【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种用于柔性衬底上有机薄膜器件制备的集成装置,该集成装置包括驱动控制单元、用于制备加工作业的手套箱(1)和用于真空热蒸镀作业的蒸镀室(3),所述蒸镀室(3)内安装有用于固定安装柔性衬底的蒸镀滚筒(31),其特征在于,该集成装置还包括在所述蒸镀室(3)和手套箱(1)之间设置的过渡舱(2),所述蒸镀室(3)、过渡舱(2)和手套箱(1)之间能够依次连通并形成与外界相隔的全封闭环境,其中,在所述全封闭环境内设置有传送机构,并在所述过渡舱(2)的外壁上设置有手套(21),通过操作所述手套(21),能够使所述蒸镀滚筒(31)连接于所述传送机构上,并在所述驱动控制单元的作用下在所述蒸镀室(3)和手套箱(1)之间进行传送。
【技术特征摘要】
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