掩膜板支撑组件及掩膜装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种掩膜板支撑组件及掩膜装置，上述掩膜板支撑组件中，每一所述支撑条的两端分别至少部分抵接于所述支撑面远离所述凹槽的一侧，所述凹槽的深度由靠近所述支撑框架的中部的一端向靠近所述支撑框架外侧的一端逐渐减小，抬高了玻璃基板在竖直方向上相对于支撑面的高度，抬高的高度弥补玻璃基板在竖直方向上的下垂量，从而很好地减小了所述玻璃基板与所述精细掩膜条之间在边缘处形成的间隙，从而避免了玻璃基板与精细掩膜条贴合时产生的下垂所导致的掩膜板支撑组件边缘混色。

Mask plate support assembly and mask device

The utility model relates to a mask support assembly and mask device, the mask support components, each of the supporting bar are respectively connected to one side of at least part of the supporting surface away from the groove, one end of the depth of the groove of the support frame in the near by department to close to the outside of the supporting frame decreases gradually, raise the glass substrate in a vertical direction relative to the support surface height, height to compensate for sagging amount of glass substrate in the vertical direction of the elevation, so as to reduce the gap between the glass substrate and the fine mask in the edge of the form thus, to avoid the glass substrate and the fine mask stick generated when the droop caused by the mask support assembly edge blending.

【技术实现步骤摘要】
掩膜板支撑组件及掩膜装置
本技术涉及有机显示器件制造
，特别是涉及一种掩膜板支撑组件及掩膜装置。
技术介绍
在平板显示领域中，有机电致发光(OLED，OrganicLight-EmittingDiode)器件具有自发光、反应时间快、视角广、成本低、制造工艺简单、分辨率佳及高亮度等多项优点，被认为是下一代的平面显示器的新兴应用技术。其中，主动式OLED(ActiveMartixOLED，AMOLED)，通过在每个像素中集成薄膜晶体管(TFT)和电容器，并由电容器维持电压的方法进行驱动，实现了显示面板的大尺寸及高分辨率，成为当前研究的重点及未来显示技术的发展方向。目前，AMOLED在产品实现方面，需要使用掩膜装置对玻璃基板进行蒸镀，掩膜装置包含框架、支撑条、精细掩膜条以及遮挡条等众多组件。在蒸镀过程中，由于玻璃基板的自身重力，玻璃基板与精细掩膜条贴合时产生的下垂所导致的掩膜板支撑组件边缘混色是AMOLED产生混色的主要原因，直接影响了AMOLED量产良率的大小。
技术实现思路
基于此，有必要针对玻璃基板与精细掩膜条贴合时产生的下垂所导致的掩膜板支撑组件边缘混色的技术问题，提供一种掩膜板支撑组件及包含所述掩膜框架的掩膜装置。一种掩膜板支撑组件，包括支撑框架及若干支撑条，所述支撑条设置于所述支撑框架上，所述支撑框架包括至少两个相对设置的支架，相对设置的两个所述支架分别具有支撑面，两个所述支撑面靠近所述支撑框架的中部的一侧分别开设有若干凹槽，且两个所述支撑面的所述凹槽一一对齐，所述凹槽的深度由靠近所述支撑框架的中部的一端向靠近所述支撑框架外侧的一端逐渐减小，每一所述支撑条的两端分别至少部分抵接于所述支撑面远离所述凹槽的一侧，且每一所述支撑条对齐于两个对齐的所述凹槽所在的直线。在其中一个实施例中，所述凹槽包括第一槽部和第二槽部，所述第一槽部和所述第二槽部连通，所述第一槽部具有第一槽底，所述第二槽部具有第二槽底，所述第一槽底与所述支撑面平行，所述第二槽底靠近所述支撑框架的中部的一端向靠近所述支撑框架外侧的一端逐渐向所述支撑面倾斜。在其中一个实施例中，所述第一槽底和所述第二槽底之间的夹角为钝角。在其中一个实施例中，所述第一槽底和所述第二槽底之间的夹角为140°～160°。在其中一个实施例中，所述第二槽底与所述支撑面的连接处设置为曲面结构。在其中一个实施例中，所述支撑条垂直于所述支架。在其中一个实施例中，所述支撑面上设置有若干凸起部，所述凸起部设置于所述支撑面远离所述凹槽的一侧，且每一所述凸起部对齐于一所述凹槽，每一所述支撑条的两端分别至少部分抵接于所述凸起部上。在其中一个实施例中，同一所述支撑面上的所述凸起部凸起于所述支撑面的高度相异。在其中一个实施例中，同一所述支撑面上的所述凸起部凸起于所述支撑面的高度相同。一种掩膜装置，包括多根精细掩膜条、多根遮挡条及上述任一实施例中所述的掩膜板支撑组件，所述精细掩膜条及所述遮挡条设置于所述支撑框架上，且一所述遮挡条设置于两个所述精细掩膜条之间。上述掩膜板支撑组件及掩膜装置，所述掩膜板支撑组件中，每一所述支撑条的两端分别至少部分抵接于所述支撑面远离所述凹槽的一侧，所述凹槽的深度由靠近所述支撑框架的中部的一端向靠近所述支撑框架外侧的一端逐渐减小，抬高了玻璃基板在竖直方向上相对于支撑面的高度，抬高的高度弥补玻璃基板在竖直方向上的下垂量，从而很好地减小了所述玻璃基板与所述精细掩膜条之间在边缘处形成的间隙，从而避免了玻璃基板与精细掩膜条贴合时产生的下垂所导致的掩膜板支撑组件边缘混色。附图说明图1为一个实施例中掩膜板支撑组件的结构示意图；图2为图1中A处的放大图；图3为一个实施例中凹槽的局部结构示意图；图4为一个实施例中掩膜装置的结构示意图。具体实施方式为使本技术的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本技术的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本技术。但是本技术能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本技术内涵的情况下做类似改进，因此本技术不受下面公开的具体实施例的限制。需要说明的是，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本技术的描述中，“若干”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。此外，当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。例如，一种掩膜板支撑组件，包括支撑框架及若干支撑条，所述支撑条设置于所述支撑框架上，所述支撑框架包括至少两个相对设置的支架，相对设置的两个所述支架分别具有支撑面，两个所述支撑面靠近所述支撑框架的中部的一侧分别开设有若干凹槽，且两个所述支撑面的所述凹槽一一对齐，所述凹槽的深度由靠近所述支撑框架的中部的一端向靠近所述支撑框架外侧的一端逐渐减小，每一所述支撑条的两端分别至少部分抵接于所述支撑面远离所述凹槽的一侧，且每一所述支撑条对齐于两个对齐的所述凹槽所在的直线。请一并参阅图1及图2，一实施例的掩膜板支撑组件10，包括支撑框架100及若干支撑条200，支撑条200设置于支撑框架100上。在蒸镀过程中，所述支撑框架及所述支撑条用于支撑玻璃基板。支撑框架100包括两对相对设置的支架110，相对设置的两个支架110分别具有支撑面120，两个支撑面120靠近支撑框架100的中部的一侧分别开设有若干凹槽130(被支撑条120遮挡)，且两个支撑面120的凹槽130一一对齐，凹槽130的深度由靠近支撑框架100的中部的一端向靠近支撑框架100外侧的一端逐渐减小，每一支撑条200的两端分别抵接于支撑面120远离凹槽130的一侧，且每一支撑条200对齐于两个对齐的凹槽130所在的直线。凹槽130包括第一槽部131和第二槽部132，第一槽部131和第二槽部132连通，第一槽部131具有第一槽底133，第二槽部132具有第二槽底134，第一槽底133与支撑面120平行，第二槽底134靠近支撑框架100的中部的一端向靠近支撑框架100外侧的一端逐渐向支撑面120倾斜，即当支撑框架100水平放置时，支撑面120水平设置，这时，第一槽部131在竖直方向上的平均深度大于第二槽部132在竖直方向上的平均深度，第二槽底134靠近支撑框架100的中部的一端向靠近支撑框架100外侧的一端逐渐向上倾斜。需要说明的是，在蒸镀过程中，由于玻璃基板的自身重力，玻璃基板与精细掩膜条贴合时产生的下垂所导致的掩膜板支撑组件边缘混色是AMOLED产生混色的主要原因，直接影响了AMOLED量产良率的大小。所述边缘混色具体是指：当玻璃基板放置在所述掩膜板支撑组件上，玻璃基板与支撑框架的支撑面抵持时，玻璃基板由于自身重力在竖直方向上产生下垂形变，所述支撑框架到所述玻璃基板中心方向上的距离为1.5cm～2cm位置处产生的下垂形变，导致所述玻璃基板与所述精细掩膜条之间在边缘处形成间隙，所述间隙导致的混色被称为边缘混色。为了更好地解决上述边缘混色的问题，掩膜板支撑组件10中，每一支撑条20本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种掩膜板支撑组件，包括支撑框架及若干支撑条，所述支撑条设置于所述支撑框架上，其特征在于，所述支撑框架包括至少两个相对设置的支架，相对设置的两个所述支架分别具有支撑面，两个所述支撑面靠近所述支撑框架的中部的一侧分别开设有若干凹槽，且两个所述支撑面的所述凹槽一一对齐，所述凹槽的深度由靠近所述支撑框架的中部的一端向靠近所述支撑框架外侧的一端逐渐减小，每一所述支撑条的两端分别至少部分抵接于所述支撑面远离所述凹槽的一侧，且每一所述支撑条对齐于两个对齐的所述凹槽所在的直线。

【技术特征摘要】
1.一种掩膜板支撑组件，包括支撑框架及若干支撑条，所述支撑条设置于所述支撑框架上，其特征在于，所述支撑框架包括至少两个相对设置的支架，相对设置的两个所述支架分别具有支撑面，两个所述支撑面靠近所述支撑框架的中部的一侧分别开设有若干凹槽，且两个所述支撑面的所述凹槽一一对齐，所述凹槽的深度由靠近所述支撑框架的中部的一端向靠近所述支撑框架外侧的一端逐渐减小，每一所述支撑条的两端分别至少部分抵接于所述支撑面远离所述凹槽的一侧，且每一所述支撑条对齐于两个对齐的所述凹槽所在的直线。2.根据权利要求1所述的掩膜板支撑组件，其特征在于，所述凹槽包括第一槽部和第二槽部，所述第一槽部和所述第二槽部连通，所述第一槽部具有第一槽底，所述第二槽部具有第二槽底，所述第一槽底与所述支撑面平行，所述第二槽底靠近所述支撑框架的中部的一端向靠近所述支撑框架外侧的一端逐渐向所述支撑面倾斜。3.根据权利要求2所述的掩膜板支撑组件，其特征在于，所述第一槽底和所述第二槽底之间的夹角为钝角。4.根据权利要求3所述的掩膜板支...

【专利技术属性】
技术研发人员：何文双，吴炜钦，罗武峰，蔡晓义，柯贤军，苏君海，李建华，
申请(专利权)人：信利惠州智能显示有限公司，
类型：新型
国别省市：广东,44