外包晶圆测试品质检验系统及其检验方法技术方案

本发明专利技术的外包晶圆测试品质检验系统，包括外包制造系统、品质标准系统、数据结果系统、外包产品处置系统以及接口系统。本发明专利技术的外包晶圆测试品质检验方法中，外包商测试完成后，数据结果系统自动收集和计算每一批次的测试结果，并将测试结果与品质标准进行比对得出比对结果，将不合格的批次晶圆传送到产品处置系统中进行复审，从而发包商仅需对测试过程中发现问题的批次作审查和处置，可大幅缩减发包商和承包商的沟通、系统操作和等待时间，提高晶圆测试的效率和完工品质检验效率。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及工业自动化
，尤其涉及一种外包晶圆测试品质检验系统及其检验方法。
技术介绍
在现今的晶圆制造中，需要对每一个制造环节做品质检测，特别是测试环节的良率要求以满足客户对产品品质的要求。一般的，发包商(制造商)将生产的晶圆发给承包商进行外包测试。外包测试过程中，除了承包商需对每一个测试步骤进行品质检验外，发包商对完工产品进行再一次检验是交付给客户之前对产品品质一项重要把关。目前，大部分的发包商完全信任承包商的检验结果而不对检验结果进行二次检验，但是发包商会承担产品不符合客户品质要求的风险，或者采用发包商的制造执行系统对外包产品按测试流程中的每一个测试步骤进行逐步检验，确保每一步检验过程中对测试品质进行检验直至完工，但这样的检验方法不仅花费发包商较多的人力，而且品质检验的效率很低。
技术实现思路
本专利技术的目的在于，提供一种外包晶圆测试品质检验系统及其检验方法，对外包测试的测试结果进行自动比对，减少检验过程中的人力，提高检验效率。为解决上述技术问题，本专利技术提供一种外包晶圆测试品质检验系统，用于发包商对承包商系统的测试数据进行检验，包括：外包制造系统，用于发包商新建外包工作订单并存储待检测晶圆的批次的数据；品质标准系统，用于存储晶圆的测试流程和品质标准；数据结果系统，用于接收和存储每一批次晶圆的测试数据，并将测试数据进行加工汇总，与品质标准进行比对得出测试结果；外包产品处置系统，用于存储不符合品质标准的批次的晶圆，并由发包商对所述外包产品处置系统中的晶圆批次进行复审；接口系统，用于所述外包制造系统、所述品质标准系统、所述数据结果系统以及所述外包产品处置系统与所述承包商系统之间的数据传递。可选的，承包商系统和发包商之间通过所述接口系统传送的数据包括工作订单、测试流程、品质标准、测试数据以及不合格晶圆批次的处置结果。可选的，发包商根据客户和内部管控的要求制定晶圆的测试流程和品质标准，测试流程包括若干个测试步骤，每个测试步骤对应一个品质标准。可选的，每个批次包括若干片晶圆，每片晶圆中包括若干个晶粒，每片晶圆中合格的晶粒的比例为第一良率，每个批次中晶圆的第一良率的平均值为第二良率。可选的，品质标准为良率标准，良率标准包括第一良率标准和第二良率标准，所述第一良率标准为所述第一良率的最低值，所述第二良率标准为所示第二良率的最低值。可选的，所述第一良率标准为85％，所述第二良率标准为90％。相应的，本专利技术还提供一种外包晶圆测试品质检验方法，采用如权利要求1-6中任意一项所述的外包晶圆测试品质检验方法，包括如下步骤：发包商制定晶圆的测试流程和品质标准存储于所述品质标准系统中，并将测试流程和品质标准通过所述接口系统提供给承包商；发包商在所述外包制造系统中新建外包工作订单，发包商将工作订单和晶圆提供给承包商，承包商通过所述接口系统接入外包工作订单，依据测试流程对每一批次的晶圆进行测试，并将测试数据通过所述接口系统传送至数据结果系统；承包商测试完成之后，所述数据结果系统自动收集和计算每一批次晶圆的测试结果，并连接到所述品质标准系统将测试结果与品质标准进行比对得出比对结果；所述外包制造系统自动连接到数据结果系统查看比对结果，如符合品质标准，则通过所述接口系统通知承包商将该批次晶圆发货，如不符合品质标准，则将该批次晶圆传输到所述外包产品处置系统中进行复审；发包商对所述产品处置系统中的批次的晶圆的测试数据进行分析，并决定该批次拆批、报废或继续测试。可选的，承包商在测试过程中或测试完成后，发现不符合品质标准的晶圆批次时，将该批次晶圆传送到所述外包产品处置保留系统进行复审。可选的，若对所述产品处置系统中的批次的晶圆拆批，将不符合品质标准的晶圆报废，符合品质标准的晶圆新建立在一个子批次中，所述数据结果系统将子批次的测试数据进行重新收集和计算。可选的，承包商测试完成后，数据结果系统收到承包商发送的该批次的合计晶粒数量文件。可选的，发包商在外包制造系统中执行拆批、报废或继续测试的动作时，通过所述接口系统通知承包商在承包商系统中进行相应的动作。本专利技术的外包晶圆测试品质检验系统及其检验方法中，数据结果系统自动收集和计算每一批次的测试结果，并将测试结果与品质标准进行比对得出比对结果，将不合格的批次传送到产品处置系统进行复审，从而发包商仅需对测试过程中发现问题的批次作审查和处置，可大幅缩减发包商和承包商的沟通、系统操作和等待时间，提高晶圆测试的效率和完工品质检验效率。附图说明图1为本专利技术一实施例中的外包晶圆测试品质检验系统的结构的示意图；图2为本专利技术一实施例中的外包晶圆测试品质检验的方法流程图。具体实施方式下面将结合示意图对本专利技术的外包晶圆测试品质检验系统及其检验方法进行更详细的描述，其中表示了本专利技术的优选实施例，应该理解本领域技术人员可以修改在此描述的本专利技术，而仍然实现本专利技术的有利效果。因此，下列描述应当被理解为对于本领域技术人员的广泛知道，而并不作为对本专利技术的限制。本专利技术的核心思想在于，承包商根据外包商提供的测试流程以及品质标准对每一批次的产品进行测试，测试完成后，数据结果系统自动获取品质标准系统中的品质标准，对外包测试的测试结果与品质标准进行自动比对得到比对结果，制造系统连接到数据结果系统中查看比对结果并做出判断，将不合格的晶圆批次传输到产品保留系统中进行复审。发包商依据该批次的晶圆的测试数据判定进行继续测试、报废或者拆批，本专利技术实现测试结果的自动检验，从而提高产品测试的效率。下文结合图1-2对本专利技术的外包产品测试系统及其测试方法进行具体说明。参考图1所示，本专利技术的外包晶圆测试品质检验系统包括：外包制造系统1，用于发包商新建外包工作订单并存储待检测晶圆的批次的数据；品质标准系统3，用于存储晶圆的测试流程和品质标准，发包商根据客户的要求以及内部的管控要求制定的测试流程和品质标准，并将测试流程和品质标准存储在所述品质标准系统3中；数据结果系统4，用于接收承包商发送的晶圆的测试数据，并存储每一批次的晶圆的测试数据，承包商测试完成之后，所述数据结果系统4将测试数据进行加工汇总，与品质标准进行比对得出测试结果；外包产品处置系统5，用于存储不符合品质标准的批次的晶圆，并由发包商对所述外包产品处置系统中的晶圆批次进行复审；接口系统2，承包商相应的建立的自己的承包商系统6，接口系统2用于外包制造系统1、品质标准系统3、数据结果系统4以及外包产品处置系统5与承包商系统6之间的数据传递，承包商和发包商之间传送的数据包括：工作订单、测试流程、品质标准、测试数据以及不合格晶圆批次的处置结果等。参考图2所示，本专利技术还提供一种外包晶圆测试品质检验方法，采用图1中所示的外包晶圆测试品质检验系统，测试方法包括如下步骤：执行步骤S1，发包商根据客户以及内部管控的要求制定晶圆的测试流程和品质标准，将测试流程和品质标志存储于品质标准系统3中，并通过接口系统2提供给承包商，承包商系统6通过接口系统2接收测试流程和品质标准。测试流程包括若干个测试步骤，一般的，需要采用不同的测试方法对晶圆进行测试，要求晶圆能够通过不同的方法的测试，以检测晶圆是否符合客户的要求。例如，本实施例中，测试流程包括5-7个测试步骤，每一片晶圆逐本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种外包晶圆测试品质检验系统，用于发包商对承包商系统的测试数据进行检验，其特征在于，包括：外包制造系统，用于发包商新建外包工作订单并存储待检测晶圆的批次的数据；品质标准系统，用于存储晶圆的测试流程和品质标准；数据结果系统，用于接收和存储每一批次晶圆的测试数据，并将测试数据进行加工汇总，与品质标准进行比对得出测试结果；外包产品处置系统，用于存储不符合品质标准的批次的晶圆，并由发包商对所述外包产品处置系统中的晶圆批次进行复审；接口系统，用于所述外包制造系统、所述品质标准系统、所述数据结果系统以及所述外包产品处置系统与所述承包商系统之间的数据传递。

【技术特征摘要】
1.一种外包晶圆测试品质检验系统，用于发包商对承包商系统的测试数据进行检验，其特征在于，包括：外包制造系统，用于发包商新建外包工作订单并存储待检测晶圆的批次的数据；品质标准系统，用于存储晶圆的测试流程和品质标准；数据结果系统，用于接收和存储每一批次晶圆的测试数据，并将测试数据进行加工汇总，与品质标准进行比对得出测试结果；外包产品处置系统，用于存储不符合品质标准的批次的晶圆，并由发包商对所述外包产品处置系统中的晶圆批次进行复审；接口系统，用于所述外包制造系统、所述品质标准系统、所述数据结果系统以及所述外包产品处置系统与所述承包商系统之间的数据传递。2.如权利要求1所述的外包晶圆测试品质检验系统，其特征在于，承包商系统和发包商之间通过所述接口系统传送的数据包括工作订单、测试流程、品质标准、测试数据以及不合格晶圆批次的处置结果。3.如权利要求1所述的外包晶圆测试品质检验系统，其特征在于，发包商根据客户和内部管控的要求制定晶圆的测试流程和品质标准，测试流程包括若干个测试步骤，每个测试步骤对应一个品质标准。4.如权利要求2所述的外包晶圆测试品质检验系统，其特征在于，每个批次包括若干片晶圆，每片晶圆中包括若干个晶粒，每片晶圆中合格的晶粒的比例为第一良率，每个批次中晶圆的第一良率的平均值为第二良率。5.如权利要求3所述的外包晶圆测试品质检验系统，其特征在于，品质标准为良率标准，良率标准包括第一良率标准和第二良率标准，所述第一良率标准为所述第一良率的最低值，所述第二良率标准为所示第二良率的最低值。6.如权利要求4所述的外包晶圆测试品质检验系统，其特征在于，所述第一良率标准为85％，所述第二良率标准为90％。7.一种外包晶圆测试品质检验方法，其特征在于，采用如权利要求1-6中任意一项所...

【专利技术属性】
技术研发人员：金春华，莫慧，
申请(专利权)人：中芯国际集成电路制造上海有限公司，
类型：发明
国别省市：上海;31