电子管(1)包括：将入射光转换为光电子的光电面(3)；多个打拿极(11)和阳极(6)；将打拿极(11、11)彼此以及打拿极(11)与阳极(6)以电绝缘的状态保持的绝缘性基板(12)；和收纳打拿极(11)、阳极(6)和绝缘性基板(12)的...

本发明的目的在于高精度地检测异物。本发明的模型生成方法是生成用于检测映照对象物的图像中包含的异物的推论模型的方法，其包含：训练用取得步骤(S01)，其将映照训练用对象物的第1正常图像、映照训练用对象物的第2正常图像、假定为检测对象的异物...

X射线束扫描光学系统(10)具备：X射线源(11)，其朝向半导体器件(100)输出X射线束(R1)；第一毛细管透镜(12)，其使从X射线源(11)输出的X射线束(R1)成为作为平行X射线的X射线束(R2)；第二毛细管透镜(13)，其将通...

光学器件(1)具备：电光晶体(10)、多个电场形成部(20)、第一透镜阵列(30)、遮光部件(40)以及第二透镜阵列(50)。电光晶体(10)在主面接收第一平行光(L1)，并从背面输出第一平行光(L1)。多个电场形成部(20)以一维状或...

本发明的膜厚测定装置具备：光照射部；倾斜二向分色反射镜；区域传感器；及解析部，其基于第1信号而导出第1波长重心，且基于第2信号而导出第2波长重心。解析部根据第1波长下的样品的膜厚与波长重心的关系信息、及第1波长重心而导出至少1个第1膜厚...

光源单元具备：多个光源，其用于出射向对象物照射的光；聚光透镜，其用于将来自所述对象物的光聚光；光纤连接器，其用于保持接受由所述聚光透镜聚光的光的入射的光纤；以及基座，其由金属构成，且保持所述光源、所述聚光透镜及所述光纤连接器。所述基座包...

X射线发生装置具备：X射线管，其产生X射线；电源部，其生成用于对X射线管施加的电压；收纳部，其收纳X射线管的至少一部分；液体状的第一绝缘部，其被封入收纳部，覆盖X射线管的至少一部分；以及气体传感器，其具有配置于收纳部内的检测部，检测在第...

在本发明的光学器件(1)中，第一透镜阵列(30)通过多个第一透镜(31)对第一平行光(L1)进行聚光。第二透镜阵列(50)将从多个第一透镜(31)输出的光转换为第二平行光。电光晶体(10)在主面接受第二平行光。光反射部配置于电光晶体的背...

本发明的半导体制程监视装置的分光部将来自腔室的测量光在第1方向进行波长分解，且在与第1方向交叉的第2方向使每一波长的分光像成像，检测部具有在第2方向经分割的第1像素区域及第2像素区域，判断部基于在第1像素区域中以第1曝光时间获得的第1光...

一个实施方式的半导体激光元件具备：半导体基板和形成在半导体基板上的半导体层叠体。半导体层叠体具有：活性层；p型包层，其配置于半导体基板和活性层之间；非掺杂导向层，其配置于p型包层和活性层之间；n型导向层，其相对于活性层配置于非掺杂导向层...

X射线发生装置具备：框体；电子枪，其在框体内发射电子束；靶材，其通过在框体内被电子束入射而产生X射线；电源部，其生成用于对电子枪或靶材施加的电压；以及导电部件，电源部具有固体状的第一绝缘部、和埋设于第一绝缘部的电路部，电路部包括从外部输...

一实施方式的条纹管具备：容器，其具有入射面板和输出面板；光电面；扫描电极；多个电极，其设置于光电面和扫描电极之间，形成使电子聚焦的电子透镜，且分别设置有供电子通过的开口部；以及控制部，其控制对多个电极中的至少一个施加的电位。多个电极具有...

X射线发生装置包括壳体、电子枪、靶和生成用于施加至电子枪或靶的电压的电源部，电源部具有绝缘部和埋设于绝缘部的电路部，绝缘部包括：由第1绝缘性材料形成的基材；和由绝缘性比第1绝缘性材料高的第2绝缘性材料形成且分散于基材的多个颗粒，电路部包...

X射线发生装置包括：壳体；电子枪；靶；电源部；供电部；和具有绝缘性的第1固定部件和绝缘性或导电性的第2固定部件的至少一者的固定部件，电源部具有固体状的绝缘部和电路部，电路部包括：第1电压部；使第1电压升压至第2电压的升压部；和经由供电部...

本发明的滤光单元(1)具备：支承体(2)，具有开口部；和法布里‑珀罗干涉滤光器(10)，包含在Z轴方向上彼此相对且彼此的距离可变的一对反射镜部，且以在从Z轴方向观察的情况下与开口部重叠的方式配置在支承体(2)上。在支承体(2)，以Z轴方...

本发明涉及分光单元及分光模块。分光单元具备：框体；光入射部，其设置于框体；以及法布里‑珀罗干涉滤光器，其配置于框体内，具有彼此的距离设为可变的第一镜部和第二镜部。光入射部具有：形成有光圈的光圈部、以及配置于光圈和法布里‑珀罗干涉滤光器之...

透镜单元(2)具备筐体(21)和配置于筐体内的光学系统(22)。光学系统(22)包括：法布里‑帕罗干涉滤波器(10)；第一光圈(P1)，其与法布里‑帕罗干涉滤波器(10)一体地形成，且供朝向法布里‑帕罗干涉滤波器(10)的光或透过法布里...

X射线源(1)具备：X射线管(7)，其具有保持靶(7C)的阀部(7A)、和从阀部(7A)突出且与靶(7C)电连接的高电压施加部(7G)；电源部(2)，其具有被模制于绝缘块(2A)中并向X射线管(7)供给电压的高电压产生部(2B)、向高电...

本公开的膜厚测量装置(1)中，分光部(5)将基准光(L1)及测量光(L2)在第1方向(D1)上进行波长分解，且在与第1方向(D1)交叉的第2方向(D2)上使每个波长的分光像成像。检测部(6)具有在第2方向(D2)上被分割的第1像素区域(...

本发明的滤光单元具备：具有开口部的支承体；和法布里‑珀罗干涉滤光器，其包含在Z轴方向上彼此的距离可变的一对反射镜部，且以在从Z轴方向观察的情况下与开口部重叠的方式配置在支承体上。在从Z轴方向观察的情况下，法布里‑珀罗干涉滤光器的外缘呈矩...