一种高热稳定性无扩散阻挡层Cu(Ru)合金材料的制备方法技术

本发明专利技术涉及高热稳定性无扩散阻挡层Cu(Ru)合金材料的制备方法，其特征在于是以单晶Si(111)片作为衬底材料，选用高纯Cu靶和Ru靶，固定Cu靶功率为80±10W，在(3-15)±1W范围内改变Ru靶的溅射功率进而改变Cu(Ru)合金互连材料中固溶相Ru的含量，通过直流磁控共焦溅射方法获得。能得到高热稳定性的无扩散阻挡层Cu(Ru)合金材料并且仍然保持优良的电学性能，更好的保证了其实际应用。本发明专利技术操作简单，重复性好，实现效果良好。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
高热稳定性无扩散阻挡层Cu(Ru)合金材料的制备方法，其特征在于是以单晶Si(111)片作为衬底材料，选用高纯Cu靶和Ru靶，固定Cu靶功率为80±10W，在(3?15)±1W范围内改变Ru靶的溅射功率进而改变Cu(Ru)合金互连材料中固溶相Ru的含量，通过直流磁控共焦溅射方法获得。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：汪蕾，王阳，董松涛，黄婷，
申请(专利权)人：江苏科技大学，
类型：发明
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