柔性CIGS太阳电池背电极层的制备工艺制造技术

一种柔性铜铟镓硒(CIGS)薄膜太阳电池背电极层的制备工艺，利用卷对卷(ROLL-TO-ROLL)的生产工艺，在柔性不锈钢衬底上依次沉积铬隔离层、钼层，做为CIGS吸收层的预制层及电池的背电极层。铬隔离层与钼层的制备均采用卷对卷(Roll-To-Roll)的镀膜方式，并且都利用直流磁控溅射的方法，在同一溅射室不同溅射源分步进行制备，整个过程简单可行，易于控制，制备的薄膜质量高。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种柔性铜铟镓硒(CIGS)薄膜太阳电池背电极层的制备工艺，其特征在于：利用卷对卷(ROLL?TO?ROLL)的生产工艺，在柔性不锈钢衬底上依次沉积铬隔离层、钼层，做为CIGS吸收层的预制层及电池的背电极层。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：张建柱，孙玉娣，马格林，彭博，
申请(专利权)人：任丘市永基光电太阳能有限公司，
类型：发明
国别省市：