本实用新型专利技术涉及一种用于光刻机对准曝光工序的物镜切换装置，与现有技术相比解决了高、低倍物镜切换不便的缺陷。本实用新型专利技术的高倍物镜系统安装在工作台上且位于左反射镜A和左反射镜B之间，右双面反射镜设有右反射镜A和右反射镜B，低倍物镜系统安装在工作台上且位于右反射镜A和右反射镜B之间，运动滑台上安装有四面反射棱柱，四面反射棱柱上设有反射面A、反射面B、反射面C和反射面D，反射面A与左反射镜A相平行，反射面B与左反射镜B相平行，反射面C与右反射镜A相平行，反射面D与右反射镜B相平行。本实用新型专利技术能够方便地进行高倍物镜与低倍物镜的切换，只进行导光而不进行分光，整个光路能量损失小。
【技术实现步骤摘要】
本技术涉及半导体光刻
，具体来说是一种用于光刻机对准曝光工序的物镜切换装置。
技术介绍
在半导体光刻技术中，为了获得更窄的线宽，一般将图形缩放一定的倍率成像在衬底上，物镜倍率越高，图形被缩放的越小，得到的线宽也越窄。但高倍物镜的视场较小，在套刻等工艺需要寻找标记点对准时，非常不方便。因此在实际工艺流程中，一般先根据低倍镜有较大视场的特点，用来寻找标记点（对准工序），在对准完成之后，再使用高倍物镜进行曝光（曝光工序）。低倍物镜和高倍物镜的更换不仅影响了工作效率，而且人工的更换操作还容易对光学器件产生位移，造成对准曝光失焦。如何开发出一种能够直接在高倍物镜和低倍物镜之间进行光源切换的装置已经成为急需解决的技术问题。
技术实现思路
本技术的目的是为了解决现有技术中高、低倍物镜切换不便的缺陷，提供一种用于光刻机对准曝光工序的物镜切换装置来解决上述问题。为了实现上述目的，本技术的技术方案如下：一种用于光刻机对准曝光工序的物镜切换装置，包括光源、衬底和工作台，光源和衬底分别位于工作台的两侧，工作台上安装有运动滑台，所述的工作台上安装有左双面反射镜和右双面反射镜，左双面反射镜与右双面反射镜两者基于运动滑台呈镜像对应；左双面反射镜上设有左反射镜A和左反射镜B，高倍物镜系统安装在工作台上且位于左反射镜A和左反射镜B之间，右双面反射镜设有右反射镜A和右反射镜B，低倍物镜系统安装在工作台上且位于右反射镜A和右反射镜B之间，运动滑台上安装有四面反射棱柱，四面反射棱柱上设有反射面A、反射面B、反射面C和反射面D，反射面A与左反射镜A相平行，反射面B与左反射镜B相平行，反射面C与右反射镜A相平行，反射面D与右反射镜B相平行；当四面反射棱柱运动至高倍物镜系统一侧时，光源发出的光线依次经反射面C、右反射镜A进入低倍物镜系统后再依次经右反射镜B和反射面D反射至衬底上；当四面反射棱柱运动至低倍物镜系统一侧时，光源发出的光线依次经反射面A、左反射镜A进入高倍物镜系统后再依次经左反射镜B和反射面B反射至衬底上。所述的运动滑台为丝杆导轨滑台，四面反射棱柱安装在运动滑台的滑块上。所述的左反射镜A的延伸面与左反射镜B的延伸面的夹角为90度，右反射镜A的延伸面与右反射镜B的延伸面的夹角为90度。所述的反射面A的延伸面与反射面B的延伸面的夹角为90度，反射面C的延伸面与反射面D的延伸面的夹角为90度，反射面A与反射面D相平行，反射面B与反射面C相平行。有益效果本技术的一种用于光刻机对准曝光工序的物镜切换装置，与现有技术相比能够方便地进行高倍物镜与低倍物镜的切换，只进行导光而不进行分光，整个光路能量损失小。同时在进行高低倍物镜使用切换过程中，移动的只是四面反射棱柱，其它的光学器件位置不变，对光路稳定性影响小。具有结构稳定、简单便捷、对准曝光齐焦的特点。