光扫描装置及其控制方法制造方法及图纸

本发明专利技术涉及光扫描装置及其控制方法。本发明专利技术的目的在于抑制由驱动电压的波形形变引起的振铃的产生。一种光扫描装置，其至少使反射镜在1个方向上摆动，该光扫描装置具有：反射镜驱动电路，其包括DA转换器以及放大器，基于数字化的驱动波形数据生成用于驱动上述反射镜的一对驱动信号；基准波形数据生成部，其生成基准波形数据；以及偏移设定部，其基于上述放大器的死区和由上述DA转换器产生的具有周期性的积分非线性误差，对上述基准波形数据设定偏移值，由此生成上述驱动波形数据。

【技术实现步骤摘要】
光扫描装置及其控制方法
本专利技术涉及光扫描装置及其控制方法。
技术介绍
公知有激光扫描显示图像的光扫描装置。该激光的扫描通过对射出激光的光源部和将激光偏转的光扫描部进行驱动控制来进行。光扫描部例如是通过压电元件使反射镜驱动的MEMS(MicroElectroMechanicalSystem：微机电系统)。反射镜通过由驱动电路生成的正弦波等周期性的驱动电压施加于压电元件而摆动，而使激光偏转(例如，参照专利文献1)。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2017－68205号公报一般来说，驱动电路包含有运算放大器，运算放大器在电源电压侧以及接地电位侧这两侧存在不动作的死区。因此，在驱动电压的波形的一部分包含于死区的情况下，波形产生形变，有可能产生不需要的共振振动。这样，若驱动电压的波形产生形变，则有可能在光扫描部扫描的图像上产生所谓的振铃。另外，驱动电路包含有将从控制部供给的数字信号转换为模拟信号并输入运算放大器的DA转换器。该DA转换器的转换特性包含具有周期性的积分非线性(INL：Integra本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种光扫描装置，其使反射镜至少在1个方向上摆动，其特征在于，该光扫描装置具有：/n反射镜驱动电路，其包括DA转换器以及放大器，基于数字化的驱动波形数据生成用于驱动上述反射镜的一对驱动信号；/n基准波形数据生成部，其生成基准波形数据；以及/n偏移设定部，其基于上述放大器的死区和由上述DA转换器产生的具有周期性的积分非线性误差，对上述基准波形数据设定偏移值，由此生成上述驱动波形数据。/n

【技术特征摘要】
20181228 JP 2018-2474681.一种光扫描装置，其使反射镜至少在1个方向上摆动，其特征在于，该光扫描装置具有：
反射镜驱动电路，其包括DA转换器以及放大器，基于数字化的驱动波形数据生成用于驱动上述反射镜的一对驱动信号；
基准波形数据生成部，其生成基准波形数据；以及
偏移设定部，其基于上述放大器的死区和由上述DA转换器产生的具有周期性的积分非线性误差，对上述基准波形数据设定偏移值，由此生成上述驱动波形数据。


2.根据权利要求1所述的光扫描装置，其特征在于，
上述一对驱动信号由第一驱动信号和在上述第一驱动信号的中间电位反转电位而得到的第二驱动信号构成，
上述反射镜驱动电路通过上述第一驱动信号与上述第二驱动信号的电位差驱动上述反射镜。


3.根据权利要求2所述的光扫描装置，其特征在于，
上述偏移设定部将上述偏移值设定为比上述放大器的接地电位侧的死区的上限值大，并且使叠加在上述第一驱动信号中的积分非线性误差和叠加在上述第二驱动信号中的积分非线性误差为相同相位的值。


4.根据权利要求3所述的光扫描装置，其特征在于，
上述第一驱动信号以及上...

【专利技术属性】
技术研发人员：木村祐司，日比谷利一郎，
申请(专利权)人：三美电机株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP