本实施方式涉及一种分别关联的不同折射率区域的重心位置与晶格点的位置关系与现有的发光装置不同的发光装置及其制造方法。在该发光装置中，在基板上设置有包含发光部和与该发光部光学耦合的相位调制层的层叠体。相位调制层包含基本层和设置于该基本层内的...

本发明提供一种反射型空间光调制器，其具备：电光结晶，其具有输入光被输入的输入面和与输入面相对的背面；光输入输出部，其配置于电光结晶的输入面，且具有透射输入光的第一电极；光反射部，其包含配置有多个第二电极的基板及将基板固定于背面的粘接层，...

本发明提供一种反射型空间光调制器，其具备：电光结晶，其具有输入光被输入的输入面和与输入面相对的背面；光输入输出部，其配置于电光结晶的输入面，且具有透射输入光的第一电极；光反射部，其包含包括多个第二电极的基板，且配置于电光结晶的背面侧；驱...

光调制器具备：钙钛矿型的电光晶体，其具有输入输入光的输入面和与输入面相对的背面；第一光学元件，其具有配置于电光晶体的输入面，且透过输入光的第一电极；第二光学元件，其具有配置于电光晶体的背面，且透过输入光的第二电极；驱动电路，其向第一电极...

致动器装置包括支承部、第1可动部、第2可动部和第2连结部。第2可动部具有：位于第1轴线上的第1可动部的两侧且与一对第1连结部连接的一对第1连接部；和位于第2轴线上的第1可动部的两侧且与一对第2连结部连接的一对第2连接部。一对第2连接部的...

致动器装置包括：支承部；第1可动部；第2可动部；将第1可动部与第2可动部相互连结的第1连结部；将第2可动部与支承部相互连结的第2连结部；设置于第2可动部的螺旋状的线圈；产生作用于线圈的磁场的磁场产生部；设置于支承部的第1外部端子；和与线...

半导体器件检查装置(1)具备：光传感器(12)，其检测来自输入有电信号的半导体器件(10)的光；光学系统，其将来自半导体器件(10)的光向光传感器(12)导光；及控制装置(18)，其与光传感器(12)电连接；控制装置(18)具有：测量部...

本发明提供一种光检测电路，其包括：具有第1阳极和第1阴极，因与入射光量相应地产生的光电动势而在第1阳极与第1阴极之间产生电压的第1光检测元件、和具有第1非反相输入端子、第1反相输入端子和第1输出端子的第1运算放大器，第1非反相输入端子连...

本发明的膜厚测量装置(1)包括：输出测量光(L1)的光输出部(12)；对被检测光(L2)进行分光检测的分光检测部(13)；和分析部(15)，将从分光检测部(13)的检测结果获得的测量对象物(S)的每个波长的实测反射率与理论反射率进行比较...

本发明的电气检查方法具备如下步骤：准备晶圆(100)，该晶圆构成有互相相对的第1镜部与第2镜部之间的距离通过静电力而变化的多个法布里‑帕罗干涉滤光器部；及检查多个法布里‑帕罗干涉滤光器部的各个的电气特性。

激光解吸电离法包括：准备包括形成有在彼此相对的第1表面(2a)和第2表面(2b)开口的多个贯通孔的基板(2)和至少设置于第1表面的导电层的试样支承体(1)的第1工序；向多个贯通孔导入试样(S)和在真空中具有不易挥发性的溶剂(81)的第2...

本发明的光检查装置具备：晶圆支撑部，其将构成有互相相对的第1镜部与第2镜部间的距离通过静电力而变化的多个法布里‑帕罗干涉滤光器部的晶圆，以第1镜部与第2镜部互相相对的方向沿基线的方式支撑；光出射部，其使沿基线入射至多个法布里‑帕罗干涉滤...

光子计数装置包括：多个像素，其包括将输入的光转换为电荷的光电转换元件和将由光电转换元件转换后的电荷放大并转换为电压的放大器；A/D转换器，其将从多个像素的所述放大器输出的电压转换为数字值；和转换部，其按多个像素的每个，参考参照数据将从A...

光子计数装置包括：多个像素，其包含将输入的光转换为电荷的光电转换元件和将由光电转换元件转换后的电荷放大而转换为电压的放大器；A/D转换器，其将从多个像素各自的放大器输出的电压转换为数字值并输出；修正部，其以抑制多个像素间的增益和偏置值的...

一种搬运方法，是用于搬运包含多个法布里‑帕罗干涉滤波器的对象物的搬运方法，具备将上述对象物收纳于收纳容器的第1工序；上述法布里‑帕罗干涉滤波器具有基板、及设置于上述基板上且经由空隙而互相相对并且彼此的距离为可变的第1镜部及第2镜部；在上...

本发明的一实施方式的异物除去方法包含如下步骤：准备法布里‑帕罗干涉滤光器，该法布里‑帕罗干涉滤光器构成为在互相相对的第1层叠体的至少包含第1镜部的部分与第2层叠体的至少包含第2镜部的部分间形成空隙，从而互相相对的第1镜部与第2镜部间的距...

吸附方法是使用吸附夹头吸附具备基板、及设置于上述基板上且包含面向与上述基板相反侧的主面的层叠结构部的法布里‑帕罗干涉滤波器的吸附方法，具备：第1工序，其以与上述主面相对的方式配置上述吸附夹头；第2工序，其在上述第1工序之后，使上述吸附夹...

吸附方法是使用吸附夹头吸附法布里‑帕罗干涉滤波器的吸附方法，该法布里‑帕罗干涉滤波器具备基板、设置于上述基板上且包含面向与上述基板相反侧的主面的层叠结构部、及自与上述主面交叉的方向观察位于上述层叠结构部的外侧且较上述主面更朝上述基板侧凹...

在光学器件中，第1、第2、第3和第4可动梳齿电极在从第1方向看的情况下分别配置于第1支承部与第2方向上的可动部的一侧的第1端部之间、第2支承部与第2方向上的可动部的另一侧的第2端部之间、第3支承部与可动部的第1端部之间和第4支承部与可动...

本发明的目的是提供一种能够高精度地形成梁部的光学器件的制造方法。本发明的光学器件的制造方法包括：第1步骤，准备具有与基底、可动部和弹性支承部对应的部分的半导体基板(100)；第2步骤，在第1半导体层(101)的与绝缘层(103)相反侧的...