A piezoelectric actuator, suitable for a micro fluid control device comprises a suspension plate, a frame, a bracket and a piezoelectric ceramic plate, the suspension plate is a square pattern having a first surface and a corresponding second surface, and it has a convex surface on the outer circle of second. Set outside of the suspension plate has a first surface and a corresponding second surface, the second surface and the outer frame and suspension plate surface finishing second in addition to the co planar convex region, the bracket is connected between the suspension plate and the frame, with a length between 1.11 mm to 1.21 mm. The width between 0.2 mm to 0.6 mm, the piezoelectric ceramic plate having a length not greater than the length of the suspension plate, attached to the first surface of the suspension plate.
【技术实现步骤摘要】
压电致动器及其所适用的微型流体控制装置
本技术关于一种压电致动器,尤指一种适用于微型超薄且静音的微型流体控制装置的压电致动器。
技术介绍
目前于各领域中无论是医药、计算机科技、打印、能源等工业,产品均朝精致化及微小化方向发展,其中微型泵、喷雾器、喷墨头、工业打印装置等产品所包含的流体输送结构为其关键技术,因此,如何藉创新结构突破其技术瓶颈,为发展的重要内容。举例来说,于医药产业中,许多需要采用气压动力驱动的仪器或设备,通常采以传统马达及气压阀来达成其气体输送的目的。然而,受限于此等传统马达以及气体阀的体积限制,使得此类的仪器设备难以缩小其整体装置的体积,即难以实现薄型化的目标,更无法使之达成可携式的目的。此外,这些传统马达及气体阀于作动时亦会产生噪音的问题,导致使用上的不便利及不舒适。因此,如何发展一种可改善上述习知技术缺失,可使传统采用流体控制装置的仪器或设备达到体积小、微型化且静音,进而达成轻便舒适的可携式目的的微型流体控制装置及其压电致动器,实为目前迫切需要解决的问题。
技术实现思路
本技术的主要目的在于提供一种适用于可携式或穿戴式仪器或设备中的微型流体控制装置及其所采用的压电致动器,通过该压电致动器,具有悬浮板、外框及四支架,每一支架是垂直连接于悬浮板与外框之间,以提供弹性支撑,通过此垂直跨设于悬浮板与外框之间的支架,以减少悬浮板不均一的摆动,有助于增加悬浮板于Z轴上的振幅,以使悬浮板作动时更为稳定、一致,从而利于提升压电致动器作动的稳定性及效能。本技术的另一目的在于提供一种适用于可携式或穿戴式仪器或设备中的微型流体控制装置,通过压电致动器的悬浮板、外框、 ...
【技术保护点】
一种压电致动器,包含:一悬浮板,为正方形的型态,且可由一中心部到一外周部弯曲振动;一外框,环绕设置于该悬浮板的外侧;数个支架,每一该支架垂直连接于该悬浮板与该外框之间,以提供弹性支撑,且该支架具有长度介于1.11㎜至1.21㎜、宽度介于0.2㎜至0.6㎜;以及一压电陶瓷板,为正方形的型态,具有不大于该悬浮板边长的边长,贴附于该悬浮板的第一表面上,用以施加电压以驱动该悬浮板弯曲振动。
【技术特征摘要】
1.一种压电致动器,包含:一悬浮板,为正方形的型态,且可由一中心部到一外周部弯曲振动;一外框,环绕设置于该悬浮板的外侧;数个支架,每一该支架垂直连接于该悬浮板与该外框之间,以提供弹性支撑,且该支架具有长度介于1.11㎜至1.21㎜、宽度介于0.2㎜至0.6㎜;以及一压电陶瓷板,为正方形的型态,具有不大于该悬浮板边长的边长,贴附于该悬浮板的第一表面上,用以施加电压以驱动该悬浮板弯曲振动。2.如权利要求1所述的压电致动器,其特征在于,该些支架为四个支架。3.如权利要求1所述的压电致动器,其特征在于,每一该支架的一端垂直连接于该悬浮板的一侧边,另一端垂直连接于该外框的一内侧边。4.如权利要求1所述的压电致动器,其特征在于,该支架长度为1.16㎜。5.如权利要求1所述的压电致动器,其特征在于,该支架宽度为0.4㎜。6.如权利要求1所述的压电致动器,其特征在于,该压电陶瓷板具有介于0.05mm至0.3mm之间的厚度。7.如权利要求6所述的压电致动器,其特征在于,该压电陶瓷板厚度为0.10mm。8.如权利要求1所述的压电致动器,其特征在于,该悬浮板的每一边长介于7.5mm至12mm之间,以及厚度介于0.1mm至0.4mm之间。9.如权利要求8所述的压电致动器,其特征在于,该悬浮板的每一边长介于7.5mm至8.5mm之间,及厚度为0.27mm。10.一种微型流体控制装置,包含:一压电致动器,具有一悬浮板、一外框、四支架以及一压电陶瓷板,该悬浮板为正方形型态,且具有一第一表面及相对应的一第二表面,且该第二表面上具有一凸部,该外框环绕设置于该悬浮板的外侧,且亦具有一第一表面及相对应的一第二表面,且该外框的该第二表面与该悬浮板的该第二表面的该凸部之外的区域均为共平面,该支架连接于该悬浮板与该外框之间,具有且其长度介于1.11㎜至1.21㎜、宽度介于0.2㎜至0.6㎜,该压电陶瓷板具有不大于该悬浮板边长的边长,贴附于该悬浮板的该第一表面上;以及一壳体,包括一集气板及一底座,该集气板为周缘具有一侧壁以构成一容置空间的一框体结构,...
【专利技术属性】
技术研发人员:韩永隆,黄启峰,陈世昌,廖家淯,廖鸿信,黄哲威,陈寿宏,
申请(专利权)人:研能科技股份有限公司,
类型:新型
国别省市:中国台湾,71
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