有机电子器件的封装方法技术

技术编号:9061673 阅读:202 留言:0更新日期:2013-08-22 00:51
公开了一种有机电子器件的封装方法,包括:制作电子器件前,在衬底材料背面淀积多层复合薄膜;电子器件制作完成后,在有机电子器件表面沉积多层复合薄膜。本发明专利技术提供的一种有机电子器件的封装方法,采用芯片级封装方法,将封装过程集成到器件制作工艺过程中,取代了以往的先在晶圆上制作器件,切割后单独封装的方式。这样做的益处在于,提高效率、降低成本,同时本发明专利技术创新地采用了有机/无机复合多层薄膜封装,既可以隔离水、氧,从而极大提高有机电子器件的使用寿命,又可以实现柔性封装,最大程度保留有机电子器件可折叠、弯曲的性能。最后,该发明专利技术可实现120℃以下低温成膜,减少了对器件和塑料衬底的热损伤。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种有机电子器件的封装方法,其特征在于,包括:制作电子器件前,在衬底材料背面淀积多层复合薄膜;电子器件制作完成后,在有机电子器件表面沉积多层复合薄膜。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:吴茹菲刘键
申请(专利权)人:中国科学院微电子研究所
类型:发明
国别省市:

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