基板搬送夹爪装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及芯片检测处理装备技术领域，公开了一种基板搬送夹爪装置，包括直线驱动单元和夹爪单元，所述直线驱动单元驱动夹爪单元进行直线运动，所述夹爪单元包括设置于直线驱动单元上的滑块上的固定块，所述固定块的前端连接上下两个气缸座和一个转轴，下气缸座上设置第一气缸，上气缸座上设置第二气缸，所述转轴设置在两个气缸座的前方，所述转轴上设置上夹板和下夹板，所述上夹板的前端为上夹爪，所述下夹板的前端为下夹爪，所述上夹板和下夹板的后端分别由第一气缸和第二气缸翻动时，所述上夹爪和下夹爪向中间合拢，对基板进行夹持。本实用新型专利技术实现对基板的双向夹持，大大减少了设备的体积，并可实现夹爪的精度调节。节。节。

【技术实现步骤摘要】
基板搬送夹爪装置


[0001]本技术涉及芯片检测处理装备
，尤其涉及一种基板搬送夹爪装置。

技术介绍

[0002]在半导体的后端封测设备当中，需要将基板进行输送。目前的基板输送机构大多数使用电磁铁类型的夹爪。电磁铁目前市面上单作用的，夹爪的加持只能是单加持，搬运的效果不佳，而且调试难度增加，双作用的电磁铁需要定制，成本较贵。
[0003]中国专利半导体封装机的气缸夹爪机构（专利号：CN201720343344），公开的一种夹爪机构，通过气缸驱动上夹爪动作，与固定的下夹爪配合完成夹持动作。这种夹爪也是单夹持，使基板被夹持时产生偏移，而且基板两侧的夹持力不同，夹持效果不理想。