附图说明 图1为本技术的结构立体图；图2为图1的俯视图；图3为本技术在曝光工序时的结构俯视图；图4为本技术在对准工序时的结构俯视图；其中，1-光源、2-左双面反射镜、3-右双面反射镜、4-高倍物镜系统、5-低倍物镜系统、6-四面反射棱柱、7-衬底、8-工作台、9-运动滑台、21-左反射镜A、22-左反射镜B、31-右反射镜A、32-右反射镜B、61-反射面A、62-反射面B、63-反射面C、64-反射面D。具体实施方式为使对本技术的结构特征及所达成的功效有更进一步的了解与认识，用以较佳的实施例及附图配合详细的说明，说明如下：如图1和图2所示，本技术所述的一种用于光刻机对准曝光工序的物镜切换装置，包括光源1、衬底7和工作台8，光源1和衬底7分别位于工作台8的两侧，在现有技术中，工作台8上直接放置高倍物镜或低倍物镜，以进行曝光或对准工序。工作台8上安装有运动滑台9，运动滑台9用于安装四面反射棱柱6，运动滑台9可以采用现有技术中的多种技术，如丝杆导轨滑台，或电动导轨。当采用丝杆导轨滑台时，四面反射棱柱6安装在其滑块上，能够在运动滑台9的控制下进行左右移动即可。工作台8上安装有左双面反射镜2和右双面反射镜3，左双面反射镜2与右双面反射镜3两者基于运动滑台9呈镜像对应。左双面反射镜2和右双面反射镜3起到反射传导光路的作用，其可以采用现有技术中的成形产品，也可以根据需要进行设计。即设计一个安装座，在安装座上设左反射镜A21和左反射镜B22，组成左双面反射镜2。同样，右双面反射镜3上也设有右反射镜A31和右反射镜B32。高倍物镜系统4安装在工作台8上且位于左反射镜A21和左反射镜B22之间，高倍物镜系统4用于曝光使用，其与左反射镜A21和左反射镜B22组成了曝光使用的反射光路。低倍物镜系统5安装在工作台8上且位于右反射镜A31和右反射镜B32之间，低倍物镜系统5用于对准使用，其与右反射镜A31和右反射镜B32组成了对准使用的反射光路。四面反射棱柱6用于划分光路使用，四面反射棱柱6上设有反射面A61、反射面B62、反射面C63和反射面D64。其中，反射面A61与左反射镜A21相平行，两者之间进行光路传导；反射面B62与左反射镜B22相平行，两者之间进行光路传导；反射面C63与右反射镜A31相平行，两者之间进行光路传导；反射面D64与右反射镜B32相平行，两者之间进行光路传导。如图4所示，当四面反射棱柱6运动至高倍物镜系统4一侧时，即开始进行对准工序。光源1发出的光线依次经反射面C63、右反射镜A31进入低倍物镜系统5，经过低倍物镜系统5成像后再依次经右反射镜B32和反射面D64反射至衬底7上，从而进行寻找标记点的对准工序。如图3所示，当四面反射棱柱6运动至低倍物镜系统5一侧时，即开始曝光工序。光源1发出的光线依次经反射面A61、左反射镜A21进入高倍物镜系统4，经过高倍物镜系统4成像后，再依次经左反射镜B22和反射面B62反射至衬底7上，从而进行曝光工序。为了更好地形成各个反射点的图像呈现，左反射镜A21的延伸面与左反射镜B22的延伸面的夹角可以为90度，即左反射镜A21往左双面反射镜2方向延伸后，左反射镜B22往左双面反射镜2方向延伸后，两个面产生的夹角为90度。同样，右反射镜A31的延伸面与右反射镜B32的延伸面的夹角也可以为90度。同理，反射面A61的延伸面与反射面B62的延伸面的夹角可以为90度，反射面C63的延伸面与反射面D64的延伸面的夹角可以为90度，反射面A61与反射面D64相平行，反射面B62与反射面C63相平行。在实际使用时，当需要进行对准工序时，运动滑台9运动将四面反射棱柱6移至高倍物镜系统4一侧，即将反射面C63对着光源1。光源1发出的光路先经反射面C63折射后传至右反射镜A31，再经右反射镜A31折射后进入低倍物镜系统5，光路经过低倍物镜系统5后再经右反射镜B32折射至反射面D64上，最后经反射面D64反射至衬底7上。