电气检查方法技术

技术编号:24865611 阅读:22 留言:0更新日期:2020-07-10 19:16
本发明专利技术的电气检查方法具备如下步骤:准备晶圆(100),该晶圆构成有互相相对的第1镜部与第2镜部之间的距离通过静电力而变化的多个法布里‑帕罗干涉滤光器部;及检查多个法布里‑帕罗干涉滤光器部的各个的电气特性。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】电气检查方法
本公开涉及一种用以获得法布里-帕罗干涉滤光器的电气检查方法。
技术介绍
作为现有的法布里-帕罗干涉滤光器,已知有具备基板、及在基板上经由空隙互相相对的固定镜及可动镜的滤光器(例如参照专利文献1)。现有技术文献专利文献专利文献1:日本特表2013-506154号公报
技术实现思路
[专利技术所要解决的问题]如上述的法布里-帕罗干涉滤光器由于为微细的构造体,故在制造法布里-帕罗干涉滤光器时,提高制造效率及良率的两者较困难。因此,本公开的目的在于提供一种能够效率良好且良率良好地获得多个法布里-帕罗干涉滤光器的电气检查方法。[解决问题的技术手段]本公开的一方面的电气检查方法具备如下步骤:准备晶圆,该晶圆具备基板层、及二维配置于基板层上的多对第1镜部及第2镜部,且通过在互相相对的第1镜部与第2镜部之间形成空隙,而构成有互相相对的第1镜部与第2镜部之间的距离通过静电力而变化的多个法布里-帕罗干涉滤光器部;及检查多个法布里-帕罗干涉滤光器部的各个的电气特性。该电气检查方法中,针对成为多个法布里-帕罗干涉滤光器的多个法布里-帕罗干涉滤光器部,在晶圆状态下实施电气特性的检查。因此,该电气检查方法能够效率良好且良率良好地获得多个法布里-帕罗干涉滤光器。其理由如下所述。法布里-帕罗干涉滤光器是在经过直至自晶圆切出并装配于例如光检测装置为止的各步骤期间,特性易变化的元件。因此,认为需要在最终阶段的装配时检查法布里-帕罗干涉滤光器的特性。然而,本专利技术人等发现,晶圆状态下为良品的法布里-帕罗干涉滤光器部即使其后特性发生变化,也不易成为不良品的法布里-帕罗干涉滤光器。因此,通过在晶圆状态下检查各法布里-帕罗干涉滤光器部的电气特性,可在初始阶段排除如晶圆状态下为不良品的法布里-帕罗干涉滤光器直至最终阶段的装配的浪费,且可提高良品的法布里-帕罗干涉滤光器直至最终阶段的装配的概率。并且,根据该电气检查方法,可效率良好且精度良好地检查各法布里-帕罗干涉滤光器部的电气特性。其理由如下所述。例如,若要针对各法布里-帕罗干涉滤光器实施电气特性的检查,则例如为了使一对探针确实地与法布里-帕罗干涉滤光器的一对端子接触,有必要针对每个法布里-帕罗干涉滤光器调整支撑角度。通过在晶圆状态下检查各法布里-帕罗干涉滤光器部的电气特性,而可减少此种调整的负担。另外,在法布里-帕罗干涉滤光器中,电气特性也根据温度等环境条件变化。因此,若针对各法布里-帕罗干涉滤光器实施电气特性的检查,则成为检查结果的前提的环境条件在法布里-帕罗干涉滤光器间容易变得不同。通过在晶圆状态下检查各法布里-帕罗干涉滤光器部的电气特性,可在稳定的环境条件下获得检查结果。本公开的一方面的电气检查方法中,也可在检查电气特性的步骤中,以使静电力产生而在设置于多个法布里-帕罗干涉滤光器部的各个的一对端子间测定电容。由此,可针对各法布里-帕罗干涉滤光器部,检查第2镜部有无破损、设置于各法布里-帕罗干涉滤光器部的配线有无断线等。本公开的一方面的电气检查方法中,也可在检查电气特性的步骤中,以使静电力产生而对设置于多个法布里-帕罗干涉滤光器部的各个的一对端子间施加电压并测定漏电流。由此,可针对各法布里-帕罗干涉滤光器部,检查异物有无混入至形成于互相相对的第1镜部与第2镜部之间的空隙、设置于各法布里-帕罗干涉滤光器部的配线有无断线等。本公开的一方面的电气检查方法也可进而具备拍摄晶圆的步骤。由此,可取得各法布里-帕罗干涉滤光器部的坐标信息,基于所取得的坐标信息,例如使一对探针与各法布里-帕罗干涉滤光器部的一对端子接触。[专利技术的效果]根据本公开,可提供一种能够效率良好且良率良好地获得多个法布里-帕罗干涉滤光器的电气检查方法。附图说明图1为自一实施方式的电气检查方法的检查对象即晶圆切出的法布里-帕罗干涉滤光器的俯视图。图2为图1所示的法布里-帕罗干涉滤光器的仰视图。