致动器装置制造方法及图纸

技术编号:24949586 阅读:24 留言:0更新日期:2020-07-17 23:57
致动器装置包括支承部、第1可动部、第2可动部和第2连结部。第2可动部具有:位于第1轴线上的第1可动部的两侧且与一对第1连结部连接的一对第1连接部;和位于第2轴线上的第1可动部的两侧且与一对第2连结部连接的一对第2连接部。一对第2连接部的各个在从与第1轴线和第2轴线正交的方向观察时,包括具有比第2可动部中的一对第1连接部和一对第2连接部以外的部分宽的宽度的部分。在从与第1轴线和第2轴线正交的方向观察时的一对第2连接部各自的内边缘具有向第2轴方向凹陷的凹部,在从与第1轴线和第2轴线正交的方向观察时的一对第2连接部各自的外边缘具有向第2轴方向突出的凸部。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】致动器装置
本专利技术的一个方面涉及例如作为MEMS(MicroElectroMechanicalSystems(微机电系统))器件而构成的致动器装置。
技术介绍
作为MEMS器件,已知有一种致动器装置,其包括:支承部;第1可动部;包围第1可动部的框状的第2可动部;一对第1连结部,其在第1轴线上将第1可动部与第2可动部相互连结;一对第2连结部,其在与第1轴线正交的第2轴线上将第2可动部与支承部相互连结。在这样的致动器装置中,使第1可动部在第1轴线周围摆动,并且使第2可动部与第1可动部一起在第2轴线周围摆动(例如参照专利文献1)。现有技术文献专利文献专利文献1:日本特开2014-41234号公报
技术实现思路
专利技术所要解决的技术问题在如上所述的致动器装置中,为了抑制由于未意图的外力而第2可动部振动的情况,优选第2轴线周围的第2可动部的共振频率较高。另一方面,当第1可动部在第1轴线周围摆动时,存在由于其反作用而使第2可动部在第1轴线周围向与第1可动部相反侧变形的情况。在该情况下,存在为了使第1可动部仅摆动规定量而需要使第2连结部大幅变形的担忧。另外,也存在在未意图的部位产生应力的担忧。因此,优选抑制第1轴线周围的第2可动部的变形。本专利技术的一个方面的目的在于,提供一种致动器装置,其使第1可动部在第1轴线周围摆动,并且使包围第1可动部的第2可动部在第2轴线周围摆动,在该致动器装置中,能够实现第2轴线周围的第2可动部的共振频率的确保和第1轴线周围的第2可动部的变形的抑制这两者。解决问题的技术手段本专利技术的一个方面的致动器装置,包括:支承部;第1可动部;以包围第1可动部的方式配置的框状的第2可动部;一对第1连结部,其配置于与第1轴线平行的第1轴方向上的第1可动部的两侧,以使第1可动部能够在第1轴线周围摆动的方式将第1可动部与第2可动部相互连结;和一对第2连结部,其配置于与和第1轴线正交的第2轴线平行的第2轴方向上的第2可动部的两侧,以使第2可动部能够在第2轴线周围摆动的方式将第2可动部与支承部相互连结,第2可动部具有:位于第1轴线上的第1可动部的两侧且与一对第1连结部连接的一对第1连接部;和位于第2轴线上的第1可动部的两侧且与一对第2连结部连接的一对第2连接部,一对第2连接部的各个在从与第1轴线和第2轴线正交的方向观察时,包括具有比第2可动部中的一对第1连接部和一对第2连接部以外的部分宽的宽度的部分,在从与第1轴线和第2轴线正交的方向观察时的一对第2连接部各自的内边缘具有向第2轴方向凹陷的凹部,在从与第1轴线和第2轴线正交的方向观察时的一对第2连接部各自的外边缘具有向第2轴方向突出的凸部。该致动器装置中,位于第2轴线上的第1可动部的两侧的一对第2连接部的各个包括具有比第2可动部的一对第1连接部和一对第2连接部以外的部分宽的宽度的部分。由此,能够抑制第2轴线周围的第2可动部的惯性扭矩的增加,并且能够提高第1轴线周围的第2可动部的惯性扭矩。其结果,能够实现第2轴线周围的第2可动部的共振频率的确保和第1轴线周围的第2可动部的变形的抑制这两者。另外,在从与第1轴线和第2轴线正交的方向观察时的各第2连接部的内边缘具有向第2轴方向凹陷的凹部。由此,能够在第2轴方向上使第2可动部小型化,能够更加抑制第2轴线周围的第2可动部的惯性扭矩的增加。另外,在从与第1轴线和第2轴线正交的方向观察时的各第2连接部的外边缘具有向第2轴方向突出的凸部。由此,能够更加提高第1轴线周围的第2可动部的惯性扭矩。再有,由于各第2连接部位于第2轴线上,因此能够进一步抑制第2轴线周围的第2可动部的惯性扭矩的增加。因此,根据该致动器装置,在使第1可动部在第1轴线周围摆动并且使包围第1可动部的第2可动部在第2轴线周围摆动的致动器装置中,能够实现第2轴线周围的第2可动部的共振频率的确保和第1轴线周围的第2可动部的变形的抑制这两者。本专利技术的一个方面的致动器装置中,也可以是第2可动部还包括:位于第1轴方向上的一对第2连接部的一方的两侧且与一对第2连接部的一方连接的一对第1直线状部;和位于第1轴方向上的一对第2连接部的另一方的两侧且与一对第2连接部的另一方连接的一对第2直线状部,一对第1直线状部的各个和一对第2直线状部的各个沿着第1轴方向延伸。在该情况下,能够有效地抑制第2轴线周围的第2可动部的惯性扭矩的增加,并且能够有效地提高第1轴线周围的第2可动部的惯性扭矩。