【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种应用于光伏透明导电玻璃的电磁磁控溅射法,该玻璃基板放入真空环境中并加热,该靶源永久磁铁外围设有4组环绕的高电流电磁场,而形成电磁磁场以拉伸等离子体放电区,以溅射出具高动能氧化物粒子,又该氧化物粒子沉积披覆于玻璃基板上;同时玻璃基板完全浸入拉伸的等离子体区内,而使氧化物粒子在玻璃基板形成结晶,且藉由该电磁磁场,其带电粒子具有比一般磁场更高动能,同时又可藉由调整电流的方式调控电磁磁场大小,进而可增加玻璃基板成膜速度及易于形成排列组合整齐之结晶结构。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:周文彬,刘幼海,刘吉人,
申请(专利权)人:吉富新能源科技上海有限公司,
类型:发明
国别省市:
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