致动器装置制造方法及图纸

致动器装置包括：支承部；第1可动部；第2可动部；将第1可动部与第2可动部相互连结的第1连结部；将第2可动部与支承部相互连结的第2连结部；设置于第2可动部的螺旋状的线圈；产生作用于线圈的磁场的磁场产生部；设置于支承部的第1外部端子；和与线圈的内侧端部和上述第1外部端子连接的第1配线。第1配线具有：与第1外部端子连接的引出配线；和以跨越线圈的方式设置于第2可动部且与线圈的内侧端部和引出配线连接的跨接配线。跨接配线的宽度比线圈的宽度宽，跨接配线的厚度比线圈的厚度薄。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】致动器装置
本专利技术的一个方面涉及例如作为MEMS(MicroElectroMechanicalSystems(微机电系统))器件而构成的致动器装置。
技术介绍
作为MEMS器件，已知有一种致动器装置，其包括：支承部；第1可动部；包围第1可动部的框状的第2可动部；第1连结部，其以使第1可动部在第1轴线周围可摇动的方式将第1可动部与第2可动部相互连结；第2连结部，其以使第2可动部在与第1轴线正交的第2轴线周围可摇动的方式将第2可动部与支承部相互连结；设置于第2可动部的线圈；和产生作用于线圈的磁场的磁场产生部(例如参照专利文献1)。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2014-41234号公报
技术实现思路
专利技术所要解决的技术问题在如上所述的致动器装置中，当对线圈输入与第1轴线周围的第1可动部的共振频率相等的频率的驱动信号时，第2可动部在第1轴线周围以该频率稍微振动。该振动经由第1连结部传递到第1可动部，由此能够使第1可动部在第1轴线周围以该频率摇动。但是，这样的驱动方法中，与例如通过设置于第1可动部的线圈使第1可动部驱动的情况相比，难以获得较大的驱动力。为了使驱动力增加而考虑增加线圈的匝数，但是为了确保线圈的配置空间，第2可动部变得大型化，第2可动部变得难以振动。因此，为了增加驱动力，需要使输入到线圈的电流量增加。因为通常电流量增加时发热量也增加，所以寻求对发热量的增加的对策。另外，对于如上所述的致动器装置来说，要求可靠性的提高和制造的容易化。>本专利技术的一个方面的目的在于，提供一种致动器装置，其即使在输入到线圈的电流量增加的情况下也能够抑制发热量的增加，并且能够实现可靠性的提高和制造的容易化。解决问题的技术手段本专利技术的一个方面的致动器装置，包括：支承部；第1可动部；以包围第1可动部的方式配置的框状的第2可动部；第1连结部，其以使第1可动部能够在第1轴线周围摆动的方式将第1可动部与第2可动部相互连结；第2连结部，其以通过使第2可动部振动而使第1可动部能够在第1轴线周围摆动的方式将第2可动部与支承部相互连结；设置于第2可动部的螺旋状的线圈；产生作用于线圈的磁场的磁场产生部；设置于支承部的第1外部端子；和与线圈的内侧端部和第1外部端子连接的第1配线，第1配线包括：与第1外部端子连接的引出配线；和以跨越线圈的方式设置于第2可动部、且与线圈的内侧端部和引出配线连接的跨接配线，跨接配线的宽度比线圈的宽度宽，跨接配线的厚度比线圈的厚度薄。在该致动器装置中，线圈的内侧端部和引出配线通过以跨越线圈的方式设置于第2可动部的跨接配线相互连接。跨接配线的宽度比线圈的宽度宽，跨接配线的厚度比线圈的厚度薄。由此，能够降低跨接配线的配线电阻，即使在被输入到线圈的电流量增加的情况下也能够抑制发热量的增加。再有，由于跨接配线的宽度比线圈的宽度宽，能够将跨接配线稳定地配置，能够提高可靠性。