一种压电式微镜的结构及制备方法技术

一种压电式微镜的结构，包括衬底晶圆，反射镜金属表面，悬臂梁结构，金属连接线，压电薄膜，盖板晶圆，键合界面，吸气剂盒；衬底晶圆作为微镜的支撑与结构层，金属连接线为薄膜状连接线，压电薄膜在悬臂梁结构上；一种压电式微镜的结构的制备方法，衬底晶圆作为微镜的支撑与结构层，在晶圆键合后形成空腔；利用物理气相沉积计划，光刻技术、刻蚀或剥离技术、剖光技术制作微镜的金属反射镜面；压电薄膜利用物理气相沉积或化学气相沉积技术、光刻技术、刻蚀技术在悬臂梁上制成。本发明专利技术的优点：加工简单，采用悬臂梁结构，悬臂梁结构上沉积压电材料和利用金属表面作为反射镜，可封装一个或多组排列的镜面，具有光学开关作用及较高的偏转角度，位移控制精确。

【技术实现步骤摘要】
一种压电式微镜的结构及制备方法
本专利技术涉及微镜领域，特别涉及了一种压电式微镜的结构及制备方法。
技术介绍
压电式微镜利用了电场变化引起压电材料膨胀的原理，使微镜在一定范围内移动，目前的压电式微镜具有移动范围小、电压要求大等缺陷，同时装置密封复杂，偏转角度精度较难控制。
技术实现思路
本专利技术的目的是为了克服上述问题，特提供了一种压电式微镜的结构及制备方法。本专利技术提供了一种压电式微镜的结构，其特征在于：所述的压电式微镜的结构，包括衬底晶圆1，空腔2，反射镜金属表面3，悬臂梁结构4，金属连接线5，压电薄膜6，盖板晶圆8，键合界面9，吸气剂盒7；其中：衬底晶圆1作为微镜的支撑与结构层，空腔2在沉积晶圆1上，为凹槽结构，在晶圆键合后形成空腔2；反射镜金属表面3是布置在微镜表面发金属反射镜面，通过一条或多条悬臂梁结构4连接微镜与衬底晶圆1；金属连接线5为薄膜状连接线，压电薄膜6在悬臂梁结构4上，压电薄膜6与金属连接5相连，在通电的情况下，压电薄膜会产生力，造成悬臂梁的弯曲，微镜反射镜金属表面3倾斜或偏转，实现本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种压电式微镜的结构，其特征在于：所述的压电式微镜的结构，包括衬底晶圆(1)，空腔(2)，反射镜金属表面(3)，悬臂梁结构(4)，金属连接线(5)，压电薄膜(6)，盖板晶圆(8)，键合界面(9)，吸气剂盒(7)；/n其中：衬底晶圆(1)作为微镜的支撑与结构层，空腔(2)在沉积晶圆(1)上，为凹槽结构，在晶圆键合后形成空腔(2)；反射镜金属表面(3)是布置在微镜表面发金属反射镜面，通过一条或多条悬臂梁结构(4)连接微镜与衬底晶圆(1)；金属连接线(5)为薄膜状连接线，压电薄膜(6)在悬臂梁结构(4)上，压电薄膜(6)与金属连接(5)相连，在通电的情况下，压电薄膜会产生力，造成悬臂梁的弯曲，微...

【技术特征摘要】
1.一种压电式微镜的结构，其特征在于：所述的压电式微镜的结构，包括衬底晶圆(1)，空腔(2)，反射镜金属表面(3)，悬臂梁结构(4)，金属连接线(5)，压电薄膜(6)，盖板晶圆(8)，键合界面(9)，吸气剂盒(7)；
其中：衬底晶圆(1)作为微镜的支撑与结构层，空腔(2)在沉积晶圆(1)上，为凹槽结构，在晶圆键合后形成空腔(2)；反射镜金属表面(3)是布置在微镜表面发金属反射镜面，通过一条或多条悬臂梁结构(4)连接微镜与衬底晶圆(1)；金属连接线(5)为薄膜状连接线，压电薄膜(6)在悬臂梁结构(4)上，压电薄膜(6)与金属连接(5)相连，在通电的情况下，压电薄膜会产生力，造成悬臂梁的弯曲，微镜反射镜金属表面(3)倾斜或偏转，实现偏转、反射光信号；盖板晶圆(8)由玻璃晶圆构成，玻璃晶圆上带有空腔；键合界面(9)是盖板晶圆(8)与衬底晶圆(1)键合后的键合界面，盖板晶圆(8)与衬底晶圆(1)通过共晶键合，阳极键合、玻璃浆料键合、焊料键合技术键合成一个整体，形成空腔(2)，微镜在空腔(2)中，受到压电驱动而运动，吸气剂盒(7)设置在空腔(2)内。


2.按照权利要求1所述的压电式微镜的结构，其特征在于：所述的悬臂梁结构(4)为1～10条。


3.按照权利要求1所述的压电式微镜的结构，其特征在于：所述的盖板晶圆(8)与衬底晶圆(1)整体为圆柱状或长方体结构件。


4.按照权利要求1所述的压电式微镜的结构，其特征在于：所述的反射镜金属表面(3)为圆形件。


5.一种如权利要求1所述的压电式微镜的结构的制备方法，其特征在于：所述的压...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄向向，杨敏，道格拉斯·雷·斯巴克斯，关健，孙斯佳，
申请(专利权)人：罕王微电子辽宁有限公司，
类型：发明
国别省市：辽宁;21