一种激光加工装置，其中，具备控制部，控制部执行下述处理：第一处理，以第一加工条件来控制所述照射部，该第一加工条件被设定为：通过对晶圆照射激光而在晶圆的内部形成第一改质区域；及第二处理，在第一处理之后，基于从已检测出光的摄像部输出的信号，...

一种发光器件，其具备：发光部；相位调制层，其与上述发光部光学耦合，上述相位调制层具有基本层、和折射率与上述基本层不同且在与该相位调制层的厚度方向交叉的第一面内分布的多个不同折射率区域，在上述相位调制层中，根据多个上述不同折射率区域的配置...

法布里‑珀罗干涉滤光器包括：具有第一反射镜部的第一层叠体；和第二层叠体，其具有隔着空隙与第一反射镜部相对的第二反射镜部。作为第一层叠体和第二层叠体中的一者的参照层叠体具有第一低电阻层、第二低电阻层和配置在第一低电阻层与第二低电阻层之间的...

本公开的试样支承体是用于电离试样的试样支承体。试样支承体具备基板，该基板具有第一表面、与第一表面相反的一侧的第二表面、以及至少在第一表面开口的不规则的多孔质结构。多孔质结构由相互连结的多个大颗粒、和具有比大颗粒小的直径的多个小颗粒形成。...

本发明涉及激光加工头以及激光加工装置。激光加工头具备：壳体；第一镜，其反射激光；板型的第二镜，其反射被第一镜反射的激光的一部分，并使被第一镜反射的激光的另一部分透过；聚光部，其将激光的一部分聚光于对象物；光检测部，其检测激光的另一部分；...

一种光学相干断层扫描（OCT）系统包括宽带光源和照明光学器件，将生成的宽带光投射到样品上。光在样品内部沿垂直于样品表面的方向散射，以形成样品光束；并且从样品顶面沿垂直于样品表面的方向反射，以形成参照光束。样品光束和参照光束共传播。收集光...

观察装置（1A）是对观察对象物（S）进行观察的装置，具备：光源（11）、分束器（12）、镜（13、14）、分束器（15）、调制部（21）、透镜（31～34）、摄像部（41）以及处理部（42）。调制部（21）输入从镜（13）到达的第一分支...

观察装置（1A）是观察移动的观察对象物（S）的装置，具备：光源（11）、分束器（12）、镜（13、14）、分束器（15）、调制部（21）、透镜（31～34）、摄像部（41）以及处理部（42）。调制部（21）输入从镜（13）到达的第一分支...

本发明的干涉观察装置具备：光源，其输出光；干涉光学系统，其具有参照镜，将从光源输出的光分割成第一光及第二光，并输出被观察对象物反射的第一光和被参照镜反射的第二光的干涉光；摄像元件，其检测干涉光；处理部，其基于摄像元件的检测结果取得干涉图...

本发明的显微镜装置具备：配置部，其供试样配置；束照射部，其用于对配置于所述配置部的所述试样照射聚焦离子束；激光输出部，其用于输出超短脉冲的激光；激光照射部，其用于将自所述激光输出部输出的所述激光照射至配置于所述配置部的所述试样；及显微镜...

一个实施方式的试样支承体是用于电离试样的试样支承体。试样支承体具备基板，该基板具有第一表面、与第一表面相反的一侧的第二表面、以及至少在第一表面开口的不规则的多孔质结构。多孔质结构由相互连结的多个颗粒形成。多个颗粒中构成第一表面的颗粒具有...

本发明的试样支承体用于试样的离子化。试样支承体具备：多孔质基板，其包含：第1表面、与第1表面为相反侧的第2表面、以及不规则地分布且至少在第1表面开口的空隙。多孔质基板包含：包含第1表面的一部分的测定区域、以及从垂直于第1表面的方向观察时...

本发明的显微镜装置的使用方法包含：第1工序，其将试样配置于腔室内；第2工序，其通过进行所述腔室内的排气而将所述腔室内减压；第3工序，其在所述第1工序及所述第2工序之后，通过对所述腔室内的所述试样经由透过激光的透过构件照射所述激光而进行烧...

本发明的检查装置（1）具备：载台（10），其保持PIC（100）；PIC控制器（20），其控制PIC（100）的动作；LRG滤光器（61），其具有在规定的波长域透过率线性变化的透过特性，基于透过特性将通过波导（108）导光并自至少1个光...

光外差干涉测量装置（1）具备光束生成部（10）、分束器（21）、镜（31）、第一光检测器（41）、直线偏光板（42）、第二光检测器（51）、直线偏光板（52）、AD转换部（60）以及计算机（70）。第一光检测器（41）接收从直线偏光板（...

本发明的相位调制模块(1)包含：散热器(2)；壳体部(3)，其具有形成为框状的侧壁部(32)，且与散热器热连接；以及配置于侧壁部的内侧的反射型的相位调制元件(6)及填充材(7)。相位调制元件具有：电路基板(61)，其配置于散热器上；液晶...

本发明的量子级联激光装置具备QCL元件和封装件。在封装件的侧壁，设置有使从QCL元件出射的激光通过的光出射窗。光出射窗由小径孔、比小径孔大的大径孔、连接小径孔与大径孔的环状的沉孔面、和配置在大径孔的内侧的窗构件构成。窗构件的入射面具有：...

在激光加工方法中，朝对象物（S）的表面（Sa）上的加工用激光（Lw）的照射预定光点（K）照射检查用束（Lb），取得与对象物的加工前的表面状态相关的加工前光点数据（D1），使用根据加工前光点数据（D1）的输入而输出加工用激光（Lw）的最佳...

一种激光加工装置，包含：配置部，其供试样配置；激光输出部，其用于输出激光；激光照射部，其用于将自上述激光输出部输出的上述激光照射至配置于上述配置部的上述试样；及透过构件，其在配置于上述配置部的上述试样与上述激光照射部之间配置在上述激光的...

在本公开的干涉光生成方法中，通过将基材（15）配置于第1激光（LA的光路，并对基材（15）照射将第1激光（LA）分割的多条第1光束（L1），从而在基材（15）形成与多条第1光束（L1）的照射位置对应的多个开口（P）而制作滤光器（6），在...