测量装置(1A)具备干涉图像取得部(2)、荧光图像取得部(3)、运算部(4)和时序控制电路(5)。运算部(4)基于由干涉图像取得部(2)取得的干涉图像来制作光学厚度图像，并且制作表示由荧光图像取得部(3)取得的荧光图像中的像素值大于阈值...

一种电子管(1)，其具备：光电面(3)，其发射与光L对应的电子E；雪崩光电二极管(6)，其以面向光电面(3)的方式配置；聚焦电极部(4)，其使电子E从光电面(3)朝向雪崩光电二极管(6)加速，并使电子E聚焦；框体(2)，其具有设置雪崩光...

试样观察装置(1)包括：拍摄因透过膜过滤器(6)的面状光(L2)的照射而产生的观察光(L3)，输出荧光图像数据(G)的拍摄部(13)；在荧光图像数据(G)中确定与第一试样保持空间(V1)对应的第一区域(K1)和与第二试样保持空间(V2)...

试样观察装置(1)包括：向试样(S)照射面状光(L2)的照射部(11)；相对于面状光(L2)的照射面R在一个方向上扫描试样(S)的扫描部(12)；将来自试样(S)的荧光(J1)和散射光(J2)分别成像的成像部(17)；输出基于荧光(J1...

光学装置中，可动部具有：主体部；框部，其自主体部空开规定的间隔而包围主体部；及多个连结部，其将主体部与框部相互连结。主体部的外缘部包含以外缘部的厚度厚于中央部的厚度的方式形成的第1梁部。框部包含以框部的厚度厚于中央部的厚度的方式形成的第...

本发明的目的在于提供能够实现可靠性的提高和成本降低的光学组件和光学组件的制造方法。光学组件(100)包括具有可动反射镜部(10)的反射镜单元(40)、产生作用于上述可动反射镜部的磁场的磁体部(50)和收纳上述磁体部的封装件(60)。上述...

在光学器件中，基体和可动部由从规定方向上的一侧起依次具有第1半导体层、绝缘层和第2半导体层的半导体基片构成。基体由第1半导体层、绝缘层和第2半导体层构成。可动部具有由第2半导体层构成的配置部。光学功能部配置在配置部的一侧的表面上。构成基...

致动器装置具备：支撑部；可动部；第一连结部，其以可动部能够在第一轴线周围摇动的方式在第一轴线上将可动部连结于支撑部；以及第一配线，其被设置于第一连结部上。第一配线具有由维氏硬度为50HV以上的金属材料构成的第一主体部。第一主体部包括面对...

光学装置具备：基座，其具有主面；可动部，其具有光学功能部；弹性支撑部，其以可动部能够沿着与主面垂直的规定方向移动的方式支撑可动部；固定梳齿电极，其具有多个固定梳齿；及可动梳齿电极，其具有与多个固定梳齿相互交替地配置的多个可动梳齿。可动部...

本发明将提供一种能够抑制粘附的产生并且能够使可动部沿着规定方向大幅移动的光学装置及其制造方法作为目的。本发明的光学装置(10)具备：基座(12)；可动部(11)，其具有光学功能部(11a)；弹性支撑部(14、15)，其以可动部(11)能...

光学组件(1A)包括包含可动反射镜(22)和固定反射镜(16)的反射镜单元(2)、分束器单元(3)、光入射部(4)、第1光检测器(6)、第2光源(7)、第2光检测器(8)、保持单元(130)、第1反射镜(51)、第2反射镜(52)和第3...

光学装置具备：基座，其具有主面；可动部，其具有光学功能部；及弹性支撑部，其连接于基座与可动部之间，且以可动部能够沿着与主面垂直的第1方向移动的方式支撑可动部。弹性支撑部具有：杆；第1扭转支撑部，其沿着与第1方向垂直的第2方向延伸，且连接...

本发明的光学组件包括反射镜单元和分束器单元。反射镜单元包括具有主面的基体、可动反射镜、第1固定反射镜和驱动部。分束器单元与可动反射镜和第1固定反射镜一起针对检测光构成第1干涉光学系统。可动反射镜的反射镜面和第1固定反射镜的反射镜面沿着与...

光学装置具备：弹性支撑部，其以可动部能够沿着第1方向移动的方式支撑可动部；第1梳齿电极，其具有多个第1梳齿；及第2梳齿电极，其具有多个第2梳齿。弹性支撑部具有沿着与第1方向垂直的第2方向延伸的扭力棒、及连接于扭力棒与可动部之间的非线性缓...

本发明的光学装置具备：弹性支撑部，其以可动部能够沿着第1方向移动的方式支撑可动部；第1梳齿电极，其具有多个第1梳齿；及第2梳齿电极，其具有多个第2梳齿。弹性支撑部具有：扭力棒，其沿着与第1方向垂直的第2方向延伸；及非线性缓和弹簧，其连接...

本发明的目的在提供一种能够实现可动反射镜的镜面的大型化，同时抑制可动反射镜的可动性能降低和装置整体的大型化的光学器件。本发明的光学器件(10)包括：具有主面的基体(12)；具有沿着与主面平行的平面的镜面的可动反射镜(11)；将可动反射镜...

反射镜组件(2)包括：含有基体(21)和可动反射镜(22)的反射镜器件(20)；光学功能部件(13)；和相对于光学功能部件(13)配置在与反射镜器件(20)相反侧的固定反射镜(16)。在光学功能部件(13)形成有构成分束器组件(3)与固...

本发明的光学组件(1)包括：包括基体(21)、可动反射镜(22)和固定反射镜(16)的反射镜单元(2)；配置在Z轴方向上的反射镜单元(2)的一侧的分束器单元(3)；使检测光(L0)入射至分束器单元(3)的光入射部(4)；配置在Z轴方向上...

信号处理基板(10)具有多个信号处理电路(23)，该处理电路处理由红外线检测元件(1)的多个像素输出的信号。信号处理基板(10)具有：配置有红外线检测元件(1)的元件配置区域(17)、从与信号处理基板(10)正交方向看以围绕元件配置区域...

由排列成一维或二维并且分别根据光的入射而生成检测信号的N个光检测像素(52)和输出在N个光检测像素(52)的各个中生成的检测信号(S0)的单一输出端子(16)构成光检测器(50)。N个光检测像素(52)的各个具有以盖革模式工作的雪崩光电...