电气检查方法技术

本发明专利技术的电气检查方法具备如下步骤：准备晶圆(100)，该晶圆构成有互相相对的第1镜部与第2镜部之间的距离通过静电力而变化的多个法布里‑帕罗干涉滤光器部；及检查多个法布里‑帕罗干涉滤光器部的各个的电气特性。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】电气检查方法
本公开涉及一种用以获得法布里-帕罗干涉滤光器的电气检查方法。
技术介绍
作为现有的法布里-帕罗干涉滤光器，已知有具备基板、及在基板上经由空隙互相相对的固定镜及可动镜的滤光器(例如参照专利文献1)。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特表2013-506154号公报
技术实现思路
[专利技术所要解决的问题]如上述的法布里-帕罗干涉滤光器由于为微细的构造体，故在制造法布里-帕罗干涉滤光器时，提高制造效率及良率的两者较困难。因此，本公开的目的在于提供一种能够效率良好且良率良好地获得多个法布里-帕罗干涉滤光器的电气检查方法。[解决问题的技术手段]本公开的一方面的电气检查方法具备如下步骤：准备晶圆，该晶圆具备基板层、及二维配置于基板层上的多对第1镜部及第2镜部，且通过在互相相对的第1镜部与第2镜部之间形成空隙，而构成有互相相对的第1镜部与第2镜部之间的距离通过静电力而变化的多个法布里-帕罗干涉滤光器部；及检查多个法布里-帕罗干涉滤光器部的各个的电气特性。...

【技术保护点】
1.一种电气检查方法，其特征在于，/n具备如下步骤：/n准备晶圆的步骤，该晶圆具备基板层、及二维配置于所述基板层上的多对第1镜部及第2镜部，且通过在互相相对的所述第1镜部与所述第2镜部之间形成空隙，而构成有互相相对的所述第1镜部与所述第2镜部之间的距离根据静电力而变化的多个法布里-帕罗干涉滤光器部；及/n检查所述多个法布里-帕罗干涉滤光器部的各个的电气特性的步骤。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20171124 JP 2017-2260921.一种电气检查方法，其特征在于，
具备如下步骤：
准备晶圆的步骤，该晶圆具备基板层、及二维配置于所述基板层上的多对第1镜部及第2镜部，且通过在互相相对的所述第1镜部与所述第2镜部之间形成空隙，而构成有互相相对的所述第1镜部与所述第2镜部之间的距离根据静电力而变化的多个法布里-帕罗干涉滤光器部；及
检查所述多个法布里-帕罗干涉滤光器部的各个的电气特性的步骤。

【专利技术属性】
技术研发人员：笠原隆，柴山胜己，广瀬真树，川合敏光，大山泰生，藏本有未，
申请(专利权)人：浜松光子学株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP