒸发源，其特征在于，所述滑动轨道为凹
槽，所述滑动模块为滑轮或长方体状滑块。
5.根据权利要求3所述的线性蒸发源，其特征在于，所述滑动轨道为工
字型轨道，所述滑动模块为滑轮。
6.根据权利要求1至5中任一项所述的线性蒸发源，其特征在于，所述
往复式运动为匀速运动。
7.一种蒸镀装置...

【专利技术属性】
技术研发人员：马凯葓，上官荣刚，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，合肥鑫晟光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：北京;11