圆片级封装结构及其工艺方法技术

技术编号:11191561 阅读:38 留言:0更新日期:2015-03-25 20:11
本发明专利技术涉及一种圆片级封装结构及其工艺方法,所述结构包括引线框(1),所述引线框(1)上倒装有芯片(2),所述芯片(2)正面设置有金属凸点(3),所述金属凸点(3)与芯片(2)之间通过锡球(4)相连接,所述金属凸点(3)和锡球(4)周围设置有不导电胶(5),所述引线框(1)周围包封有塑封料(6),所述引线框(1)背面电镀有金属层(7)。本发明专利技术一种圆片级封装结构及其工艺方法,圆片上的图面设计与引线框的图面完全对应,实现整片圆片倒装于引线框,再进行圆片的切割分离以及封装,实现单颗芯片尺寸等同于引线框单颗Unit的晶圆级封装。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种,属于半导体封装

技术介绍
现有的圆片级封装,先对圆片进行划片,将完成划片后分离的芯片正面粘贴在载板上,再对载板粘贴芯片的一侧进行塑封,去除载板,露出芯片正面,对芯片正面电极进行Fanout重布线制作金属线路与产品电性的输出。圆片划片后单颗芯片排列粘贴在载板上进行包封、制作Fanout金属线路,一方面芯片排列对位的效率低,而且分离芯片排列对位容易产生位移偏差,这将造成后续芯片正面Fanout金属线路的偏移;由于圆片Fanout封装在封装厂进行,但是对于封装厂进行Fanout工艺涉及的密间距线路制作,难度比较高,容易出现线路短路、线路剥离的问题,良率偏低。
技术实现思路
本专利技术的目的在于克服上述不足,提供一种,圆片上的图面设计与引线框的图面完全对应,实现整片圆片倒装于引线框,再进行圆片的切割分离以及封装,实现单颗芯片尺寸等同于引线框单颗Unit的晶圆级封装。 本专利技术的目的是这样实现的:一种圆片级封装结构,它包括引线框,所述引线框上倒装有芯片,所述芯片正面设置有金属凸点,所述金属凸点与芯片之间通过锡球相连接,所述金属凸点和锡球周围设置有不导电胶,所述引线框周围包封有塑封料,所述引线框背面电镀有金属层。 一种圆片级封装结构的工艺方法,所述方法包括以下步骤:步骤一、取一圆片,圆片正面线路设计完全对应于引线框图面,单颗芯片尺寸等同于封装尺寸;步骤二、在圆片正面电极上制作金属凸点;步骤三、在金属凸点上制作锡球;步骤四、在完成锡球制作的圆片正面被覆一层不导电胶,并进行不导电胶的固化; 步骤五、对圆片正面进行磨胶,露出金属柱子上的锡层;步骤六、将完成磨胶的圆片倒装于引线框;步骤七、将完成倒装的产品放入回流焊设备进行回流焊;步骤八、对完成回流焊的产品进行塑封;步骤九、对完成塑封后的产品进行引线框背面电镀;步骤十、对完成电镀的产品进行切割,分离单个产品。 所述圆片正面线路可以根据引线框图面进行Fanout设计;所述引线框图面可以根据圆片正面线路进行匹配设计。 所述不导电胶被覆方式采用刷胶或甩胶的方式。 与现有技术相比,本专利技术具有以下有益效果: 1、芯片重布线制作与封装分别由各自擅长的晶圆FAB厂与封装厂完成,产品良率比较尚;2、引线框单颗Unit尺寸等同于单独的芯片尺寸,不仅最大化地利用了金属引线框,而且可以缩小产品尺寸,提高引线框的利用率,降低材料成本;3、整片圆片一次倒装完成、大大提高了生产效率,降低了生产成本。 【附图说明】 图1为本专利技术一种圆片级封装结构的结构示意图。 图2~图11为本专利技术一种圆片级封装结构工艺方法的各工序示意图。 其中:引线框1 芯片2金属凸点3 锡球4 不导电胶5 塑封料6 金属层7。 【具体实施方式】 参见图1,本专利技术一种圆片级封装结构,它包括引线框1,所述引线框1上倒装有芯片2,所述芯片2正面设置有金属凸点3,所述金属凸点3与芯片2之间通过锡球4相连接,所述金属凸点3和锡球4周围设置有不导电胶5,所述引线框1周围包封有塑封料6,所述引线框1背面电镀有金属层7。 其工艺方法如下:步骤一、参见图2,取一圆片,圆片正面线路设计完全对应于引线框图面,单颗芯片尺寸等同于封装尺寸;步骤二、参见图3,在圆片正面电极上制作金属凸点;步骤三、参见图4,在金属凸点上制作锡球;步骤四、参见图5,在完成锡球制作的圆片正面被覆一层不导电胶,并进行不导电胶的固化,被覆方式可以采用刷胶、甩胶;步骤五、参见图6,对圆片正面进行磨胶,露出金属柱子上的锡层;步骤六、参见图7,将完成磨胶的圆片倒装于引线框;步骤七、参见图8,将完成倒装的产品放入回流焊设备进行回流焊;步骤八、参见图9,对完成回流焊的产品进行塑封;步骤九、参见图10,对完成塑封后的产品进行引线框背面电镀;步骤十、参见图11,对完成电镀的产品进行切割,分离单个产品。 所述圆片正面线路可以根据引线框图面进行Fanout设计;所述引线框图面可以根据圆片正面线路进行匹配设计。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种圆片级封装结构,其特征在于:它包括引线框(1),所述引线框(1)上倒装有芯片(2),所述芯片(2)正面设置有金属凸点(3),所述金属凸点(3)与芯片(2)之间通过锡球(4)相连接,所述金属凸点(3)和锡球(4)周围设置有不导电胶(5),所述引线框(1)周围包封有塑封料(6),所述引线框(1)背面电镀有金属层(7)。

【技术特征摘要】
1.一种圆片级封装结构,其特征在于:它包括引线框(1),所述引线框(I)上倒装有芯片(2),所述芯片(2)正面设置有金属凸点(3),所述金属凸点(3)与芯片(2)之间通过锡球(4)相连接,所述金属凸点(3)和锡球(4)周围设置有不导电胶(5),所述引线框(I)周围包封有塑封料(6 ),所述引线框(I)背面电镀有金属层(7 )。2.一种圆片级封装结构的工艺方法,其特征在于所述方法包括以下步骤: 步骤一、取一圆片,圆片正面线路设计完全对应于引线框图面,单颗芯片尺寸等同于封装尺寸; 步骤二、在圆片正面电极上制作金属凸点; 步骤三、在金属凸点上制作锡球; 步骤四、在完成锡球制作的圆片正面被...

【专利技术属性】
技术研发人员:王亚琴梁志忠王孙艳
申请(专利权)人:江苏长电科技股份有限公司
类型:发明
国别省市:江苏;32

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