观察对象物罩、干涉观察用容器、干涉观察装置及干涉观察方法制造方法及图纸

观察对象物罩是用于使用第一光及相干长度比第一光长的第二光，基于第二光的干涉结果调整光路长差并且取得由第一光形成的观察对象物的干涉光像的干涉观察的观察对象物罩，具备：透过反射部，其使第一光透过并且使第二光反射；支承部，其以载置观察对象物的载置面和透过反射部隔开规定的间隔而彼此相对的方式支承透过反射部。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】观察对象物罩、干涉观察用容器、干涉观察装置及干涉观察方法
本专利技术的一方面涉及一种观察对象物罩、干涉观察用容器、干涉观察装置及干涉观察方法。
技术介绍
作为干涉观察装置，已知有使用第一光及相干长度比第一光长的第二光，基于第二光的干涉结果调整光路长差，并且取得由第一光形成的观察对象物的干涉光像的装置(参照例如专利文献1)。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2009-122033号公报
技术实现思路
专利技术所要解决的问题上述的干涉观察中，从提高便利性的观点来看，期待观察条件的放宽。因此，本专利技术的一方面的目的在于提供一种观察对象物罩、干涉观察用容器、干涉观察装置及干涉观察方法，其能够实现观察条件放宽了的干涉观察。解决问题的技术手段本专利技术的一方面所涉及的观察对象物罩，是用于使用第一光及相干长度比第一光长的第二光，基于第二光的干涉结果调整光路长差并且取得由第一光形成的观察对象物的干涉光像的干涉观察的观察对象物罩，具备：透过反射部，其使第一光透过并且使第二光反射；支承部，其以载置观察对象物的载置面和透过反射部隔开规定的间隔而彼此相对的方式支承透过反射部。在该观察对象物罩中，以载置观察对象物的载置面和透过反射部隔开规定的间隔而彼此相对的方式支承透过反射部。在使用该观察对象物罩进行干涉观察时，在将观察对象物载置于载置面上且载置面和透过反射部隔开规定的间隔而彼此相对的状态下，第一光及第二光相对于透过反射部从载置面的相反侧入射。在这些光中，第二光被透过反射部反射，另一方面，第一光透过透过反射部并被观察对象物反射，之后，再次透过透过反射部并返回到入射侧。因此，根据该观察对象物罩，能够不使第二光入射到观察对象物而进行干涉观察。其结果，无需考虑第二光对观察对象物的影响，因此，能够提高关于第二光的特性(例如波长)的选择的自由度。另外，因为第二光不入射到观察对象物，所以不仅能够观察具有光透过性的观察对象物，还能够观察不具有光透过性的观察对象物。这样，根据该观察对象物罩，能够实现观察条件放宽了的干涉观察。在本专利技术的一方面的观察对象物罩中，也可以是，支承部具有第一板部、和以在第一板部和透过反射部之间形成阶差的方式与第一板部及透过反射部连接的第二板部，以透过反射部在第一光的入射方向上相对于第一板部位于载置面侧的方式支承透过反射部。在该情况下，能够使透过反射部靠近载置面(观察对象物)，能够抑制噪声的产生。另外，在例如相对于透过反射部在载置面的相反侧配置物镜的情况下，能够将物镜配置于由第二板部及透过反射部划定的空间内。其结果，能够使物镜靠近透过反射部，能够容易地将物镜和载置面(观察面)之间的距离收敛于物镜的工作距离内。在本专利技术的一方面的观察对象物罩中，也可以是，第二板部以越远离透过反射部，由第二板部及透过反射部划定的空间越扩大的方式相对于第一光的入射方向倾斜地延伸。在该情况下，在例如相对于透过反射部在载置面的相反侧配置物镜的情况下，能够容易地将物镜配置于该空间内。在本专利技术的一方面的观察对象物罩中，也可以是，由第二板部及透过反射部划定的空间在与第一光的入射方向正交的截面上呈圆形状。在该情况下，在例如相对于透过反射部在载置面的相反侧配置物镜的情况下，能够更加容易地将物镜配置于空间内。在本专利技术的一方面的观察对象物罩中，也可以是，支承部还具有：第三板部，其以与第二板部彼此相对的方式从第一板部延伸。在该情况下，能够通过支承部适宜地支承透过反射部。在本专利技术的一方面的观察对象物罩中，也可以是，透过反射部具有光透过性的基板和光学层，所述光学层设置于基板的朝向载置面侧的表面，使第一光透过并且使第二光反射。在该情况下，能够使光学层靠近载置面(观察对象物)，能够进一步抑制噪声的产生。本专利技术的一方面所涉及的干涉观察用容器，具备：观察对象物罩；保持部件，其具有设置有载置面的底壁部及沿着与载置面正交的方向从底壁部延伸的侧壁部，观察对象物罩以载置面和透过反射部隔开规定的间隔而彼此相对的方式配置于侧壁部上。根据该干涉观察用容器，由于上述的理由，能够不使第二光入射到观察对象物而进行干涉观察，能够实现观察条件放宽了的干涉观察。再有，保持部件具有侧壁部，观察对象物罩配置于侧壁部上，因此能够使干涉观察用容器的处理变得容易。在本专利技术的一方面的干涉观察用容器中，也可以是，观察对象物罩以观察对象物罩和保持部件之间被密闭的方式安装于保持部件。在该情况下，能够抑制外部气体中的异物所引起的观察对象物的污染。在本专利技术的一方面的干涉观察用容器中，也可以是，在侧壁部设置有第一螺合部，支承部具有沿着第一光的入射方向延伸的第四板部，在侧壁部设置有第一螺合部，在第四板部设置有与第一螺合部螺合的第二螺合部，观察对象物罩通过第一螺合部和第二螺合部相互螺合而安装于保持部件。在该情况下，能够将观察对象物罩和保持部件彼此牢固地固定。另外，通过使第一螺合部和第二螺合部之间的螺合量变化，从而能够调整透过反射部和载置面(观察对象物)之间的距离。本专利技术的一方面所涉及的干涉观察装置，具备：上述观察对象物罩；第一光源，其输出第一光；第二光源，其输出第二光；干涉光学系统，其输出第一光的干涉光及第二光的干涉光；第一光检测部，其检测第一光的干涉光；第二光检测部，其检测第二光的干涉光；保持部件，其设置有载置面。根据该干涉观察装置，由于上述的理由，能够不使第二光入射到观察对象物而进行干涉观察，能够实现观察条件放宽了的干涉观察。本专利技术的一方面所涉及的干涉观察方法，是使用上述干涉观察装置的干涉观察方法，包括：第一步骤，将观察对象物载置于载置面；第二步骤，在第一步骤之后，以载置面和透过反射部隔开规定的间隔而彼此相对的方式配置观察对象物罩；第三步骤，在第二步骤之后，基于第二光的干涉结果调整光路长差，并且取得由第一光形成的观察对象物的干涉光像。根据该干涉观察方法，由于上述的理由，能够不使第二光入射到观察对象物而进行干涉观察，能够实现观察条件放宽了的干涉观察。专利技术的效果根据本专利技术的一方面，能够提供一种观察对象物罩、干涉观察用容器、干涉观察装置及干涉观察方法，其能够实现观察条件放宽了的干涉观察。附图说明图1是实施方式的干涉观察装置的结构图。图2是表示第一光及第二光的强度和光路长差的关系的图。图3是用于说明光路长差调整动作的图。图4是表示第一动作方式中的处理步骤的流程图。图5是表示第一动作方式中的光路长差的时间变化的图。图6是表示第二动作方式中的处理步骤的流程图。图7是表示第二动作方式中的光路长差的时间变化的图。图8是实施方式的干涉观察用容器的截面图。图9是图8所示的干涉观察用容器的分解立体图。图10是第一变形例的干涉观察用容器的截面图。图11是第二变形例的干涉观察用容器的截面图。图12是第三变形例的干涉观察用容器的分解立体图。图13是第三变形例的干涉观察用容器的截面图。图14是表示第本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种观察对象物罩，其中，/n是用于使用第一光及相干长度比所述第一光长的第二光，基于所述第二光的干涉结果调整光路长差并且取得由所述第一光形成的观察对象物的干涉光像的干涉观察的观察对象物罩，/n具备：/n透过反射部，其使所述第一光透过并且使所述第二光反射；以及/n支承部，其以载置所述观察对象物的载置面和所述透过反射部隔开规定的间隔而彼此相对的方式支承所述透过反射部。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20171220 JP 2017-2439241.一种观察对象物罩，其中，
是用于使用第一光及相干长度比所述第一光长的第二光，基于所述第二光的干涉结果调整光路长差并且取得由所述第一光形成的观察对象物的干涉光像的干涉观察的观察对象物罩，
具备：
透过反射部，其使所述第一光透过并且使所述第二光反射；以及
支承部，其以载置所述观察对象物的载置面和所述透过反射部隔开规定的间隔而彼此相对的方式支承所述透过反射部。


