利用压印法的聚酰亚胺的精细图案形成方法技术

提供与光刻法及激光加工等以往的聚酰亚胺加工技术相比，加工形状及其尺寸精度优异、且简便的聚酰亚胺的图案形成方法。在聚酰亚胺的精细图案形成中，作为聚酰亚胺，使用具有感光性的、能够在玻璃转变温度以下成形的溶剂可溶性的聚酰亚胺树脂组合物，并利用热压印法而图案化，并在热固化的方法中，在成形工序后从模具脱模之后，照射紫外线。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及利用压印法的聚酰亚胺的精细图案形成方法
技术介绍
以往，作为聚酰亚胺的精细图案形成方法，采用感光性聚酰亚胺的聚酰胺酸前体的光刻法主要被使用。该方法是在基板上涂敷有感光性聚酰亚胺前体的表面上，通过光掩模进行图案曝光，根据需要进行加热处理(PEB：曝光后烘烤)后，使用显像液除去未曝光部或曝光部，并且通过该显影而得到的聚酰亚胺前体的图案，之后，通过加热处理，转换为聚酰亚胺的图案(参照专利文献1)。然而，该方法存在由于氨酸聚酰亚胺前体的热酰亚胺化反应而导致图案构造体收缩30％～50％的问题，在具有尖锐的线边缘、矩形截面的精细构造、亚微米图案的形成上也存在问题。与此相对，在专利文献2中，介绍了通过酰亚胺化反应后的墨状的变性聚酰亚胺制造方法和光刻法的图案化方法，该图案化方法具有：(1)将包含变性聚酰亚胺、感光剂、热固化剂及溶剂的感光性聚酰亚胺组合物涂敷在基体上而成膜的工序；(2)加热得到的膜而除去所述溶剂的工序；(3)将除去溶剂后的所述组合物通过光掩膜进本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种聚酰亚胺的精细图案形成方法，在利用热压印法的聚酰亚胺的精细图案形成方法中，其特征在于，使用具有感光性的、能够在玻璃转变温度以下成形的溶剂可溶性聚酰亚胺的树脂组合物，并在使所述溶剂可溶性聚酰亚胺的树脂组合物从模具脱模后、且热固化之前，照射紫外线。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2013.10.18 JP 2013-2176451.一种聚酰亚胺的精细图案形成方法，在利用热压印法的聚酰亚胺的
精细图案形成方法中，其特征在于，
使用具有感光性的、能够在玻璃转变温度以下成形的溶剂可溶
性聚酰亚胺的树脂组合物，并在使所述溶剂可溶性聚酰亚胺的树脂
组合物从模具脱模后、且热固化之前，照射紫外线。
2.根据权利要求1所述的聚酰亚胺的精细图案形成方法，其特征在于，
所述热固化是通过在从室温升高到热处理温度的中途将所述溶

【专利技术属性】
技术研发人员：尹成圆，朴相天，广岛洋，高木秀树，铃木健太，
申请(专利权)人：独立行政法人产业技术综合研究所，
类型：发明
国别省市：日本;JP