观察对象物罩、干涉观察用容器、干涉观察装置及干涉观察方法制造方法及图纸

观察对象物罩是用于使用第一光及相干长度比第一光长的第二光，基于第二光的干涉结果调整光路长差并且取得由第一光形成的观察对象物的干涉光像的干涉观察的观察对象物罩，具备：透过反射部，其使第一光透过并且使第二光反射；支承部，其以载置观察对象物的载置面和透过反射部隔开规定的间隔而彼此相对的方式支承透过反射部。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】观察对象物罩、干涉观察用容器、干涉观察装置及干涉观察方法
本专利技术的一方面涉及一种观察对象物罩、干涉观察用容器、干涉观察装置及干涉观察方法。
技术介绍
作为干涉观察装置，已知有使用第一光及相干长度比第一光长的第二光，基于第二光的干涉结果调整光路长差，并且取得由第一光形成的观察对象物的干涉光像的装置(参照例如专利文献1)。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2009-122033号公报
技术实现思路
专利技术所要解决的问题上述的干涉观察中，从提高便利性的观点来看，期待观察条件的放宽。因此，本专利技术的一方面的目的在于提供一种观察对象物罩、干涉观察用容器、干涉观察装置及干涉观察方法，其能够实现观察条件放宽了的干涉观察。解决问题的技术手段本专利技术的一方面所涉及的观察对象物罩，是用于使用第一光及相干长度比第一光长的第二光，基于第二光的干涉结果调整光路长差并且取得由第一光形成的观察对象物的干涉光像的干涉观察的观察对象物罩，具备：透过反射部，其使第一光透过并且使第二本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种观察对象物罩，其中，/n是用于使用第一光及相干长度比所述第一光长的第二光，基于所述第二光的干涉结果调整光路长差并且取得由所述第一光形成的观察对象物的干涉光像的干涉观察的观察对象物罩，/n具备：/n透过反射部，其使所述第一光透过并且使所述第二光反射；以及/n支承部，其以载置所述观察对象物的载置面和所述透过反射部隔开规定的间隔而彼此相对的方式支承所述透过反射部。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20171220 JP 2017-2439241.一种观察对象物罩，其中，
是用于使用第一光及相干长度比所述第一光长的第二光，基于所述第二光的干涉结果调整光路长差并且取得由所述第一光形成的观察对象物的干涉光像的干涉观察的观察对象物罩，
具备：
透过反射部，其使所述第一光透过并且使所述第二光反射；以及
支承部，其以载置所述观察对象物的载置面和所述透过反射部隔开规定的间隔而彼此相对的方式支承所述透过反射部。


2.根据权利要求1所述的观察对象物罩，其中，
所述支承部具有第一板部、和以在所述第一板部和所述透过反射部之间形成阶差的方式与所述第一板部及所述透过反射部连接的第二板部，以所述透过反射部在所述第一光的入射方向上相对于所述第一板部位于所述载置面侧的方式支承所述透过反射部。


3.根据权利要求2所述的观察对象物罩，其中，
所述第二板部以越远离所述透过反射部，由所述第二板部及所述透过反射部划定的空间越扩大的方式相对于所述第一光的所述入射方向倾斜地延伸。


4.根据权利要求2或3所述的观察对象物罩，其中，
由所述第二板部及所述透过反射部划定的空间在与所述第一光的入射方向正交的截面上呈圆形状。


5.根据权利要求2～4中任一项所述的观察对象物罩，其中，
所述支承部还具有：第三板部，其以与所述第二板部彼此相对的方式从所述第一板部延伸。


6.根据权利要求1～5中任一项所述的观察对象物罩，其中，
所述透过反射部具有光透过性的基板和光学层，所述光学层设置于所述基板的朝向所述载置面侧的表面，使所述第一光透过并且使所述第二光反射。


7.一种干涉观察用容器，其...

【专利技术属性】
技术研发人员：山内丰彦，山田秀直，后藤谦太郎，
申请(专利权)人：浜松光子学株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP