【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种基于柔性衬底的气敏传感器，其特征在于，该气敏传感器从下往上依次为：衬底、下电极、敏感膜和上电极；其中，该敏感膜位于下电极与上电极之间，其截面部分被暴露出来，使得气体在该截面处同敏感膜作用，充分发挥出敏感膜的敏感特性。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：梁圣法，李冬梅，刘明，谢常青，陈鑫，詹爽，
申请(专利权)人：中国科学院微电子研究所，
类型：发明
国别省市：
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