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提供一种基板贴合装置以及基板贴合方法，能够以简易且廉价的结构来可靠地检测基板的掉落。在真空腔(1)内具备：支撑部(3)，支撑一方的基板(P2)；以及保持部(2)，在与基板(P2)相对置的位置保持另一方的基板(P1)，该基板贴合装置还具备：压...
该专利属于芝浦机械电子装置股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过芝浦机械电子装置股份有限公司授权不得商用。

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