致动器装置制造方法及图纸

致动器装置包括：支承部；第1可动部；第2可动部；将第1可动部与第2可动部相互连结的第1连结部；将第2可动部与支承部相互连结的第2连结部；设置于第2可动部的螺旋状的线圈；产生作用于线圈的磁场的磁场产生部；设置于支承部的第1外部端子；和与线圈的内侧端部和上述第1外部端子连接的第1配线。第1配线具有：与第1外部端子连接的引出配线；和以跨越线圈的方式设置于第2可动部且与线圈的内侧端部和引出配线连接的跨接配线。跨接配线的宽度比线圈的宽度宽，跨接配线的厚度比线圈的厚度薄。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】致动器装置
本专利技术的一个方面涉及例如作为MEMS(MicroElectroMechanicalSystems(微机电系统))器件而构成的致动器装置。
技术介绍
作为MEMS器件，已知有一种致动器装置，其包括：支承部；第1可动部；包围第1可动部的框状的第2可动部；第1连结部，其以使第1可动部在第1轴线周围可摇动的方式将第1可动部与第2可动部相互连结；第2连结部，其以使第2可动部在与第1轴线正交的第2轴线周围可摇动的方式将第2可动部与支承部相互连结；设置于第2可动部的线圈；和产生作用于线圈的磁场的磁场产生部(例如参照专利文献1)。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2014-41234号公报
技术实现思路
专利技术所要解决的技术问题在如上所述的致动器装置中，当对线圈输入与第1轴线周围的第1可动部的共振频率相等的频率的驱动信号时，第2可动部在第1轴线周围以该频率稍微振动。该振动经由第1连结部传递到第1可动部，由此能够使第1可动部在第1轴线周围以该频率摇动。但是，这样的驱动方法中，与例本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种致动器装置，其特征在于，/n包括：/n支承部；/n第1可动部；/n以包围所述第1可动部的方式配置的框状的第2可动部；/n第1连结部，其以使所述第1可动部能够在第1轴线周围摆动的方式将所述第1可动部与所述第2可动部相互连结；/n第2连结部，其以通过使所述第2可动部振动而使所述第1可动部能够在所述第1轴线周围摆动的方式将所述第2可动部与所述支承部相互连结；/n设置于所述第2可动部的螺旋状的线圈；/n产生作用于所述线圈的磁场的磁场产生部；/n设置于所述支承部的第1外部端子；和/n与所述线圈的内侧端部和所述第1外部端子连接的第1配线，/n所述第1配线包括：与所述第1外部端子连接的引出配线；和以...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20171201 JP 2017-2320571.一种致动器装置，其特征在于，
包括：
支承部；
第1可动部；
以包围所述第1可动部的方式配置的框状的第2可动部；
第1连结部，其以使所述第1可动部能够在第1轴线周围摆动的方式将所述第1可动部与所述第2可动部相互连结；
第2连结部，其以通过使所述第2可动部振动而使所述第1可动部能够在所述第1轴线周围摆动的方式将所述第2可动部与所述支承部相互连结；
设置于所述第2可动部的螺旋状的线圈；
产生作用于所述线圈的磁场的磁场产生部；
设置于所述支承部的第1外部端子；和
与所述线圈的内侧端部和所述第1外部端子连接的第1配线，
所述第1配线包括：与所述第1外部端子连接的引出配线；和以跨越所述线圈的方式设置于所述第2可动部且与所述线圈的所述内侧端部和所述引出配线连接的跨接配线，
所述跨接配线的宽度比所述线圈的宽度宽，
所述跨接配线的厚度比所述线圈的厚度薄。


2.如权利要求1所述的致动器装置，其特征在于，
所述线圈与所述跨接配线的接触区域的长度比所述线圈的宽度大。


3.如权利要求1或2所述的致动器装置，其特征在于，
所述引出配线与所述跨接配线的接触区域的长度比所述线圈的宽度大。


4.如权利要求1～3中任一项所述的致动器装置，其特征在于，
所述跨接配线的截面积比所述线圈的截面积大。


5.如权利要求1～4中任一项所述的致动器装置，其特征在于，
所述跨接配线的宽度比所述线圈的配置区域的宽度宽。


6.如权利要求1～5中任一项所述的致动器装置，其特征在于，
所述线圈被埋入到所述第2可动部，
所述跨接配线形成为平坦的层状且以跨越所述线圈的上侧的方式延伸。


7.如权利要求1～5中任一项所述的致动器装置，其特征在于，
所述线圈配置于所述第2可动部上，
所述跨接配线以跨越所述线圈的下侧的方式在所述线圈与所述第2可动部之间延伸。

【专利技术属性】
技术研发人员：铃木大几，大崎拓真，榊原靖之，
申请(专利权)人：浜松光子学株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP