一种柔性传感器的变形检测装置及方法制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种柔性传感器的变形检测装置及方法。该装置包括：压力控制系统，包括压力控制器及微泵，安装在样品池与储液器的液体输送管路中；样品池上方有由柔性传感器与可延展基膜构成的可延展复合膜的安装口；二维移动系统，包括放置样品池的二维载物台及步进电机；显微成像测量系统，包括可升降调节的显微镜头，装在样品池正上方；数据处理系统，根据二维载物平台及显微镜头的位移数据，输出可延展复合膜在不同压力情况下不同位置的轮廓曲线以及曲线的曲率，获得曲线与压力的关系。本发明专利技术解决了现有技术不能从整体和细节上检测柔性传感器在不同压力下形变情况的不足。

【技术实现步骤摘要】
一种柔性传感器的变形检测装置及方法
本专利技术属于柔性传感器的检测
，具体涉及一种柔性传感器的变形检测装置及方法。
技术介绍
近年来，柔性电子技术正在飞速地应用于信息、能源、医疗和国防等领域。据预测，柔性电子产品的市场将会从2016年的265亿美金增加到2026年的690亿美金。作为柔性电子技术中的重要组成部分，柔性传感器是近年来科学研究中的热门领域。在功能上，柔性传感器使用了极薄的压电材料、半导体材料、有机材料和金属材料，实现了植入式或可穿戴的人体健康检测、汽车电子和机器人传感器等方面的应用。在光电传感器领域，柔性电子技术也有着大量的应用，然而绝大多数的柔性光电传感器并不具备延展性，无法顺应地覆盖任何复杂的曲面。实现任意复杂曲面的集成还需要依靠柔性可延展的光电传感器。柔性可延展电子器件为新一代半导体器件的发展提供了新方向。柔性可延展电子器件具有许多重要的和新兴的应用,如柔性显示器、半球形电子眼数码相机、智能外科手套、健康监测设备和柔性太阳能电池。柔性光电传感器使用了可延展的金属导线将不同测量单元连接成复杂的网状结构。这些柔性光电传感器阵列在刚性平面基底上完成加工，通过转印的方本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种柔性传感器的变形检测装置，其特征在于，包括：压力控制系统，包括压力控制器及微泵，安装在样品池与储液器的液体输送管路中；样品池上方有由柔性传感器与可延展基膜构成的可延展复合薄膜的安装口；二维移动系统，包括用于放置样品池的二维载物台以及使二维载物台移动的步进电机；显微成像测量系统，包括可垂直升降调节的显微镜头，安装在样品池正上方，并与数据处理系统相连接；数据处理系统，用于根据二维载物平台及显微镜头的位移数据，输出可延展复合薄膜在不同压力情况下不同位置的轮廓曲线以及曲线的曲率，获得曲线与压力的关系。

【技术特征摘要】
1.一种柔性传感器的变形检测装置，其特征在于，包括：压力控制系统，包括压力控制器及微泵，安装在样品池与储液器的液体输送管路中；样品池上方有由柔性传感器与可延展基膜构成的可延展复合薄膜的安装口；二维移动系统，包括用于放置样品池的二维载物台以及使二维载物台移动的步进电机；显微成像测量系统，包括可垂直升降调节的显微镜头，安装在样品池正上方，并与数据处理系统相连接；数据处理系统，用于根据二维载物平台及显微镜头的位移数据，输出可延展复合薄膜在不同压力情况下不同位置的轮廓曲线以及曲线的曲率，获得曲线与压力的关系。2.根据权利要求1所述柔性传感器的变形检测装置，其特征在于，所述显微镜头连接微距调节器，所述微距调节器连接所述数据处理系统。3.根据权利要求2所述柔性传感器的变形检测装置，其特征在于，所述数据处理系统为图像处理计算机。4.根据权利要求3所述柔性传感器的变形检测装置，其特征在于，所述步进电机连接步进电机控制器，所述步进电机控制器连接所述图像处理计算机。5.根据权利要求1-4任一项所述柔性传感器的变形检测装置，其特征在于，所述微泵连接微泵控制器。6.一种权利要求1-5任一项所述柔性传感器的变形检测装置的检测方法，其特征在于，包括以下步骤：S1：安装二维载物台，调整底座水平高度，使二维载物台保持水平；S2：选取需要进行测试的柔性传感器，贴合于柔性可延展基膜上形成可延展复合薄膜；S3：连通储液池和微泵，再连...

【专利技术属性】
技术研发人员：计宏伟，陈诚，贾宗彪，郭宁，陈瑞，
申请(专利权)人：天津商业大学，
类型：发明
国别省市：天津,12