【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种可调短距离快速升降温蒸镀炉，包括加热台，其特征在于：所述加热台分为上加热台及下加热台，所述上加热台及下加热台上下相对置于槽型支架内，所述上加热台具有沿槽型支架上下移动的自由度，所述下加热台具有沿槽型支架底部旋转的自由度；所述上加热台底部设有可承载蒸镀基片的载样台，下加热台顶部设有与载样台相对的蒸镀源，所述上加热台及下加热台中插设有短波红外灯管，所述上加热台及下加热台内部开设相通的进出气口、冷却水进出口。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：邾根祥，江晓平，王伟，
申请(专利权)人：合肥科晶材料技术有限公司，
类型：发明
国别省市：
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