【技术实现步骤摘要】
一种像质补偿装置、光学系统及光刻机
本专利技术涉及光刻
，尤其涉及一种像质补偿装置、光学系统及光刻机。
技术介绍
投影物镜作为光刻机的核心部件，是现代最精密、最复杂的光学系统之一。随着集成电路微缩化的发展，芯片尺寸不断缩小的同时，对投影物镜波像差指标提出了更高的要求。研发具有良好像质补偿能力的光刻投影物镜已成为国内外研究热点之一。主动变形镜组通过自身镜片面形的改变来补偿光学系统像差，被广泛应用于各类光刻投影物镜中，其主要结构有两种：基于外力驱动的主动变形镜组和基于加热原理的主动变形镜组。现有技术公开了一种光学系统像质补偿装置，其包括微动镜和多个微调机构，多个微调机构通过改变变形镜的局部面形，实现光学系统像质的补偿。微调机构包括柔性件、驱动器、运动件及传感器；运动件与柔性件连接，并可绕其转动；驱动器推动运动件旋转，使柔性件上下运动；传感器测量柔性件的位移量。现有技术提供的光学系统像质补偿装置，微调机构结构复杂，制造困难，成本较高，且调节麻烦，不利于像质补偿装置的通用化和批量化生产和使用。<...
【技术保护点】
1.一种像质补偿装置，其特征在于，包括：/n镜座(1)，所述镜座(1)包括环形的调节座(11)，所述调节座(11)的内壁用于连接变形镜(4)，所述调节座(11)的外壁沿周向间隔设置有多个调节凸台(111)；/n微调机构(2)，能带动所述调节凸台(111)沿所述调节座(11)的轴向移动；/n约束部(3)，设置于相邻两个所述调节凸台(111)之间，所述约束部(3)与所述调节座(11)外壁连接，用于限制所述调节座(11)的移动。/n
【技术特征摘要】
1.一种像质补偿装置，其特征在于，包括：
镜座(1)，所述镜座(1)包括环形的调节座(11)，所述调节座(11)的内壁用于连接变形镜(4)，所述调节座(11)的外壁沿周向间隔设置有多个调节凸台(111)；
微调机构(2)，能带动所述调节凸台(111)沿所述调节座(11)的轴向移动；
约束部(3)，设置于相邻两个所述调节凸台(111)之间，所述约束部(3)与所述调节座(11)外壁连接，用于限制所述调节座(11)的移动。
2.根据权利要求1所述的像质补偿装置，其特征在于，所述微调机构(2)包括：
第一调节组件(21)，其用于向所述调节凸台(111)施加沿所述轴向的第一方向上的作用力，以使所述调节凸台(111)沿所述第一方向发生位移；
第二调节组件(22)，其用于向所述调节凸台(111)施加与所述第一方向相反的第二方向上的作用力，以使所述调节凸台(111)沿所述第二方向发生位移。
3.根据权利要求2所述的像质补偿装置，其特征在于，所述第一调节组件(21)包括：
第一调节块(212)，设置在所述调节凸台(111)的下方，所述第一调节块(212)的上表面具有第一导向斜面，所述第一导向斜面沿所述镜座(1)的径向方向倾斜；
第二调节块(213)，设置在所述第一调节块(212)及所述调节凸台(111)之间，所述第二调节块(213)的上表面能与所述调节凸台(111)抵接，所述第二调节块(213)的下表面具有与所述第一导向斜面配合的第二导向斜面；
第一致动件(214)，所述第一致动件(214)带动所述第一调节块(212)沿所述径向方向运动。
4.根据权利要求3所述的像质补偿装置，其特征在于，所述第一调节块(212)的一端开设有卡接槽(2122)，所述第一致动件(214)的一端伸入所述卡接槽(2122)内，且所述第一致动件(214)的末端与所述卡接槽(2122)的槽底抵接，所述第一致动件(214)上开设有限位周槽，所述限位周槽与所述卡接槽(2122)的槽口卡接。
5.根据权利要求3所述的像质补偿装置，其特征在于，所述第一导向斜面的斜度为1：7～1：30。
6.根据权利要求3所述的像质补偿装置，其特征在于，所述第一调节组件(21)还包括：
第一支座(211)，所述第一支座(211)具有第一容置槽(2111)，所述第一调节块(212)及所述第二调节块(213)均位于所述第一容置槽(2111)内，所述第一支座(211)的一槽壁开设有导向孔，所述第一致动件(214)的一端伸入所述导向孔并与所述第一调节块(212)连接。
7.根据权利要求6所述的像质补偿装置，其特征在于，所述导向孔为螺纹孔，所述第一致动件214的外周面开设有与所述螺纹孔配合的外螺纹。
8.根据权利要求7所述的像质补偿装置，其特征在于，所述外螺纹的螺距为0.35mm-0.5mm。
9.根据权利要求6所述的像质补偿装置，其...
【专利技术属性】
技术研发人员：杨若霁，王彦飞，姜文庆，
申请(专利权)人：上海微电子装备集团股份有限公司，
类型：发明
国别省市：上海;31
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