光扫描装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种光扫描装置，目的在于抑制拾取工序中的破损。光扫描装置具备：镜子支撑部，其在表面具有镜子；致动器，其对所述镜子支撑部进行驱动；固定框，其设置在所述镜子支撑部及所述致动器的周围；以及一个以上的筋肋，其配置在所述镜子支撑部或所述致动器的背面侧，所述筋肋具有直线部以及宽度比所述直线部大的抵接部。所述抵接部的宽度为所述直线部的宽度的3倍以上的大小。

【技术实现步骤摘要】
光扫描装置
本专利技术涉及光扫描装置。
技术介绍
当前已知有一种光扫描装置，其利用具有压电元件等的致动器使镜子摆动，从而使入射光在镜子上发生偏向来进行扫描。为了抑制镜子的变形，在支撑镜子的镜子支撑部的背面侧设置有筋肋。这种光扫描装置采用MEMS(MicroElectroMechanicalSystem：微机电系统)的精密加工技术，例如在一个SOI(SiliconOnInsulator：绝缘体上硅)晶圆上同时形成多个。晶圆上所形成的多个光扫描装置经由划片工序而单片化，并通过拾取工序从划片胶带进行拾取(例如参照专利文献1)。在划片工序中，以将晶圆的背面侧贴附于划片胶带的状态，使用刀具将各光扫描装置分割成芯片状。在拾取工序中，隔着划片胶带以顶针来推顶各光扫描装置的背面侧，并以夹头吸附表面侧，由此将各光扫描装置从划片胶带剥离。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2017－90638号公报
技术实现思路
专利技术所要解决的课题光扫描装置为了使致动器等具备弹性而使形成致动器等的本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种光扫描装置，其特征在于，具备：/n镜子支撑部，其在表面具有镜子；/n致动器，其对所述镜子支撑部进行驱动；/n固定框，其设置在所述镜子支撑部及所述致动器的周围；以及/n一个以上的筋肋，其配置在所述镜子支撑部或所述致动器的背面侧，/n所述筋肋具有直线部以及宽度比所述直线部大的抵接部。/n

【技术特征摘要】
20181227 JP 2018-2445091.一种光扫描装置，其特征在于，具备：
镜子支撑部，其在表面具有镜子；
致动器，其对所述镜子支撑部进行驱动；
固定框，其设置在所述镜子支撑部及所述致动器的周围；以及
一个以上的筋肋，其配置在所述镜子支撑部或所述致动器的背面侧，
所述筋肋具有直线部以及宽度比所述直线部大的抵接部。


2.根据权利要求1所述的光扫描装置，其特征在于，
所述抵接部的宽度为所述直线部的宽度的3倍以上的大小。


3.根据权利要求1或2所述的光扫描装置，其特征在于，
所述致动器以通过所述镜子的中心的水平旋转轴及垂直旋转轴为轴而对所述镜子支撑部进行摆动驱动，
多个所述抵接部配置在至少相对于所述水平旋转轴及垂直旋转轴中的一方呈线对称的位置。


4.根据权利要求3所述的光扫描装置，其特征在于，
所述致动器包含相邻的一对水平梁，
所述筋肋具有：设置在各所述水平梁的背面的所述直线部；以及宽度比所述直线部大的端部，
设置在各所述水平梁的背面的所述筋肋的所述端部在一对所述水平梁的相邻部相邻地构成了所述抵接部。


5.根据权利要求4所述的光扫描装置，其特征在于，
设置在各所述水平梁的背面的所述抵接部位于所述水平旋转轴上。


6.根据...

【专利技术属性】
技术研发人员：高桥彰，
申请(专利权)人：三美电机株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP