掩膜版盒制造技术

本实用新型专利技术提供了一种掩膜版盒，包括一个底座、盖于所述底座上的壳罩以及用以将所述底座与所述壳罩固定在一起的限制块和旋转臂，所述壳罩包括垂直于所述底座的侧壁，所述旋转臂的一端与所述侧壁旋转连接，另一端与所述限制块固定连接，所述旋转臂的旋转轴心垂直于所述掩模版盒底座，所述壳罩侧壁包括互相平行的内侧壁和外侧壁，所述内侧壁与所述外侧壁均设有供所述限制块旋转穿过的开口，所述侧壁还包括末端连接壁，所述末端连接壁连接所述内侧壁和所述外侧壁的开口末端。本实用新型专利技术通过末端连接壁的设置，连接了内侧壁和外侧壁的开口末端，避免了两个开口末端因为触碰等原因而发生破碎，进而避免了碎片通过内侧壁上的开口进入到掩膜版盒。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及半导体制造领域，尤其涉及一种掩膜版盒。
技术介绍
随着半导体制造技术的发展，掩膜版的花费正在日益增长。现有技术中通常在光掩膜版表面设置一个保护膜对掩膜版进行保护，防止其被污染。一旦保护膜受到了损害，就必须重新制作，极大地增加了消耗，同时也容易延误产品的制作日常。当掩膜版被传输至晶圆厂中后，掩膜版通常是被放置在一个掩膜版盒中，请参考图1，其为现有技术中的掩膜版盒底部一角的仰视示意图(面向底座)，包括一个底座101、盖于所述底座101上的壳罩以及用以将所述底座101与所述壳罩固定在一起的限制块102和旋转臂112，所述壳罩包括垂直于所述底座101的侧壁，所述限制块102通过一个旋转臂112与所述侧壁旋转连接，且所述限制块102平行于所述底座101表面绕所述旋转臂112的一端旋转，所述旋转臂112的一端与所述侧壁旋转连接，另一端与所述限制块102固定连接，所述旋转臂112的旋转轴心垂直于所述底座，所述侧壁包括互相平行的内侧壁103和外侧壁104，所述内侧壁103与所述外侧壁104均设有供所述限制块旋转穿过的开口，分别是内开口 105和外开口 106。限制块102和旋转臂112在壳罩的四角各有一个。图1仅展示了其中的一角，其他各角上的限制块102、旋转臂112、内开口 105以及外开口 106均与其类似。在现有技术中，内开口 105和外开口 106末端的内侧壁103和外侧壁104由于单独露在外面，经常会因为触碰发生破碎现象，以至于碎片从内开口 105处进入到掩膜版盒内，进而刮伤了其中的掩膜版及其表面的保护膜
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是提供一种能避免侧壁破碎的掩膜版盒。为了解决这一技术问题，本技术提供了一种掩膜版盒，包括一个底座、盖于所述底座上的壳罩以及用以将所述底座与所述壳罩固定在一起的限制块和旋转臂，所述壳罩包括垂直于所述底座的侧壁，所述旋转臂的一端与所述侧壁旋转连接，另一端与所述限制块固定连接，所述旋转臂的旋转轴心垂直于所述底座，所述限制块通过一个旋转臂与所述侧壁旋转连接，且所述限制块平行于所述底座表面绕所述旋转臂的一端旋转，所述侧壁包括互相平行的内侧壁和外侧壁，所述内侧壁与所述外侧壁均设有供所述限制块旋转穿过的开口，所述侧壁还包括末端连接壁，所述末端连接壁连接所述内侧壁和所述外侧壁的开口末端。所述末端连接壁的数量为两个，分别位于所述限制块的两侧，分别连接位于所述限制块的同侧的内侧壁的开口末端与外侧壁的开口末端。位于所述限制块的与所述旋转臂同侧的末端连接壁沿竖直方向的高度位置与所述限制块的旋转运动平面错开。所述侧壁还包括垂直连接壁，所述垂直连接壁垂直于所述内侧壁与外侧壁设置。所述垂直连接壁与位于所述限制块同侧的所述末端连接壁等高。所述末端连接壁的一端与所述垂直连接壁的一端重合。所述末端连接壁的位于所述外侧壁的一端与所述垂直连接壁的位于所述外侧壁的一端重合。所述内侧壁的开口小于所述外侧壁的开口。本技术通过末端连接壁的设置，连接了内侧壁和外侧壁的开口末端，从而避免了两个开口末端因为触碰等原因而发生破碎，进而避免了碎片通过内侧壁上的开口进入到掩膜版盒，最终防止了碎片刮伤掩膜版或掩模版上的保护膜。提供了一种能避免侧壁破碎的掩膜版盒。附图说明图1是现有技术中的掩膜版盒底部一角的仰视结构示意图；图2是本技术一实施例提供的掩膜版盒底部一角的仰视结构示意图；图中·，101—底座；102 —限制块；112—旋转臂；103 —内侧壁；104—外侧壁；105—内开口 ；115—内开口第一末端；125—内开口第二末端；106—外开口 ；116—夕卜开口第一末端；126—外开口第二末端；107—第一垂直连接壁；108—第一末端连接壁；117—第二垂直连接壁；118—第二末端连接壁。具体实施方式以下将结合图2对本技术提供的掩膜版盒进行详细的描述，其为本技术一可选的实施例，可以认为本领域的技术人员可以根据公知的常识，在不修改本技术的精神和内容的范围内对其进行修改和润色。本实施例提供了一种掩膜版盒，包括一个底座101、盖于所述底座上的壳罩及用以将所述底座与所述壳罩固定在一起的限制块102和旋转臂112，所述壳罩包括垂直于所述底座101的侧壁，所述旋转臂112的一端与所述侧壁旋转连接，另一端与所述限制块102固定连接，所述旋转臂112的旋转轴心垂直于所述底座101，即所述限制块102通过一个旋转臂112与所述侧壁旋转连接，且所述限制块102平行于所述底座101表面绕所述旋转臂112的一端旋转，所述侧壁包括互相平行的内侧壁103和外侧壁104，所述内侧壁103与所述外侧壁104均设有供所述限制块102旋转穿过的开口，当所述限制块102穿过所述内侧壁103上的内开口后，可以挡在所述底座101的底部，对其进行固定，所述侧壁还包括末端连接壁，所述末端连接壁连接所述内侧壁103和所述外侧壁104的开口末端。所述的开口末端可以认为是指开口两端与所述外侧壁104或内侧壁103的连接处。第一垂直连接壁107和第二垂直壁117有助于侧壁的稳固安全.在本实施例中，请参考图2，和图1，内侧壁103上的开口为内开口 105，外侧壁104上的开口为外开口 106。内侧壁103上的内开口 105的两端分别为内开口第一末端115和内开口第二末端125,外侧壁104上的外开口 106的两端分别为外开口第一末端116和外开口第二末端126。所述限制块102用以通过穿过所述内开口 105，进而卡住所述底座101的位置。本实施例通过末端连接壁的设置，连接了内侧壁103和外侧壁104的开口末端，从而避免了两个开口末端因为触碰等原因而发生破碎，进而避免了碎片通过内侧壁103上的开口进入到掩膜版盒，最终防止了碎片刮伤掩模版及其表面的保护膜。提供了一种能避免侧壁破碎的掩膜版盒。所述末端连接壁的数量为两个，分别位于所述限制块102的两侧，其可以理解为当所述限制块102被旋转至工作位置，即将掩模版盒壳罩与所述底盘101固定在了一起，末端连接壁位于此时限制块102位置的两侧，即图中的左右两侧，所述末端连接壁分别连接位于所述限制块102同侧的内侧壁103的开口末端与外侧壁104的开口末端。在本实施例中，末端连接壁包括第一末端连接壁108和第二末端连接壁118，第一末端连接壁108连接内开口 105和外开口 106左侧的末端，第二末端连接壁118连接内开口 105和外开口 106右侧的末端。位于所述限制块102的与所述旋转臂112同侧的末端连接壁沿竖直方向上的高度位置与所述限制块102的旋转运动平面错开。在本实施例中，即第二末端连接壁118的高度位置高于所述限制块102的上侧表面，因为在本实施例中，底座101沿竖直方向上位于掩膜版盒的底部，限制块102也在底部位置，即此时图2为本实施例提供的掩膜版盒底部仰视图，则第二末端连接壁118的下端便高于限制块102的上侧表面。这一设置是为了既能满足给旋转臂112与限制块102的旋转运动提供空间，同时还能保证实现内侧壁与外侧壁的开口末端的连接。所述侧壁还包括垂直连接壁，所述垂直连接壁垂直于所述内侧壁与外侧壁设置。在本实施例中，所述垂直连接壁包括如图2所示的第一垂直连接壁107和第二垂本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种掩膜版盒，包括一个底座、盖于所述底座上的壳罩以及用以将所述底座与所述壳罩固定在一起的限制块和旋转臂，所述壳罩包括垂直于所述底座的侧壁，所述旋转臂的一端与所述侧壁旋转连接，另一端与所述限制块固定连接，所述旋转臂的旋转轴心垂直于所述底座，所述侧壁包括互相平行的内侧壁和外侧壁，所述内侧壁与所述外侧壁均设有供所述限制块旋转穿过的开口，其特征在于：所述侧壁还包括末端连接壁，所述末端连接壁连接所述内侧壁和所述外侧壁的开口末端。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：邢滨，岳力挽，
申请(专利权)人：中芯国际集成电路制造北京有限公司，
类型：实用新型
国别省市：