稀土改性碳纳米管硅太阳能电池的制备方法技术

本发明专利技术公开了一种稀土改性碳纳米管晶硅太阳能电池的制备方法，该方法包括如下步骤：首先，对制好PN结的硅片进行表面羟基化处理，再浸入配制好的氨基硅烷溶液中，在基片表面组装氨基硅烷薄膜；其次，置入三氯氧化磷溶液中，在薄膜表面组装上磷酸基团；然后，将基片置入经稀土改性后的碳纳米管悬浮液，取出后清洗干净，烘干，得到表面沉积有稀土改性碳纳米管复合薄膜的硅片。利用PECVD技术在表面制作一层氮化硅减反射膜，然后印刷正、负电极，制成所述太阳能电池。本发明专利技术工艺简单、成本低，适合工业大规模生产，对环境无污染，同时，能很好的改善碳纳米管分散性以及与硅基体的界面结合力，制得高光电转化效率的硅太阳能电池。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种稀土改性碳纳米管硅太阳能电池的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：步骤一、首先，对制好PN结的硅片进行表面处理，取出后清洗干净，烘干；其次，将处理后的硅片浸入配置好的氨基硅烷溶液中，静置60～120min，在基片表面组装氨基硅烷薄膜，取出后清洗干净，烘干；最后，将制得的基片置入三氯氧化磷溶液中浸泡2～4h，使基体硅片硅烷薄膜表面组装上磷酸基团，取出后清洗干净，烘干；所述表面处理为将硅片浸入piranha溶液中，在烘箱内90℃下处理1～2h；所述piranha溶液为H2SO4与H2O2体积比为70∶30的溶液；所述的氨基硅烷溶液为3?氨基丙基?三乙氧基硅烷的乙醇溶液，浓度为0.1～1.0mm...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：梁海，程先华，孙洪涛，王传英，宋宇，雷子恒，
申请(专利权)人：浙江启鑫新能源科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：