再有，由于跨接配线的厚度比线圈的厚度薄，通过跨接配线能够抑制在第2可动部的表面形成凹凸，能够使制造容易化。因此，根据该致动器装置，即使在被输入到线圈的电流量增加了的情况下也能够抑制发热量的增加，并且能够实现可靠性的提高和制造的容易化。本专利技术的一个方面的致动器装置中，也可以是线圈与跨接配线的接触区域的长度比线圈的宽度大。在该情况下，能够降低线圈与跨接配线之间的接触电阻，能够有效地抑制发热量的增加。本专利技术的一个方面的致动器装置中，也可以是引出配线与跨接配线的接触部分的宽度比线圈的宽度大。在该情况下，能够降低引出配线与跨接配线之间的接触电阻，能够更有效地抑制发热量的增加。本专利技术的一个方面的致动器装置中，也可以是上述跨接配线的截面积比上述线圈的截面积大。在该情况下，能够更加有效地抑制发热量的增加。本专利技术的一个方面的致动器装置中，也可以是跨接配线的宽度比线圈的配置区域的宽度宽。据此，能够更加有效地抑制发热量的增加。。本专利技术的一个方面的致动器装置中，也可以是线圈被埋入到第2可动部，跨接配线形成为平坦的层状、且以跨越线圈的上侧的方式延伸。在该情况下，能够将线圈稳定地配置，能够更加提高可靠性。再有，通过跨接配线能够有效地抑制在第2可动部的表面形成凹凸，能够使制造更加容易化。本专利技术的一个方面的致动器装置中，也可以是线圈配置于第2可动部上，跨接配线以跨越线圈的下侧的方式在线圈与第2可动部之间延伸。在该情况下，能够实现跨接配线的保护。本专利技术的一个方面的致动器装置也可以还包括：设置于支承部上的第2外部端子；和与线圈的外侧端部和第2外部端子连接的第2配线，具有一对第2连结部，第1配线从线圈的内侧端部经由一对第2连结部的一方延伸至第1外部端子，第2配线从线圈的外侧端部经由一对第2连结部的另一方延伸至第2外部端子。在该情况下，由于第1配线通过一方的第2扭力杆并且第2配线通过另一方的第2连结部，因此与例如第1配线和第2配线的两者通过一方的第2连结部的情况相比，能够在一对第2连结部之间使发热量均匀化。本专利技术的一个方面的致动器装置中，也可以是在第2可动部，在线圈假想性地从内侧端部螺旋状地延长的位置设置有用于调节与线圈的质量平衡的虚设线圈。在该情况下，能够提高第2可动部的质量平衡。本专利技术的一个方面的致动器装置中，也可以是在第2可动部，设置有用于调节与跨接配线的质量平衡的虚设跨接配线。在该情况下，能够提高第2可动部的质量平衡。本专利技术的一个方面的致动器装置中，也可以是虚设跨接配线在从与配置有线圈的平面正交的方向观察时，相对于跨接配线关于第2可动部的中心点对称地配置。在该情况下，能够有效地提高第2可动部的质量平衡。本专利技术的一个方面的致动器装置中，也可以是具有一对线圈，一对线圈在从与配置有线圈的平面正交的方向观察时，以在第2可动部的宽度方向上交错地排列的方式配置。在该情况下，能够适当地驱动第1可动部。本专利技术的一个方面的致动器装置中，也可以是一对线圈的一方配置于一对线圈的另一方假想性地从内侧端部螺旋状地延长的位置。在该情况下，能够将一对线圈的一方配置于更外侧，能够使驱动力增加。本专利技术的一个方面的致动器装置中，也可以是第2连结部以使第2可动部能够在与第1轴线正交的第2轴线周围摆动的方式将第2可动部与支承部相互连结。在该情况下，能够使第2可动部与第1可动部一起在第2轴线周围摆动。本专利技术的一个方面的致动器装置中，也可以是支承部中的第1配线具有相互并联地连接的多个配线部。在该情况下，能够降低支承部中的第1配线的配线电阻，能够更加有效地抑制发热量的增加。本专利技术的一个方面的致动器装置中，也可以是还包括与第1外部端子连接、且被引出到外部的一对线。