According to the film with the device of the invention: a chamber; a holding part substrate in the cavity; to the substrate through the chamber of the film area and keep the substrate in which the holding mobile driving part; to the film and film material supply area the film formed by Yu Zheng film into the substrate of the film area; and cooling the cool part.
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】成膜装置
本专利技术是关于在基板形成膜的成膜装置。
技术介绍
在电子装置的制造中,可凭借等离子PVD或等离子CVD等的等离子处理而在基板形成各种的膜。例如,专利文献1记载边搬送基板边在该基板上形成膜的成膜装置。在如此的成膜装置中,经受处理的基板被加热,可能偏离处理用的适当温度或变形。尤其,在树脂基板等中,变形量可能变大而成为问题。另一方面,存在将膜形成于基板的两个面两者上的成膜装置。在记载于专利文献2的成膜装置中,在成膜部在基板的一个面形成膜后,基板被从成膜部移出并移动至载体旋转部。载体旋转部将保持基板的载体载置构件旋转180度。被旋转的基板送回成膜部,成膜部在另一面形成膜。在这种成膜装置中由于搬送次数、搬送时间等增加的原因,存在产量低的问题。此外,在为了谋求产量的提升同时处理多个基板的情况下,存在一个成膜部将膜形成于其他成膜部的问题。先前技术文献专利文献专利文献1:日本专利技术专利公开2014-58698号公报专利文献2:日本专利技术专利公开2014-28999号公报
技术实现思路
本专利技术的第一方面的目的在于提供一种技术,其有利于在边搬送基板边在基板上形成膜的成膜装置中抑制基板的变形。本专利技术之第一方面涉及一种成膜装置,该成膜装置具备:腔室;保持部,用于在所述腔室中保持基板;驱动部,用于移动保持所述基板的所述保持部,使得所述基板通过所述腔室中的成膜区域;成膜部,用于通过向所述成膜区域供应成膜物质而将膜形成于正通过所述成膜区域的所述基板;以及冷却部,用于冷却所述保持部。本专利技术的第二方面的目的在于提供有利于产量的提升的技术。本专利技术的第二 ...
【技术保护点】
一种成膜装置,具备:腔室;保持部,用于在所述腔室中保持基板;驱动部,用于移动保持所述基板的所述保持部,使得所述基板通过所述腔室中的成膜区域;成膜部,用于通过向所述成膜区域供应成膜物质而将膜形成于正通过所述成膜区域的所述基板;以及冷却部,用于冷却所述保持部。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2014.10.10 JP 2014-2093801.一种成膜装置,具备:腔室;保持部,用于在所述腔室中保持基板;驱动部,用于移动保持所述基板的所述保持部,使得所述基板通过所述腔室中的成膜区域;成膜部,用于通过向所述成膜区域供应成膜物质而将膜形成于正通过所述成膜区域的所述基板;以及冷却部,用于冷却所述保持部。2.如权利要求1所述的成膜装置,其中,所述冷却部包含配置于所述保持部中的冷媒流路、用于向所述冷媒流路供应冷媒的供应部。3.如权利要求2所述的成膜装置,进一步具备:一端连接于设在所述腔室的开口、另一端由闭塞构件所闭塞的波纹管;以及用于将所述保持部与所述闭塞构件连接的中空构件;其中,所述供应部经由所述中空构件从所述腔室的外部向所述保持部供应冷媒。4.如权利要求3所述的成膜装置,进一步具备用于随着所述驱动部移动所述保持部的操作而移动所述闭塞构件的第二驱动部。5.如权利要求1-4中任一项所述的成膜装置,其中,所述驱动部使所述保持部沿着平行于所述基板的处理目标面的移动路径而移动。6.如权利要求5所述的成膜装置,其中,所述成膜部在以下两种情形下均在所述基板上形成膜:所述基板沿着所述移动路径沿第一方向移动;以及所述基板沿着所述移动路径沿与所述第一方向相反方向的第二方向移动。7.如权利要求1-6中任一项所述的成膜装置,其中,所述保持部具备设置在彼此相反的两侧上的第一夹具和第二夹具;以及所述成膜部同时将膜形成于由所述第一夹具所保持的第一基板和由所述第二夹具所保持的第二基板上。8.如权利要求7所述的成膜装置,其中,所述第一基板和第二基板中的每个具有第一面和第二面,所述第一面和第二面是位于彼此相反的两侧上的表面;以及对于所述第一基板和第二基板中的每个,在所述第二面一侧由所述第一夹具所保持的状态下通过所述成膜部在所述第一面上形成膜,在所述第一面一侧由所述第二夹具所保持的状态下通过所述成膜部在所述第二面上形成膜。9.如权利要求8所述的成膜装置,进一步具备操作机构,用于在所述第二面一侧由所述第一夹具所保持的情况下操作所述基板使得所述第一面一侧由所述第二夹具所保持。10.如权利要求7-9中任一项所述的成膜装置,其中,所述成膜部具...
【专利技术属性】
技术研发人员:野泽直之,松木信雄,坂本怜士,石原雅仁,
申请(专利权)人:佳能安内华股份有限公司,
类型:发明
国别省市:日本,JP
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