独立行政法人产业技术综合研究所专利技术

独立行政法人产业技术综合研究所共有307项专利

  • 本发明实现兼具空穴选择性和钝化特性的空穴选择性膜。半导体装置的制造方法具备通过热原子层沉积法在结晶硅层上形成氧化钛膜的工序和对氧化钛膜实施氢等离子体处理的工序。工序和对氧化钛膜实施氢等离子体处理的工序。工序和对氧化钛膜实施氢等离子体处理...
  • 提供一种碳纳米管分散液,其用于制作能够以低添加量的碳纳米管发挥高导电性的碳纳米管复合材料。本发明的碳纳米管分散液具备:碳纳米管组,具备平均直径1nm以上且30nm以下的碳纳米管不均匀地分散在基质中并在所述基质中三维地遍布的网眼结构;以及...
  • 提供一种碳纳米管复合材料,能够以低添加量的碳纳米管发挥高导电性。本发明的碳纳米管复合材料是将碳纳米管分散到基质中而成的碳纳米管复合材料,其特征在于,具备由多个碳纳米管构成的碳纳米管组和母材区域,碳纳米管的混合量为0.0001%重量以上1...
  • 金属材料的处理装置
    本发明涉及金属材料的处理装置,其具有:内部收纳样品的密闭容器,从由该密闭容器排出的气体抽出氧分子的氧泵,将该气体返回该密闭容器中的循环装置,以及处于该密闭容器内、将从该循环装置返回的该气体进行等离子体化,照射该样品的等离子体化装置。
  • 碳纳米管复合材料以及导热体
    本发明的目的在于提供一种均匀性优异、具有高导热性的碳纳米管复合材料。本发明的碳纳米管复合材料的由多个所述碳纳米管构成的碳纳米管组存在于相邻的所述碳纤维之间,所述碳纤维的平均直径为1μm以上50μm以下,所述碳纳米管的平均直径为0.7nm...
  • 标记图像处理系统
    通过比较图像上的平面标识(2)的配置和预先设定的平面标识(2)的配置,从而由第一推定单元推定相对于标记的摄像机的位置和姿势。在标记上配置一处立体标识(3),基于相对于平面标识(2)的配置、高度以及所推定的相对于标记的摄像机的位置,通过第...
  • 利用压印法的聚酰亚胺的精细图案形成方法
    提供与光刻法及激光加工等以往的聚酰亚胺加工技术相比,加工形状及其尺寸精度优异、且简便的聚酰亚胺的图案形成方法。在聚酰亚胺的精细图案形成中,作为聚酰亚胺,使用具有感光性的、能够在玻璃转变温度以下成形的溶剂可溶性的聚酰亚胺树脂组合物,并利用...
  • 微波等离子体处理装置
    本发明的课题在于提供一种微波激发等离子体处理装置,其即便在中间气压及高气压下也能够产生较高的均匀性与高密度、且低温的宽幅的等离子体射流,该微波等离子体处理装置的特征在于具备:介电质基板;锥形部,设置在所述介电质基板的一端部,且为该介电质...
  • 选别装置及选别方法
    本发明能高精度且高效率地从被选别对象中选别磁化物和非磁化物。选别装置(10)的特征在于,包括:高梯度磁力分离部(50),其由电磁铁(50a)、磁性过滤器(50b)以及磁选通道(50c)构成;被选别流体导入通道(1b),其经由第一开闭阀(...
  • 半导体的制造方法及晶片衬底的清洗方法
    本发明的课题在于,提供一种半导体的制造方法,所述半导体的制造方法包括将存在于经图案化的晶片衬底上的、至少上部的一部分形成有难以除去的固化改性层的光致抗蚀剂在温和的条件下简便且有效地除去的工序,以及包括所述工序的晶片衬底的清洗方法。作为其...
  • 取向单层碳纳米管集合体及其制造方法
    本发明涉及取向单层碳纳米管集合体、块状取向单层碳纳米管集合体、粉体状取向单层碳纳米管集合体、及其制造方法。本发明提供一种取向单层碳纳米管集合体,可以容易制造,比表面积大,一根一根的碳纳米管(CNT)取向于规则的方向,且松密度低,因此具有...
  • 钛酸盐化合物、碱金属钛酸盐化合物和制备其的方法、以及使用钛酸盐化合物和碱金属钛酸盐化合物作为活性材料的蓄电装置
    本发明提供了当用作蓄电装置的电极活性材料时能够进一步增加其容量的钛酸盐化合物。根据本发明的钛酸盐化合物中,基于粒子的数量的60%以上的粒子具有各向异性的形状并且具有通过使用氮吸附的BET单点法测得的为10至30m2/g的比表面积,以及具...
  • 硫化锂-铁-碳复合体
    本发明的主要目的是提供在以作为锂二次电池用正极活性物质有用的硫化锂作为主要成分的化合物中,正极利用率高、且具有高容量、进而具有良好的循环特性的具有优异的充放电特性的新型材料。一种硫化锂-铁-碳复合体,其特征在于,其是包含锂、铁、硫及碳作...
  • 本发明提供一种能够简易且低成本地制造,能够获得较大的隧道电流,并具有优异动作特性的半导体元件及其制造方法、并提供一种具有所述半导体元件的半导体集成电路。本发明的半导体元件的特征在于,隧道结的整体或者一部分由含有等电子陷阱形成杂质的间接跃...
  • 提供一种能够在由机器人装置进行的液体的处理操作中简便地进行液体的排出或抽吸的吸移管装置。提供一种被机器人装置把持的吸移管装置,该吸移管装置具有:驱动部,其进行液体的抽吸和/或排出;接收部,其接收来自所述机器人装置的信号;以及控制部,其根...
  • 本发明提供一种采用隧道场效应晶体管的集成电路及其制造方法,减少形成将两个隧道场效应晶体管电连接的电路所需要的面积及成本,并且还减少寄生电容、寄生电阻。作为解决方案,采用隧道场效应晶体管的集成电路的特征在于,在一个活性区域以同一极性形成有...
  • 本发明提供一种能够用少量的清洗液高效地清洗晶片、高效地进行加热湿式清洗处理的晶片清洗机及其方法。本发明的晶片清洗机具有:载物台(34),其设置晶片(W);旋转驱动部(34b),其使载物台(34)周向旋转;喷液嘴(35),其与设置在载物台...
  • 拒水/拒油被膜及其制造方法
    本发明的一个实施方式中,拒水/拒油被膜形成在固体的表面,并且以由化学式所表示的基团为终端,并通过硅氧烷键形成有三维交联结构。
  • 本发明涉及一种提供提高氧化钨抗真菌及抗细菌性,即使在薄膜形状下也具有优异的抗真菌、抗细菌性的材料,其抗真菌及抗细菌材料的特征在于包含添加了铋的氧化钨的光催化剂。
  • 子采样装置(100)包括:凸缘部件(110),其具有与试料容纳容器(10)的容纳空间(11)相连通的貫通孔(114),形成有与该貫通孔(114)相连通的至少1个第1管路(112),连接在试料容纳容器(10)的后端面;连接部件(120),...
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