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浜松光子学株式会社专利技术
浜松光子学株式会社共有2224项专利
半导体装置、及半导体装置的制造方法制造方法及图纸
本发明提供一种半导体装置,其具备:支承体,其具有安装区域;半导体芯片,其经由规定距离配置于安装区域上;凸块,其配置于支承体与半导体芯片之间;壁部,其以沿半导体芯片的外缘的一部分的方式配置于支承体与半导体芯片之间;及底部填充树脂层,其配置...
光测定装置及光测定方法制造方法及图纸
分光测定装置(1)具备:光源(2),其输出激发光;积分器(3),其具有供长余辉发光材料(S)配置的内部空间(11),自内部空间(11)输出检测光;分光检测器(4),其取得检测光的光谱数据;解析部(21),其基于光谱数据对长余辉发光材料(...
光测定装置及光测定方法制造方法及图纸
分光测定装置(1)中,控制部(22)以在第1期间(T
光检测装置制造方法及图纸
光检测装置具备由化合物半导体构成的雪崩光电二极管阵列基板(10)。在雪崩光电二极管阵列基板(10),二维排列有以盖革模式动作的多个雪崩光电二极管(20)。电路基板(50)具有互相并联连接并形成至少1个信道(40)的多个输出单元(30)。...
光检测装置制造方法及图纸
光检测装置(1)具备由化合物半导体构成的雪崩光电二极管阵列基板(10)。电路基板(50)具有多个时间测量电路(40)及时钟驱动器(35)。各时间测量电路(40)具有延迟线部,根据延迟线(47)的动作结果,取得表示自对应的雪崩光电二极管(...
试样支承体和试样支承体的制造方法技术
本发明的试样支承体包括:具有彼此相对的第1表面和第2表面的基片;和至少设置在第1表面的导电层。在基片和导电层形成有在导电层的与基片相反侧的第3表面和第2表面具有开口的多个贯通孔。在第2表面、第3表面和多个贯通孔各自的内表面设置有对水的亲...
检查装置及检查方法制造方法及图纸
检查装置具备:激光光源;将激光从金属层侧照射至半导体设备的激光标记用光学系统;通过控制激光光源来控制激光标记的控制部;在基板侧检测来自半导体设备的光并输出光学反射像的二维照相机;及生成半导体设备的图案图像的解析部;控制部以直至标记像显现...
干涉图像取得装置和干涉图像取得方法制造方法及图纸
干涉图像取得装置(1)包括光源(11)、分光镜(12)、物镜(13)、物镜(14)、第2反射镜(15)、镜筒透镜(16)、分光镜(17)、摄像器(18)和第1反射镜(20)。在透明件(容器(70)的底部)的一侧配置有细胞(73),在该透...
试样支撑体和试样支撑体的制造方法技术
本发明的一个方面所涉及的试样支撑体(2)为表面辅助激光解吸电离法用的试样支撑体,具有设置有从一个面(21a)贯通到另一个面(21b)的多个贯通孔(S)的基板(21)、和由导电性材料构成且至少覆盖一个面(21a)的导电层(23),贯通孔(...
荧光测定装置及荧光测定方法制造方法及图纸
荧光测定装置(1A)具备取得包含对象物的荧光图像的荧光图像取得部(3)、取得包含对象物的干涉图像的干涉图像取得部(2)及运算部(4)。运算部(4)基于由干涉图像取得部取得的干涉图像,求出光学厚度图像,在共同地设定于由荧光图像取得部取得的...
光学元件制造技术
本发明提供一种光学元件。该光学元件包括主体部(2),该主体部由可透射第一光(L1)和波长比第一光(L1)长的第二光(L2)的介质构成,主体部(2)具有供第一光(L1)和第二光(L2)入射的入射区域(5),在主体部(2)的内部设置有相对于...
分光器制造技术
分光器具备:支撑体,具有设置有包含凹曲面状的内面的凹部以及与凹部相邻接的周边部的底壁部、相对于底壁部被配置于凹部开口的一侧的侧壁部;光检测元件,以与凹部相对的状态被支撑于侧壁部;分光部,被配置于凹部的内面上。在从凹部和光检测元件互相相对...
光测量方法、光测量装置、光测量程序以及存储光测量程序的存储介质制造方法及图纸
本发明的半导体器件检查装置(1)具备:光传感器(12),其检测来自输入有电信号的DUT即半导体器件(10)的光;光学系统,其将来自半导体器件(10)的光向光传感器(12)导光;及控制装置(18),其电连接于光传感器(12);且控制装置(...
离子化方法和试样支承体技术
一实施方式的离子化方法包括:第1步骤,其准备具有基片和导电层(4)的试样支承体,其中,基片形成有在彼此相对的第1表面(2a)和第2表面(2b)具有开口的多个贯通孔(2c),导电层(4)至少设置于第1表面;第2步骤,在试样支承体以第2表面...
试样支承体、试样支承体的制造方法和试样的离子化方法技术
本发明的试样支承体包括:具有彼此相对的第一表面和第二表面的基板;和至少设置在第一表面的导电层。在基板和导电层,形成有在导电层的与基板相反的一侧的第三表面和第二表面开口的多个贯通孔。对第二表面和第三表面的至少一者,进行用于使对水的亲和性在...
观察对象物罩、干涉观察用容器、干涉观察装置及干涉观察方法制造方法及图纸
观察对象物罩是用于使用第一光及相干长度比第一光长的第二光,基于第二光的干涉结果调整光路长差并且取得由第一光形成的观察对象物的干涉光像的干涉观察的观察对象物罩,具备:透过反射部,其使第一光透过并且使第二光反射;支承部,其以载置观察对象物的...
晶圆的检查方法及晶圆技术
本发明的晶圆具备:基板层;第1镜层,其具有二维配置的多个第1镜部;及第2镜层,其具有二维配置的多个第2镜部。在晶圆中,通过在第1镜部与第2镜部之间形成空隙,而构成有多个法布里‑帕罗干涉滤光器部。一实施方式的晶圆检查方法包含下述步骤:进行...
晶圆制造技术
本发明的晶圆具备:基板层;第1镜层,其具有二维配置的多个第1镜部;及第2镜层,其具有二维配置的多个第2镜部。在有效区域中,通过在第1镜部与第2镜部之间形成空隙,而构成多个法布里‑帕罗干涉滤光器部。在沿基板层的外缘且包围有效区域的虚设区域...
激光解吸电离法、质谱法、试样支承体和试样支承体的制造方法技术
激光解吸电离法包括:第1工序,准备包括形成有在彼此相对的第1表面(2a)和第2表面(2b)开口的多个贯通孔(2c)的基板(2)、至少设置于第1表面的导电层和设置于多个贯通孔且在真空中具有不易挥发性的溶剂(81)的试样支承体(1);第2工...
发光装置及其制造方法制造方法及图纸
本实施方式涉及具备能够将±1次光中的一方的功率相对于另一方的功率降低的构造的发光装置等。该发光装置具备基板、发光部、包含基本层以及多个不同折射率区域的相位调制层。多个不同折射率区域的各个具有由面对基板的第一面、相对于第一面而位于基板的相...
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