基板贴合装置以及基板贴合方法制造方法及图纸

提供一种基板贴合装置以及基板贴合方法，能够以简易且廉价的结构来可靠地检测基板的掉落。在真空腔(1)内具备：支撑部(3)，支撑一方的基板(P2)；以及保持部(2)，在与基板(P2)相对置的位置保持另一方的基板(P1)，该基板贴合装置还具备：压力检测部(4)，检测真空腔(1)内的压力；以及判定部(150)，根据在真空腔(1)内的减压时通过压力检测部(4)检测的压力的变化来判定基板(P1)从保持部(2)的脱离导致的异常的有无。

【技术实现步骤摘要】
基板贴合装置以及基板贴合方法
本专利技术涉及一种例如在真空室内经由粘接剂来进行基板的贴合的基板贴合装置以及基板贴合方法。
技术介绍
构成光盘等记录介质的基板、构成液晶显示器的液晶模块、触摸面板、背光、保护面板等的基板是相互地以粘接剂来贴合的。另外，液晶模块、有机EL模块等也是例如通过贴合玻璃基板来制造的。在用于进行这种贴合的贴合装置中保持基板的工序不可或缺。一般作为保持基板的方法，有真空吸附的方法、机械吸盘的方法、静电吸盘的方法等。并且，在如上述那样的基板的制造工艺中，为了气泡的排除等有时需要在真空中贴合基板。因此，保持装置在真空室内将从上方保持基板。例如，在专利文献1中记载了如下技术：考虑在真空中真空吸附变得失效，保持装置在大气压下进行基于真空吸附的吸附、在减压下切换为基于静电吸附的吸附。专利文献1：日本特开2002-229044号公报
技术实现思路
(专利技术要解决的问题)在真空室内有时在进行正常的贴合之前基板从保持装置掉落。在这种情况下，需要快速地检测掉落来进行使流水线等停止的操作。这样，为了判断真空室内的掉落的有无，需要在真空室预先设置窗口，以便能够从外面进行确认。或者需要以触摸本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基板贴合装置，在真空室内将至少一对基板经由附着在双方或者一方的基板上的粘接剂来进行贴合，该基板贴合装置的特征在于，在所述真空室内具备：支撑部，支撑一方的基板；保持部，在与被所述支撑部支撑的基板相对置的位置保持另一方的基板；以及驱动部，通过驱动所述支撑部以及所述保持部中的至少一方来贴合一对基板，该基板贴合装置具备：压力检测部，检测所述真空室内的压力；以及判定部，根据在所述真空室内的减压时通过所述压力检测部检测的压力的变化来判定所述另一方的基板从所述保持部脱离导致的异常的有无。

【技术特征摘要】
1.一种基板贴合装置，在真空室内将至少一对基板经由附着在双方或者一方的基板上的粘接剂来进行贴合，该基板贴合装置的特征在于，在所述真空室内具备：支撑部，支撑一方的基板；保持部，在与被所述支撑部支撑的基板相对置的位置保持另一方的基板；以及驱动部，通过驱动所述支撑部以及所述保持部中的至少一方来贴合一对基板，该基板贴合装置具备：压力检测部，检测所述真空室内的压力；判定部，根据在所述真空室内的减压时通过所述压力检测部检测的压力的变化来判定所述另一方的基板从所述保持部脱离导致的异常的有无；基准信息存储部，存储基准信息，该基准信息包含在正常时或者异常时基于按照时间顺序而继续表示的压力的集合的数据，成为所述压力的变化是正常还是异常的判定的基准；以及比较部，比较通过所述压力检测部检测的压力的变化与所述基准信息，所述判定部设定为根据所述比较部的比较结果来判定异常的有无。2.根据权利要求1所述的基板贴合装置，其特征在于，所述基准信息包含规定的压力下降速度。3.根据权利要求1所述的基板贴合装置，其特征在于，所述基准信息包含规定的压力变化的波形。4.根据权利要求1所述的基板贴合装置，其特征在于，所述基准信息包含规定的压力变化曲线及其斜率。5.根据权利要求1所述的基板贴合装置，其特征在于，所述基准信息包含规定的最终的到达...

【专利技术属性】
技术研发人员：横田典之，
申请(专利权)人：芝浦机械电子装置股份有限公司，
类型：发明
国别省市：