一种具有三套溅射源的磁控溅射镀膜生产线制造技术
【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于磁控溅射镀膜生产设备，特别涉及一种具有三套溅射源的磁控溅射镀膜生产线。
技术介绍
现有技术中，磁控溅射镀膜玻璃利用磁控溅射技术在普通的玻璃基片上镀上多种颜色的膜，膜层耐磨耐腐蚀性较好，传统的磁控溅射生产过程中存在针眼和膜层均匀度差等缺点。
技术实现思路
针对上述现有技术的不足，本专利技术提供一种具有三套溅射源的磁控溅射镀膜生产线，该生产线使产品膜层更均匀牢固，成膜书读快，生产效率高合格率高，生产出更丰富多样的产品种类，溅射源使用寿命长，膜层厚度易于控制，节约功耗，单位时间及电量能生产更多的优质产品。本专利技术的技术方案是：一种具有三套溅射源的磁控溅射镀膜生产线，包括真空预抽室1、真空镀膜室2、第一溅射源3、第二溅射源4、第三溅射源5、过渡室6，所述真空预抽室1和真空镀膜室2及过渡室6依次连接，所述真空镀膜室2内安装第一溅射源3、第二溅射源4、第三溅射源5，所述第一溅射源3、第二溅射源4、第三溅射源5依次平行设置。本专利技术的优点效果是：该生产线使产品膜层更均匀牢固，成膜书读快，生产效率高合格率高，生产出更丰富多样的产品种类，溅射源使用寿命长，膜层厚度易于控制，节约功耗，单位时间及电量能生产更多的优质产品。附图说明图1为本专利技术一种具有三套溅射源的磁控溅射镀膜生产线结构示意图附图标示：1为真空预抽室、2为真空镀膜室、3为第一溅射源、4为第二溅射源、5为第三溅射源、6为过渡室。具体实施方式下面结合附图对本专利技术作进一步详细说明：如图1所示，本专利技术实施例具有三套溅射源的磁控溅射镀膜生产线，一种具有三套溅射源的磁控溅射镀膜生产线...
【技术保护点】
一种具有三套溅射源的磁控溅射镀膜生产线，包括真空预抽室、真空镀膜室、第一溅射源、第二溅射源、第三溅射源、过渡室，所述真空预抽室和真空镀膜室及过渡室依次连接，所述真空镀膜室内安装第一溅射源、第二溅射源、第三溅射源，所述第一溅射源、第二溅射源、第三溅射源依次平行设置。
【技术特征摘要】
1.一种具有三套溅射源的磁控溅射镀膜生产线，包括真空预抽室、真空镀膜室、第一溅射源、第二溅射源、第三溅射源、过渡室，所述真空预抽室和真...
【专利技术属性】
技术研发人员：魏永祥，魏长龙，马东，
申请(专利权)人：枣庄市锦华镀膜玻璃有限公司，
类型：发明
国别省市：山东;37
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