2.根据权利要求1所述的观察对象物罩，其中，
所述支承部具有第一板部、和以在所述第一板部和所述透过反射部之间形成阶差的方式与所述第一板部及所述透过反射部连接的第二板部，以所述透过反射部在所述第一光的入射方向上相对于所述第一板部位于所述载置面侧的方式支承所述透过反射部。


3.根据权利要求2所述的观察对象物罩，其中，
所述第二板部以越远离所述透过反射部，由所述第二板部及所述透过反射部划定的空间越扩大的方式相对于所述第一光的所述入射方向倾斜地延伸。


4.根据权利要求2或3所述的观察对象物罩，其中，
由所述第二板部及所述透过反射部划定的空间在与所述第一光的入射方向正交的截面上呈圆形状。


5.根据权利要求2～4中任一项所述的观察对象物罩，其中，
所述支承部还具有：第三板部，其以与所述第二板部彼此相对的方式从所述第一板部延伸。


6.根据权利要求1～5中任一项所述的观察对象物罩，其中，
所述透过反射部具有光透过性的基板和光学层，所述光学层设置于所述基板的朝向所述载置面侧的表面，使所述第一光透过并且使所述第二光反射。


7.一种干涉观察用容器，其...

【专利技术属性】
技术研发人员：山内丰彦，山田秀直，后藤谦太郎，
申请(专利权)人：浜松光子学株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP