光压印用树脂组合物、图案形成方法及蚀刻掩模技术

技术编号：9063956 阅读：148 留言：0更新日期：2013-08-22 03:10

本发明专利技术提供一种固化物的耐蚀刻性、耐热性优异的光压印用树脂组合物及使用该树脂组合物的图案形成方法。该光压印用树脂组合物包含光固化性单体(A)、光固化性单体(B)和光聚合引发剂(C)，所述光固化性单体(A)含有至少一种下式(1)表示的咔唑化合物，所述光固化性单体(B)含有下式(2)、式(3)和式(4)表示的化合物中的至少一种，且光固化性单体(A)和光固化性单体(B)的重量比(光固化性单体(A)的重量/光固化性单体(B)的重量)为30/70～87/13。(化1)式(1)：R1表示-CH=CH2等，R2、R3表示氢等。(化2)式(2)：R4、R5表示-O-CH=CH2等，R6、R7表示氢等。(化3)式(3)：X是-O-CH=CH2等，A1～A4是氢原子等。m、n、o表示0或1。(化4)式(4)：R8、R9表示-O-CH=CH2等，p表示0或1以上的整数。