Liquid crystal photomask and its application. The mask includes a controller, imaging, light layer, light guide layer, a first optical deflection plate, liquid crystal layer and the second optical deflection plate; the liquid crystal layer sandwiched between the first optical deflection plate and second deflection optical sheet between the surface of the first optical deflection plate; and the liquid crystal layer contact is arranged on the first transparent electrode second layer; surface deflection optical sheet contact with the liquid crystal layer is arranged on the second transparent conductive layer; the polarization direction angle of the first optical deflection plate and second deflection optical sheet is 90 degrees; the light guide layer is arranged on the first deflection optical sheet, the light incidence side, one side of the light layer of light the light incident on the light guide layer. The invention provides a liquid crystal photomask which has the advantages of high precision, adjustable accuracy, good stability and long service time without needing to change the mask to realize multi mask overprinting.
【技术实现步骤摘要】
一种液晶光掩膜及其应用
本专利技术是关于一种光掩膜,特别是关于一种液晶光掩膜及其应用。
技术介绍
在印刷工艺过程中,制版是整个过程中耗时最长,工艺最复杂,成本最高的环节,实现精确制版是高质量印刷的关键;而在半导体制造整个流程中,光掩膜是实现从版图到电路板制备过程中最重要的环节之一,也是整个流程中成本最高的一部分。常见的光掩膜有四种,铬板、干板、凸版和液体凸版。光掩膜主要由两部分组成,透光基板和不透光材料。现有的掩膜版,一旦制备完成,其遮光和透光区域是固定不变的,因此,只适用于特定的待曝光器件。根据所制备器件的复杂程度不同,通常需要多套光掩膜实现曝光过程,大大增加了生产成本;此外,在此过程中,实现不同光掩膜的精确套刻尤其关键,通常涉及十分复杂的套刻工艺,无疑增加了生产的难度,降低了成品率。无论在印刷领域还是光刻领域,光掩膜都是最终产品质量保证的关键环节。近年来,透明显示技术因其透明的显示板这一特性及其独特的应用,越来越受到人们的关注。透明显示技术的核心是透明显示板,透明显示板是一种能够显示图像的透明板,透明显示板中的像素单元在关闭时,板就仿佛一块透明玻璃;当其工作时,由于液晶的偏转,相应偏转区域呈现灰度,从而显示出相应的图案,同时,未偏转的液晶区域仍然呈现透明状态。透明液晶显示板的这一特性为光掩膜的制备提供了新的方向。作为现有技术:1.中国专利申请(申请号201220006968.1)公开了⼀种掩膜板,包括,图案显示屏,用于呈现掩膜图案,控制单元,用于根据光刻工艺中所需的掩膜图案的灰阶信息控制所述图案显示屏,在不同区域的光透过量,以呈现所述掩膜图案。图案显示 ...
【技术保护点】
一种液晶光掩膜,其特征在于,所述光掩膜包括,成像控制器,均光层,导光层,第一光学偏转片,液晶层和第二光学偏转片;所述液晶层夹设于第一光学偏转片与第二光学偏转片之间;第一光学偏转片与液晶层接触的表面上设置有第一透明电极层;第二光学偏转片与液晶层接触的表面上设置有第二透明导电层;所述第一光学偏转片与第二光学偏转片的偏振方向夹角为90度;所述导光层设置于第一光学偏转片的光入射的一侧;所述均光层设置于导光层的光入射的一侧;所述成像控制器用于在第一透明电极层和第二透明电极层施加相应电信号,使所述液晶层中相应区域的液晶发生偏转,形成目标图像,遮掩曝光光源照射光线;未发生液晶偏转的区域成光透过状态;所述导光层将入射光整理为平行光,所述平行光入射第一光学偏转片;所述均光层将入射光调整为散射光。
【技术特征摘要】
1.一种液晶光掩膜,其特征在于,所述光掩膜包括,成像控制器,均光层,导光层,第一光学偏转片,液晶层和第二光学偏转片;所述液晶层夹设于第一光学偏转片与第二光学偏转片之间;第一光学偏转片与液晶层接触的表面上设置有第一透明电极层;第二光学偏转片与液晶层接触的表面上设置有第二透明导电层;所述第一光学偏转片与第二光学偏转片的偏振方向夹角为90度;所述导光层设置于第一光学偏转片的光入射的一侧;所述均光层设置于导光层的光入射的一侧;所述成像控制器用于在第一透明电极层和第二透明电极层施加相应电信号,使所述液晶层中相应区域的液晶发生偏转,形成目标图像,遮掩曝光光源照射光线;未发生液晶偏转的区域成光透过状态;所述导光层将入射光整理为平行光,所述平行光入射第一光学偏转片;所述均光层将入射光调整为散射光。2.根据权利要求1所述的液晶光掩膜,其特征在于,所述导光层与第一光学...
【专利技术属性】
技术研发人员:杨涛,
申请(专利权)人:青岛斯博锐意电子技术有限公司,
类型:发明
国别省市:山东,37
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