下载基板搬送夹爪装置的技术资料

文档序号:36621303

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本实用新型涉及芯片检测处理装备技术领域,公开了一种基板搬送夹爪装置,包括直线驱动单元和夹爪单元,所述直线驱动单元驱动夹爪单元进行直线运动,所述夹爪单元包括设置于直线驱动单元上的滑块上的固定块,所述固定块的前端连接上下两个气缸座和一个转轴,下...
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