技术实现思路

[0004]本技术的目的是为了解决上述问题，提供一种基板搬送夹爪装置，实现对基板的双向夹持，大大减少了设备的体积，并可实现夹爪的精度调节。
[0005]本技术采取的技术方案是：
[0006]一种基板搬送夹爪装置，其特征是，包括直线驱动单元和夹爪单元，所述直线驱动单元驱动夹爪单元进行直线运动，所述夹爪单元包括设置于直线驱动单元上的滑块上的固定块，所述固定块的前端连接上下两个气缸座和一个转轴，下气缸座上设置第一气缸，上气缸座上设置第二气缸，所述转轴设置在两个气缸座的前方，所述转轴上设置上夹板和下夹板，所述上夹板的后端与第一气缸配合，由第一气缸活塞推动向上翻动，所述下夹板的后端与第二气缸配合，由第二气缸活塞推动向下翻动，所述上夹板的前端为上夹爪，所述下夹板的前端为下夹爪，所述上夹板和下夹板的后端分别由第一气缸和第二气缸翻动时，所述上夹爪和下夹爪向中间合拢，对基板进行夹持。
[0007]进一步，所述两个气缸座形成在一个异形座上，所述异形座包括后端的连接部和前端的转轴孔，所述连接部与固定块连接固定，所述转轴设置在转轴孔内，所述异形座的左右两侧分别形成所述上下两个气缸座。
[0008]进一步，所述上夹板和下夹板的后端设置拉簧。
[0009]进一步，所述拉簧为两根，分别设置在上夹板和下夹板中间位置的两侧。
[0010]进一步，所述上下夹板上与气缸活塞配合位置，设置连接孔，所述气缸活塞通过顶丝设置在连接孔内，通过所述顶丝高度调节，调整气缸活塞的最大顶升高度。
[0011]进一步，所述上夹爪可拆卸设置在上夹板的前端，所述下夹爪可拆卸设置在下夹板的前端。
[0012]进一步，所述上夹板和下夹板的侧边设置传感器支架，所述传感器支架上设置光纤传感器，所述光纤传感器位于上夹爪和下夹爪的夹持位置的同一直线上。
[0013]进一步，所述传感器支架设置于异形座的侧边。
[0014]进一步，所述直线驱动单元包括安装在电机安装板上的直线电机定子，所述滑块
为安装直线电机动子的动子连接板，所述直线电机定子与直线电机定子实现滑块的直线驱动。
[0015]进一步，所述滑块为多个，每个滑块连接一个所述夹爪单元，多个夹爪单元对基板进行搬送。
[0016]本技术的有益效果是：
[0017]（1）双气缸双作用，对基板进行双向加持力；
[0018]（2）减少基板及夹爪的磨损；
[0019]（3）结构更小，占用空间少；
[0020]（4）可以精确调节夹爪的夹持力夹持精度。
附图说明
[0021]附图1是本技术的立体结构示意图；
[0022]附图2是夹爪单元立体结构示意图；
[0023]附图3是夹爪单元的上夹板透明化后的立体结构示意图；
[0024]附图4是夹爪单元的下夹板透明化后的立体结构示意图；
[0025]附图5是异形座的立体结构示意图；
[0026]附图6是异形座的另一视角的立体结构示意图；
[0027]附图7是转轴位置剖切示意图；
[0028]附图8是气缸活塞杆与夹板连接位置剖切示意图；
[0029]附图9是异形座后端上下夹板连接拉簧的示意图。
[0030]附图中的标号分别为：
[0031]1.直线驱动单元；
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2.夹爪单元；
[0032]3.直线电机；
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4.滑块；
[0033]5.固定块；
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6.下气缸座；
[0034]7.上气缸座；
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8.转轴；
[0035]9.第一气缸；
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10.第二气缸；
[0036]11.上夹板；
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12.下夹板；
[0037]13.上夹爪；
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14.下夹爪；
[0038]15.基板；
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16.异形座；
[0039]17.连接部；
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18.转轴孔；
[0040]19.传感器支架；
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20.光纤传感器；
[0041]21.顶丝；
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22.拉簧。
具体实施方式
[0042]下面结合附图对本技术基板搬送夹爪装置的具体实施方式作详细说明。
[0043]参见附图1，本技术的基板搬送夹爪装置包括直线驱动单元1和夹爪单元2，直线驱动单元1驱动夹爪单元2进行直线运动，直线驱动单元1安装于流道安装板上，直线驱动单元1包括安装在电机安装板上的直线电机3，流道安装板上的设置轨道，轨道上设置滑块4，滑块4与直线电机3的动子连接，为安装直线电机3的动子连接板，直线电机3的定子与直
线电机3的动子实现滑块4的直线驱动。
[0044]参见附图2、3、4,夹爪单元2包括设置于直线驱动单元1上的滑块4上的固定块5，固定块5的前端连接上下两个气缸座和一个转轴8，下气缸座6上设置第一气缸9，上气缸座7上设置第二气缸10，转轴8设置在两个气缸座的前方，转轴8上设置上夹板11和下夹板12，上夹板11的后端与第一气缸9配合，由第一气缸9的活塞推动向上翻动，下夹板12的后端与第二气缸10配合，由第二气缸10的活塞推动向下翻动，上夹板11的前端为上夹爪13，下夹板12的前端为下夹爪14，上夹板11和下夹板12的后端分别由第一气缸9和第二气缸10翻动时，上夹爪13和下夹爪14向中间合拢，对基板15进行夹持。
[0045]上夹爪13可拆卸设置在上夹板11的前端，下夹爪14可拆卸设置在下夹板12的前端。可更换不同尺寸的上夹爪13和下夹爪14来配合不同的基板15的抓取。
[0046]参见附图5、6,两个气缸座形成在一个异形座16上，异形座16包括后端的连接部17和前端的转轴孔18，连接部17与固定块5连接固定，转轴8设置在转轴孔18内，异形座16的左右两本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种基板搬送夹爪装置，其特征在于：包括直线驱动单元和夹爪单元，所述直线驱动单元驱动夹爪单元进行直线运动，所述夹爪单元包括设置于直线驱动单元上的滑块上的固定块，所述固定块的前端连接上下两个气缸座和一个转轴，下气缸座上设置第一气缸，上气缸座上设置第二气缸，所述转轴设置在两个气缸座的前方，所述转轴上设置上夹板和下夹板，所述上夹板的后端与第一气缸配合，由第一气缸活塞推动向上翻动，所述下夹板的后端与第二气缸配合，由第二气缸活塞推动向下翻动，所述上夹板的前端为上夹爪，所述下夹板的前端为下夹爪，所述上夹板和下夹板的后端分别由第一气缸和第二气缸翻动时，所述上夹爪和下夹爪向中间合拢，对基板进行夹持。2.根据权利要求1所述的基板搬送夹爪装置，其特征在于：所述两个气缸座形成在一个异形座上，所述异形座包括后端的连接部和前端的转轴孔，所述连接部与固定块连接固定，所述转轴设置在转轴孔内，所述异形座的左右两侧分别形成所述上下两个气缸座。3.根据权利要求2所述的基板搬送夹爪装置，其特征在于：所述上夹板和下夹板的后端设置拉簧。4.根据权利要求3所述的基板搬送夹爪装置，其特征在于：所述拉簧为两根，分...

【专利技术属性】
技术研发人员：佘奕，
申请(专利权)人：嘉兴景焱智能装备技术有限公司，
类型：新型
国别省市：