当需要进行曝光工序时，运动滑台9运动将四面反射棱柱6移至低倍物镜系统5一侧，即将反射面A61对着光源1。光源1发出的光路先经反射面A61折射后传至左反射镜A21，再经左反射镜A21折射后进入高倍物镜系统4，光路经过高倍物镜系统4后经左反射镜B22折射至反射面B62，最后经反射面B62本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种用于光刻机对准曝光工序的物镜切换装置，包括光源（1）、衬底（7）和工作台（8），光源（1）和衬底（7）分别位于工作台（8）的两侧，工作台（8）上安装有运动滑台（9），其特征在于：所述的工作台（8）上安装有左双面反射镜（2）和右双面反射镜（3），左双面反射镜（2）与右双面反射镜（3）两者基于运动滑台（9）呈镜像对应；左双面反射镜（2）上设有左反射镜A（21）和左反射镜B（22），高倍物镜系统（4）安装在工作台（8）上且位于左反射镜A（21）和左反射镜B（22）之间，右双面反射镜（3）设有右反射镜A（31）和右反射镜B（32），低倍物镜系统（5）安装在工作台（8）上且位于右反射镜A（31）和右反射镜B（32）之间，运动滑台（9）上安装有四面反射棱柱（6），四面反射棱柱（6）上设有反射面A（61）、反射面B（62）、反射面C（63）和反射面D（64），反射面A（61）与左反射镜A（21）相平行，反射面B（62）与左反射镜B（22）相平行，反射面C（63）与右反射镜A（31）相平行，反射面D（64）与右反射镜B（32）相平行；当四面反射棱柱（6）运动至高倍物镜系统（4）一侧时，光源（1）发出的光线依次经反射面C（63）、右反射镜A（31）进入低倍物镜系统（5）后再依次经右反射镜B（32）和反射面D（64）反射至衬底（7）上；当四面反射棱柱（6）运动至低倍物镜系统（5）一侧时，光源（1）发出的光线依次经反射面A（61）、左反射镜A（21）进入高倍物镜系统（4）后再依次经左反射镜B（22）和反射面B（62）反射至衬底（7）上。...
【技术特征摘要】
1.一种用于光刻机对准曝光工序的物镜切换装置，包括光源（1）、衬底（7）和工作台（8），光源（1）和衬底（7）分别位于工作台（8）的两侧，工作台（8）上安装有运动滑台（9），其特征在于：所述的工作台（8）上安装有左双面反射镜（2）和右双面反射镜（3），左双面反射镜（2）与右双面反射镜（3）两者基于运动滑台（9）呈镜像对应；左双面反射镜（2）上设有左反射镜A（21）和左反射镜B（22），高倍物镜系统（4）安装在工作台（8）上且位于左反射镜A（21）和左反射镜B（22）之间，右双面反射镜（3）设有右反射镜A（31）和右反射镜B（32），低倍物镜系统（5）安装在工作台（8）上且位于右反射镜A（31）和右反射镜B（32）之间，运动滑台（9）上安装有四面反射棱柱（6），四面反射棱柱（6）上设有反射面A（61）、反射面B（62）、反射面C（63）和反射面D（64），反射面A（61）与左反射镜A（21）相平行，反射面B（62）与左反射镜B（22）相平行，反射面C（63）与右反射镜A（31）相平行，反射面D（64）与右反射镜B（32）相平行；当四面反射棱柱（6）运动至高倍物镜系统（4）一侧时，光源（1）发出的光线依...
【专利技术属性】
技术研发人员：沈显勇，
申请(专利权)人：合肥亚歌半导体科技合伙企业有限合伙，
类型：新型
国别省市：安徽;34
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。