本专利技术的一个方面的致动器装置中,也可以是第2可动部还包括:相对于一对第1直线状部的各个位于一对第2连接部的一方的相反侧且与一对第1直线状部连接的一对第3直线状部;和相对于一对第2直线状部的各个位于一对第2连接部的另一方的相反侧且与一对第2直线状部连接的一对第4直线状部,在从与第1轴线和第2轴线正交的方向观察时,一对第3直线状部的一方沿着相对于第1轴线和第2轴线倾斜的方向延伸,一对第3直线状部的另一方相对于一对第3直线状部的一方关于第2轴线对称地延伸,一对第4直线状部的一方相对于一对第3直线状部的一方关于第1轴线对称地延伸,一对第4直线状部的另一方相对于一对第4直线状部的一方关于第2轴线对称地延伸。在该情况下,能够更加有效地抑制第2轴线周围的第2可动部的惯性扭矩的增加,并且能够更加有效地提高第1轴线周围的第2可动部的惯性扭矩。本专利技术的一个方面的致动器装置中,也可以是第2可动部还包括:与一对第1连接部的一方和一对第2连接部的一方连接的第5直线状部;与一对第1连接部的一方和一对第2连接部的另一方连接的第6直线状部;与一对第1连接部的另一方和一对第2连接部的一方连接的第7直线状部;和与一对第1连接部的另一方和一对第2连接部的另一方连接的第8直线状部,在从与第1轴线和第2轴线正交的方向观察时,第5直线状部沿着相对于第1轴线和第2轴线倾斜的方向延伸,第6直线状部相对于第5直线状部关于第1轴线对称地延伸,第7直线状部相对于第5直线状部关于第2轴线对称地延伸,第8直线状部相对于第6直线状部关于第2轴线对称地延伸。在该情况下,能够有效地抑制第2轴线周围的第2可动部的惯性扭矩的增加,并且能够有效地提高第1轴线周围的第2可动部的惯性扭矩。本专利技术的一个方面的致动器装置中,也可以是凹部和凸部在从与第1轴线和第2轴线正交的方向观察时,位于第2轴线上。在该情况下,能够进一步有效地抑制第2轴线周围的第2可动部的惯性扭矩的增加,并且能够进一步有效地提高第1轴线周围的第2可动部的惯性扭矩。本专利技术的一个方面的致动器装置也可以还包括:以包围第1可动部的方式设置于第2可动部的螺旋状的线圈;和产生作用于线圈的磁场的磁场产生部。在该情况下,即使在第2可动部确保线圈的配置空间,也能够实现第2轴线周围的第2可动部的共振频率的确保和第1轴线周围的第2可动部的变形的抑制这两者。本专利技术的一个方面的致动器装置中,也可以是线圈在从与第1轴线和第2轴线正交的方向观察时,在第2轴线上配置于比一对第2连接部各自的内边缘更靠近外边缘的位置。在该情况下,能够进一步有效地提高第1轴线周围的第2可本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种致动器装置,其特征在于,/n包括:/n支承部;/n第1可动部;/n以包围所述第1可动部的方式配置的框状的第2可动部;/n一对第1连结部,其配置于与第1轴线平行的第1轴方向上的所述第1可动部的两侧,以使所述第1可动部能够在所述第1轴线周围摆动的方式将所述第1可动部与所述第2可动部相互连结;和/n一对第2连结部,其配置于与和所述第1轴线正交的第2轴线平行的第2轴方向上的所述第2可动部的两侧,以使所述第2可动部能够在所述第2轴线周围摆动的方式将所述第2可动部与所述支承部相互连结,/n所述第2可动部具有:位于所述第1轴线上的所述第1可动部的两侧且与所述一对第1连结部连接的一对第1连接部;和位于所述第2轴线上的所述第1可动部的两侧且与所述一对第2连结部连接的一对第2连接部,/n所述一对第2连接部的各个在从与所述第1轴线和所述第2轴线正交的方向观察时,包括具有比所述第2可动部中的所述一对第1连接部和所述一对第2连接部以外的部分宽的宽度的部分,/n在从与所述第1轴线和所述第2轴线正交的方向观察时的所述一对第2连接部各自的内边缘具有向所述第2轴方向凹陷的凹部,在从与所述第1轴线和所述第2轴线正交的方向观察时的所述一对第2连接部各自的外边缘具有向所述第2轴方向突出的凸部。/n...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20171201 JP 2017-2320601.一种致动器装置,其特征在于,
包括:
支承部;
第1可动部;
以包围所述第1可动部的方式配置的框状的第2可动部;
一对第1连结部,其配置于与第1轴线平行的第1轴方向上的所述第1可动部的两侧,以使所述第1可动部能够在所述第1轴线周围摆动的方式将所述第1可动部与所述第2可动部相互连结;和
一对第2连结部,其配置于与和所述第1轴线正交的第2轴线平行的第2轴方向上的所述第2可动部的两侧,以使所述第2可动部能够在所述第2轴线周围摆动的方式将所述第2可动部与所述支承部相互连结,
所述第2可动部具有:位于所述第1轴线上的所述第1可动部的两侧且与所述一对第1连结部连接的一对第1连接部;和位于所述第2轴线上的所述第1可动部的两侧且与所述一对第2连结部连接的一对第2连接部,
所述一对第2连接部的各个在从与所述第1轴线和所述第2轴线正交的方向观察时,包括具有比所述第2可动部中的所述一对第1连接部和所述一对第2连接部以外的部分宽的宽度的部分,
在从与所述第1轴线和所述第2轴线正交的方向观察时的所述一对第2连接部各自的内边缘具有向所述第2轴方向凹陷的凹部,在从与所述第1轴线和所述第2轴线正交的方向观察时的所述一对第2连接部各自的外边缘具有向所述第2轴方向突出的凸部。


