柔性CIGS薄膜太阳电池窗口层制备工艺制造技术

技术编号:9144621 阅读:243 留言:0更新日期:2013-09-12 06:00
一种柔性铜铟镓硒薄膜太阳电池窗口层的制备工艺,其特征在于:利用卷对卷的生产工艺,依次在不锈钢为衬底上沉积背电极层/CIGS吸收层/CdS缓冲层/窗口层/减反膜/栅电极。窗口层氧化锌利用磁控溅射的方法制备,分本证氧化锌i-ZnO与掺铝氧化锌ZnO:Al的制备。在同一溅射室,先通过卷对卷工艺进行本证氧化锌i-ZnO的溅射,本证氧化锌i-ZnO的溅射镀膜完成后,进行回卷,实现掺铝氧化锌ZnO:Al的制备。整个窗口层镀膜过程简单可行,制备的膜层质量高。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种柔性铜铟镓硒薄膜太阳电池窗口层的制备工艺,其特征在于:利用卷对卷的生产工艺,依次在不锈钢为衬底上沉积背电极层/CIGS吸收层/CdS缓冲层/窗口层/减反膜/栅电极。窗口层氧化锌利用磁控溅射的方法制备。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:张建柱孙玉娣马格林彭博
申请(专利权)人:任丘市永基光电太阳能有限公司
类型:发明
国别省市:

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