图3为沿图1所示的Ⅲ-Ⅲ线的法布里-帕罗干涉滤光器的剖视图。图4为自一实施方式的电气检查方法的检查对象即晶圆切出的虚设滤光器的剖视图。图5为一实施方式的电气检查方法的检查对象即晶圆的俯视图。图6为图5所示的晶圆的一部分的放大俯视图。图7(a)、(b)为图5所示的晶圆的法布里-帕罗干涉滤光器部及虚设滤光器部的剖视图。图8(a)、(b)为用以说明图5所示的晶圆的制造方法的剖视图。图9(a)、(b)为用以说明图5所示的晶圆的制造方法的剖视图。图10(a)、(b)为用以说明图5所示的晶圆的制造方法的剖视图。图11(a)、(b)为用以说明图5所示的晶圆的制造方法的剖视图。图12(a)、(b)为用以说明图5所示的晶圆的制造方法的剖视图。图13(a)、(b)为用以说明图5所示的晶圆的制造方法的剖视图。图14为实施一实施方式的电气检查方法的电气检查装置的构成图。图15为实施一实施方式的电气检查方法的电气检查装置的变形例的构成图。图16(a)、(b)为用以说明自图5所示的晶圆切出法布里-帕罗干涉滤光器的方法的剖视图。图17(a)、(b)为用以说明自图5所示的晶圆切出法布里-帕罗干涉滤光器的方法的剖视图。图18为具备法布里-帕罗干涉滤光器的光检查装置的剖视图。图19为变形例的晶圆的剖视图。具体实施方式以下,参照图式,针对本公开的实施方式进行详细说明。再者,对各图中相同或相当部分标注相同符号,并省略重复说明。[法布里-帕罗干涉滤光器及虚设滤光器的构成]在说明一实施方式的电气检查方法之前,针对自其检查对象即晶圆切出的法布里-帕罗干涉滤光器及虚设滤光器的构成进行说明。如图1、图2及图3所示,法布里-帕罗干涉滤光器1具备基板11。基板11具有互相相对的第1表面11a及第2表面11b。在第1表面11a,依序层叠有反射防止层21、第1层叠体22、中间层23及第2层叠体24。在第1层叠体22与第2层叠体24之间,通过框状的中间层23划分出空隙(气隙)S。自垂直于第1表面11a的方向观察的情形(俯视)的各部的形状及位置关系为如下。基板11的外缘例如是矩形状。基板11的外缘及第2层叠体24的外缘互相一致。反射防止层21的外缘、第1层叠体22的外缘及中间层23的外缘互相一致。基板11具有位于相对于空隙S的中心较中间层23的外缘更外侧的外缘部11c。外缘部11c例如为框状,自垂直于第1表面11a的方向观察的情形时包围中间层23。空隙S例如为圆形状。法布里-帕罗干涉滤光器1在划分于其中央部的光透过区域1a,使具有特定波长的光透过。光透过区域1a例如是圆柱状的区域。基板11例如由硅、石英或玻璃等构成。基板11由硅构成的情形时,反射防止层21及中间层23例如由氧化硅构成。中间层23的厚度例如为数十nm~数十μm。第1层叠体22中对应于光透过区域1a的部分作为第1镜本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种电气检查方法,其特征在于,/n具备如下步骤:/n准备晶圆的步骤,该晶圆具备基板层、及二维配置于所述基板层上的多对第1镜部及第2镜部,且通过在互相相对的所述第1镜部与所述第2镜部之间形成空隙,而构成有互相相对的所述第1镜部与所述第2镜部之间的距离根据静电力而变化的多个法布里-帕罗干涉滤光器部;及/n检查所述多个法布里-帕罗干涉滤光器部的各个的电气特性的步骤。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20171124 JP 2017-2260921.一种电气检查方法,其特征在于,
具备如下步骤:
准备晶圆的步骤,该晶圆具备基板层、及二维配置于所述基板层上的多对第1镜部及第2镜部,且通过在互相相对的所述第1镜部与所述第2镜部之间形成空隙,而构成有互相相对的所述第1镜部与所述第2镜部之间的距离根据静电力而变化的多个法布里-帕罗干涉滤光器部;及
检查所述多个法布里-帕罗干涉滤光器部的各个的电气特性的步骤。

【专利技术属性】
技术研发人员:笠原隆柴山胜己广瀬真树川合敏光大山泰生藏本有未
申请(专利权)人:浜松光子学株式会社
类型:发明
国别省市:日本;JP

网友询问留言 已有0条评论
  • 还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。

1