2.如权利要求1所述的致动器装置,其特征在于,
所述第2可动部还包括:位于所述第1轴方向上的所述一对第2连接部的一方的两侧且与所述一对第2连接部的一方连接的一对第1直线状部;和位于所述第1轴方向上的所述一对第2连接部的另一方的两侧且与所述一对第2连接部的另一方连接的一对第2直线状部,
所述一对第1直线状部的各个和所述一对第2直线状部的各个沿着所述第1轴方向延伸。


3.如权利要求2所述的致动器装置,其特征在于,
所述第2可动部还包括:相对于所述一对第1直线状部的各个位于所述一对第2连接部的一方的相反侧且与所述一对第1直线状部连接的一对第3直线状部;和相对于所述一对第2直线状部的各个位于所述一对第2连接部的另一方的相反侧且与所述一对第2直线状部连接的一对第4直线状部,
在从与所述第1轴线和所述第2轴线正交的方向观察时,所述一对第3直线状部的一方沿着相对于所述第1轴线和所述第2轴线倾斜的方向延伸,所述一对第3直线状部的另一方相对于所述一对第3直线状部的一方关于所述第2轴线对称地延伸,所述一对第4直线状部的一方相对于所述一对第3直线状部的一方关于所述第1轴线对称地延伸,所述一对...

【专利技术属性】
技术研发人员:铃木大几大崎拓真樱井直人
申请(专利权)人:浜松光子学株式会社
类型:发明
国别省市:日本;JP

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