光检查装置及光检查方法制造方法及图纸

本发明专利技术的光检查装置具备：晶圆支撑部，其将构成有互相相对的第1镜部与第2镜部间的距离通过静电力而变化的多个法布里‑帕罗干涉滤光器部的晶圆，以第1镜部与第2镜部互相相对的方向沿基线的方式支撑；光出射部，其使沿基线入射至多个法布里‑帕罗干涉滤光器部的各个的光出射；及光检测部，其检测沿基线透过多个法布里‑帕罗干涉滤光器部的各个的光。晶圆支撑部具有使光沿基线通过的光通过区域。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】光检查装置及光检查方法
本公开涉及一种用以获得法布里-帕罗干涉滤光器的光检查装置及光检查方法。
技术介绍
作为现有的法布里-帕罗干涉滤光器，已知有具备基板以及在基板上经由空隙互相相对的固定镜及可动镜的滤光器(例如参照专利文献1)。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特表2013-506154号公报
技术实现思路
[专利技术所要解决的问题]由于如上述的法布里-帕罗干涉滤光器为微细的构造体，故在制造法布里-帕罗干涉滤光器时，难以提高制造效率及良率的两者。因此，本公开的目的在于提供一种可效率良好且良率良好地获得多个法布里-帕罗干涉滤光器的光检查装置及光检查方法。[解决问题的技术手段]本公开的一方面的光检查装置具备：晶圆支撑部，其将具备基板层以及二维配置于基板层上的多对第1镜部及第2镜部、且通过在互相相对的第1镜部与第2镜部间形成空隙而构成有互相相对的第1镜部与第2镜部间的距离通过静电力变化的多个法布里-帕罗干涉滤光器部的晶圆，以第1镜部与第2镜部互相相对的方向沿基线的本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种光检查装置，其特征在于，/n具备：/n晶圆支撑部，其将晶圆以第1镜部与第2镜部互相相对的方向沿基线的方式支撑，所述晶圆具备基板层以及二维配置于所述基板层上的多对所述第1镜部及所述第2镜部，且通过在互相相对的所述第1镜部与所述第2镜部之间形成空隙而构成有互相相对的所述第1镜部与所述第2镜部之间的距离通过静电力而变化的多个法布里-帕罗干涉滤光器部；/n光出射部，其使沿所述基线入射至所述多个法布里-帕罗干涉滤光器部的各个的光出射；及/n光检测部，其检测沿所述基线透过所述多个法布里-帕罗干涉滤光器部的各个的光，/n所述晶圆支撑部具有使光沿所述基线通过的光通过区域。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20171124 JP 2017-2260901.一种光检查装置，其特征在于，
具备：
晶圆支撑部，其将晶圆以第1镜部与第2镜部互相相对的方向沿基线的方式支撑，所述晶圆具备基板层以及二维配置于所述基板层上的多对所述第1镜部及所述第2镜部，且通过在互相相对的所述第1镜部与所述第2镜部之间形成空隙而构成有互相相对的所述第1镜部与所述第2镜部之间的距离通过静电力而变化的多个法布里-帕罗干涉滤光器部；
光出射部，其使沿所述基线入射至所述多个法布里-帕罗干涉滤光器部的各个的光出射；及
光检测部，其检测沿所述基线透过所述多个法布里-帕罗干涉滤光器部的各个的光，
所述晶圆支撑部具有使光沿所述基线通过的光通过区域。


2.如权利要求1所述的光检查装置，其中，
所述晶圆支撑部具有面向所述晶圆中构成有所述多个法布里-帕罗干涉滤光器部的有效区域的开口作为所述光通过区域。


3.如权利要求1所述的光检查装置，其中，
所述晶圆支撑部具有与所述晶圆中构成有所述多个法布里-帕罗干涉滤光器部的有效区域接触的光透过构件作为所述光通过区域。


4.如权利要求1至3中任一项所述的光检查装置，其中，
进一步具备电压施加部，该电压施加部以互相相对的所述第1镜部与所述第2镜部之间的距离变化的方式对所述多个法布里-帕罗干涉滤光器部的各个施加电压。


5.如权利要求4所述的光检查...

【专利技术属性】
技术研发人员：笠原隆，柴山胜己，广瀬真树，川合敏光，大山泰生，藏本有未，
申请(专利权)人：浜松光子学株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP