下载线性蒸发源、蒸镀装置及方法的技术资料

文档序号:13455856

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本发明公开了一种线性蒸发源、蒸镀装置及方法。其中,所述蒸镀方法包括:控制线性蒸发源的蒸发部对蒸发材料进行加热,使其形成气态蒸发材料并凝结在需要蒸镀的基板上;在传送所述基板的同时,控制所述蒸发部沿着预定方向进行往复式运动,所述预定方向为垂直于...
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