【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种CIS晶圆成测机，包括底座和光源装置，所述光源装置安装在所述底座上，所述光源装置包括镜头安装板，在所述镜头安装板上设有多个镜头安装孔，在所述每个镜头安装孔内设置一个镜头，其特征在于：在所述镜头安装板的下方设置光源安装板，在所述光源安装板内设有多个光源板，所述多个光源板与所述多个镜头安装孔一一对应。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：朱玉萍，岑刚，
申请(专利权)人：嘉兴景焱智能装备技术有限公司，
类型：发明
国别省市：
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