【技术实现步骤摘要】
：本专利技术涉及一种高速激光点阵光刻机及其光刻方法。
技术介绍
：激光全息防伪技术是采用激光作为光源，通过复杂的光路设计，记录拍摄物体图像信息的干涉条纹等图像，通过光刻机对光刻胶进行刻蚀，再经过显影和电铸制作全息母板，用特殊的机械模压设备进行大量廉价的复制。在普通光照明下，承载这种干涉条纹的复制品材料呈现出变换的色彩、三维的图像文字信息以及动态变化的时空信息。全息母板制作技术复杂，涉及刻蚀显影工艺、电化学工艺等，其中最为关键的技术是光刻机根据图像信息对光刻胶进行刻蚀。传统的点阵光刻机采用静态曝光的工作模式，工作效率低，难以实现大尺寸防伪商标的制作。
技术实现思路
：本专利技术的目的是提供一种高速激光点阵光刻机及其光刻方法。上述的目的通过以下的技术方案实现：一种高速激光点阵光刻机，其组成包括：X-Y工作台，所述的X-Y工作台与控制器连接，所述的控制器与计算机连接，所述的控制器还与X-Y直线电机、交流伺服电机、激光器连接，所述的交流伺服电机与光栅连接，所述的X-Y直线电机与X-Y工作台连接。所述的高速激光点阵光刻机，所述的X-Y工作台上设有自动调焦结构。所述的高速激光点阵光刻机，所述的控制器内设有X-Y位移控制模块、交流伺服控制模块、自动调焦控制模块。所述的高速激光点阵光刻机，所述的控制器通过ARM和单片机与所述的激光器连接。一种所述的高速激光点阵光刻机的光刻方法，该方法步骤如下：X-Y工作台由两台直线电机分别控制X轴与Y轴方向上的位移，采用双向逐行扫描的方式工作，首先系统位置初始化，读第一行图像的文件，运行X-Y工作台，转动光栅转角，检测到曝光位置时触发激光器...
【技术保护点】
一种高速激光点阵光刻机，其组成包括：X‑Y工作台，其特征是：所述的X‑Y工作台与控制器连接，所述的控制器与计算机连接，所述的控制器还与X‑Y直线电机、交流伺服电机、激光器连接，所述的交流伺服电机与光栅连接，所述的X‑Y直线电机与X‑Y工作台连接。
【技术特征摘要】
1.一种高速激光点阵光刻机，其组成包括：X-Y工作台，其特征是：所述的X-Y工作台与控制器连接，所述的控制器与计算机连接，所述的控制器还与X-Y直线电机、交流伺服电机、激光器连接，所述的交流伺服电机与光栅连接，所述的X-Y直线电机与X-Y工作台连接。
2.根据权利要求1所述的高速激光点阵光刻机，其特征是：所述的X-Y工作台上设有自动调焦结构。
3.根据权利要求1或2所述的高速激光点阵光刻机，其特征是：所述的控制器内设有X-Y位移控制模块、交流伺服控制模块、自动调焦控制模块。
4.根据权利要求1或2或3所述的高速激光点阵光刻机，其特征是：所...
【专利技术属性】
技术研发人员：侯英华，
申请(专利权)人：哈尔滨冠标科技有限公司，
类型：发明
国别省市：黑龙江;23
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