浜松光子学株式会社专利技术

浜松光子学株式会社共有1332项专利

  • 本发明的半导体器件检查装置(1)具备:光传感器(12),其检测来自输入有电信号的DUT即半导体器件(10)的光;光学系统,其将来自半导体器件(10)的光向光传感器(12)导光;及控制装置(18),其电连接于光传感器(12);且控制装置(...
  • 一实施方式的离子化方法包括:第1步骤,其准备具有基片和导电层(4)的试样支承体,其中,基片形成有在彼此相对的第1表面(2a)和第2表面(2b)具有开口的多个贯通孔(2c),导电层(4)至少设置于第1表面;第2步骤,在试样支承体以第2表面...
  • 本发明的试样支承体包括:具有彼此相对的第一表面和第二表面的基板;和至少设置在第一表面的导电层。在基板和导电层,形成有在导电层的与基板相反的一侧的第三表面和第二表面开口的多个贯通孔。对第二表面和第三表面的至少一者,进行用于使对水的亲和性在...
  • 观察对象物罩是用于使用第一光及相干长度比第一光长的第二光,基于第二光的干涉结果调整光路长差并且取得由第一光形成的观察对象物的干涉光像的干涉观察的观察对象物罩,具备:透过反射部,其使第一光透过并且使第二光反射;支承部,其以载置观察对象物的...
  • 本发明的晶圆具备:基板层;第1镜层,其具有二维配置的多个第1镜部;及第2镜层,其具有二维配置的多个第2镜部。在晶圆中,通过在第1镜部与第2镜部之间形成空隙,而构成有多个法布里‑帕罗干涉滤光器部。一实施方式的晶圆检查方法包含下述步骤:进行...
  • 本发明的晶圆具备:基板层;第1镜层,其具有二维配置的多个第1镜部;及第2镜层,其具有二维配置的多个第2镜部。在有效区域中,通过在第1镜部与第2镜部之间形成空隙,而构成多个法布里‑帕罗干涉滤光器部。在沿基板层的外缘且包围有效区域的虚设区域...
  • 激光解吸电离法包括:第1工序,准备包括形成有在彼此相对的第1表面(2a)和第2表面(2b)开口的多个贯通孔(2c)的基板(2)、至少设置于第1表面的导电层和设置于多个贯通孔且在真空中具有不易挥发性的溶剂(81)的试样支承体(1);第2工...
  • 本实施方式涉及具备能够将±1次光中的一方的功率相对于另一方的功率降低的构造的发光装置等。该发光装置具备基板、发光部、包含基本层以及多个不同折射率区域的相位调制层。多个不同折射率区域的各个具有由面对基板的第一面、相对于第一面而位于基板的相...
  • 本实施方式涉及一种分别关联的不同折射率区域的重心位置与晶格点的位置关系与现有的发光装置不同的发光装置及其制造方法。在该发光装置中,在基板上设置有包含发光部和与该发光部光学耦合的相位调制层的层叠体。相位调制层包含基本层和设置于该基本层内的...
  • 本发明提供一种反射型空间光调制器,其具备:电光结晶,其具有输入光被输入的输入面和与输入面相对的背面;光输入输出部,其配置于电光结晶的输入面,且具有透射输入光的第一电极;光反射部,其包含配置有多个第二电极的基板及将基板固定于背面的粘接层,...
  • 本发明提供一种反射型空间光调制器,其具备:电光结晶,其具有输入光被输入的输入面和与输入面相对的背面;光输入输出部,其配置于电光结晶的输入面,且具有透射输入光的第一电极;光反射部,其包含包括多个第二电极的基板,且配置于电光结晶的背面侧;驱...
  • 光调制器具备:钙钛矿型的电光晶体,其具有输入输入光的输入面和与输入面相对的背面;第一光学元件,其具有配置于电光晶体的输入面,且透过输入光的第一电极;第二光学元件,其具有配置于电光晶体的背面,且透过输入光的第二电极;驱动电路,其向第一电极...
  • 致动器装置包括支承部、第1可动部、第2可动部和第2连结部。第2可动部具有:位于第1轴线上的第1可动部的两侧且与一对第1连结部连接的一对第1连接部;和位于第2轴线上的第1可动部的两侧且与一对第2连结部连接的一对第2连接部。一对第2连接部的...
  • 致动器装置包括:支承部;第1可动部;第2可动部;将第1可动部与第2可动部相互连结的第1连结部;将第2可动部与支承部相互连结的第2连结部;设置于第2可动部的螺旋状的线圈;产生作用于线圈的磁场的磁场产生部;设置于支承部的第1外部端子;和与线...
  • 半导体器件检查装置(1)具备:光传感器(12),其检测来自输入有电信号的半导体器件(10)的光;光学系统,其将来自半导体器件(10)的光向光传感器(12)导光;及控制装置(18),其与光传感器(12)电连接;控制装置(18)具有:测量部...
  • 本发明提供一种光检测电路,其包括:具有第1阳极和第1阴极,因与入射光量相应地产生的光电动势而在第1阳极与第1阴极之间产生电压的第1光检测元件、和具有第1非反相输入端子、第1反相输入端子和第1输出端子的第1运算放大器,第1非反相输入端子连...
  • 本发明的膜厚测量装置(1)包括:输出测量光(L1)的光输出部(12);对被检测光(L2)进行分光检测的分光检测部(13);和分析部(15),将从分光检测部(13)的检测结果获得的测量对象物(S)的每个波长的实测反射率与理论反射率进行比较...
  • 本发明的电气检查方法具备如下步骤:准备晶圆(100),该晶圆构成有互相相对的第1镜部与第2镜部之间的距离通过静电力而变化的多个法布里‑帕罗干涉滤光器部;及检查多个法布里‑帕罗干涉滤光器部的各个的电气特性。
  • 激光解吸电离法包括:准备包括形成有在彼此相对的第1表面(2a)和第2表面(2b)开口的多个贯通孔的基板(2)和至少设置于第1表面的导电层的试样支承体(1)的第1工序;向多个贯通孔导入试样(S)和在真空中具有不易挥发性的溶剂(81)的第2...
  • 本发明的光检查装置具备:晶圆支撑部,其将构成有互相相对的第1镜部与第2镜部间的距离通过静电力而变化的多个法布里‑帕罗干涉滤光器部的晶圆,以第1镜部与第2镜部互相相对的方向沿基线的方式支撑;光出射部,其使沿基线入射至多个法布里‑帕罗干涉滤...
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