在该情况下，能够降低从第1外部端子引出的配线的配线电阻，能够更加有效地抑制发热量的增加。专利技术的效果根据本专利技术的一个方面，能够提供一种致动器装置，其即使在输入到线圈的电流量增加了的情况下，也能够抑制发热量的增加，并且能够实现可靠性的提高和制造的容易化。附图说明图1是一个实施方本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种致动器装置，其特征在于，/n包括：/n支承部；/n第1可动部；/n以包围所述第1可动部的方式配置的框状的第2可动部；/n第1连结部，其以使所述第1可动部能够在第1轴线周围摆动的方式将所述第1可动部与所述第2可动部相互连结；/n第2连结部，其以通过使所述第2可动部振动而使所述第1可动部能够在所述第1轴线周围摆动的方式将所述第2可动部与所述支承部相互连结；/n设置于所述第2可动部的螺旋状的线圈；/n产生作用于所述线圈的磁场的磁场产生部；/n设置于所述支承部的第1外部端子；和/n与所述线圈的内侧端部和所述第1外部端子连接的第1配线，/n所述第1配线包括：与所述第1外部端子连接的引出配线；和以跨越所述线圈的方式设置于所述第2可动部且与所述线圈的所述内侧端部和所述引出配线连接的跨接配线，/n所述跨接配线的宽度比所述线圈的宽度宽，/n所述跨接配线的厚度比所述线圈的厚度薄。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20171201 JP 2017-2320571.一种致动器装置，其特征在于，
包括：
支承部；
第1可动部；
以包围所述第1可动部的方式配置的框状的第2可动部；
第1连结部，其以使所述第1可动部能够在第1轴线周围摆动的方式将所述第1可动部与所述第2可动部相互连结；
第2连结部，其以通过使所述第2可动部振动而使所述第1可动部能够在所述第1轴线周围摆动的方式将所述第2可动部与所述支承部相互连结；
设置于所述第2可动部的螺旋状的线圈；
产生作用于所述线圈的磁场的磁场产生部；
设置于所述支承部的第1外部端子；和
与所述线圈的内侧端部和所述第1外部端子连接的第1配线，
所述第1配线包括：与所述第1外部端子连接的引出配线；和以跨越所述线圈的方式设置于所述第2可动部且与所述线圈的所述内侧端部和所述引出配线连接的跨接配线，
所述跨接配线的宽度比所述线圈的宽度宽，
所述跨接配线的厚度比所述线圈的厚度薄。


2.如权利要求1所述的致动器装置，其特征在于，
所述线圈与所述跨接配线的接触区域的长度比所述线圈的宽度大。


3.如权利要求1或2所述的致动器装置，其特征在于，
所述引出配线与所述跨接配线的接触区域的长度比所述线圈的宽度大。


4.如权利要求1～3中任一项所述的致动器装置，其特征在于，
所述跨接配线的截面积比所述线圈的截面积大。


5.如权利要求1～4中任一项所述的致动器装置，其特征在于，
所述跨接配线的宽度比所述线圈的配置区域的宽度宽。


6.如权利要求1～5中任一项所述的致动器装置，其特征在于，
所述线圈被埋入到所述第2可动部，
所述跨接配线形成为平坦的层状且以跨越所述线圈的上侧的方式延伸。


7.如权利要求1～5中任一项所述的致动器装置，其特征在于，
所述线圈配置于所述第2可动部上，
所述跨接配线以跨越所述线圈的下侧的方式在所述线圈与所述第2可动部之间延伸。

【专利技术属性】
技术研发人员：铃木大几，大崎拓真，榊原靖之，
申请(专利权)人：浜松光子学株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP