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致动器装置制造方法及图纸
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下载致动器装置的技术资料
文档序号:24896203
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致动器装置包括:支承部;第1可动部;第2可动部;将第1可动部与第2可动部相互连结的第1连结部;将第2可动部与支承部相互连结的第2连结部;设置于第2可动部的螺旋状的线圈;产生作用于线圈的磁场的磁场产生部;设置于支承部的第1外部端子;和与线圈的...
该专利属于浜松光子学株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过浜松光子学株式会社授权不得商用。
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