对柔性衬底的扩散阻挡层修饰制造技术

技术编号:9138869 阅读:155 留言:0更新日期:2013-09-12 01:36
本发明专利技术公开了一种柔性CIGS薄膜太阳电池中,对柔性衬底添加阻挡层的修饰方法。不锈钢是柔性CIGS薄膜太阳电池衬底的首选材料。但是衬底中的元素如Fe、Cu元素的扩散,会降低电池的质量。因此,探寻合适的扩散阻挡层材料及其低成本制备工艺,对于提高器件效率和降低生产成本有重要意义。在不锈钢衬底上采用直流磁控溅射工艺沉积一层1-2μm的铬扩散阻挡层,能显著提高衬底上生长的背电极层及CIGS吸收层薄膜的结晶质量。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种柔性CIGS薄膜太阳电池中,对柔性衬底添加铬阻挡层的修饰方法,是在柔性衬底上采用直流磁控溅射工艺沉积一层扩散阻挡层,其特征在于:所述柔性衬底为不锈钢衬底;所述阻挡层为铬层。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:孙玉娣张建柱彭博马格林
申请(专利权)人:任丘市永基光电太阳能有限公司
类型:发明
国别省市:

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