一种芯片光刻机的光刻版自动送取料装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种芯片光刻机的光刻版自动送取料装置，包括机座，机座上竖直升降安装有升降座，升降座上安装有水平基座，水平基座上安装有取料机构，取料机构包括支座，支座上滑动安装有第一吸板和第二吸板，第一吸板和第二吸板的滑动方向相同且与水平基座的滑动方向垂直，支座上设置有同步开合机构，第一吸板和第二吸板上均设置有负压抽吸口，负压抽吸口与光刻版的下板面的边缘对应，第一吸板或第二吸板由开合动力装置驱动，第一吸板和第二吸板的相对侧均设置有避让凹口。该自动送取料装置通过第一吸板和第二吸板的开合从光刻版的两侧进入并直接吸附光刻版，第一吸板和第二吸板并不接触版膜，从而避免了版膜的磨损或撕裂。

Photoetching plate automatic feeding and fetching device for chip photoetching machine

The invention discloses a chip mask lithography machine automatic reclaiming device comprises a base, a vertically mounted lifting seat, the lifting seat is installed on the base level, the level of the base is installed on the reclaimer mechanism, reclaimer mechanism comprises a bearing, sliding bearing is provided with a first suction plate and second suction plate, the first the sliding direction of the sliding direction suction plate and second suction plate with the same level of the base and the vertical support is arranged with synchronous switching mechanism, the first suction plate and second suction plate are arranged on the lower surface of the suction mouth, suction mouth and edge mask corresponding to the first or second, the suction plate driven by suction plate switching power device, a first suction plate and second opposite side suction plate are provided with notches to avoid. The automatic fetching device through the first suction plate and second suction plate opening from both sides of the mask and directly into the adsorption mask first suction plate and second suction plate does not contact the version of the film version of the film, so as to avoid wear or tear.

【技术实现步骤摘要】
一种芯片光刻机的光刻版自动送取料装置
本专利技术涉及一种自动送取料装置，尤其涉及一种芯片光刻机的光刻版自动送取料装置。
技术介绍
在集成电路芯片的生产过程中，芯片的设计图形在硅片表面光刻胶上的曝光转印(光刻)是其中最重要的工序之一，该工序所用的设备称为光刻机(曝光机)。光刻机是集成电路加工过程中最关键的设备。而光刻版在光刻过程中，需要利用自动取料装置将光刻版送至光刻版吸附底座上或者将光刻版吸附底座上的光刻版取走，而目前的自动取料装置只适合光面的光刻版，目前的自动取料装置包括可升降的升降座和可水平滑动的水平基座，水平基座上安装有底座和固定于底座上的两个插板，插板上设置有负压抽吸口，插板位于光刻版的下方，插板将光刻版负压吸附稳当后水平移动到光刻版吸附底座的上方，然后升降座下降将光刻版放在光刻版吸附底座上，然后取料装置的插板水平移出。光刻版吸附底座包括处于光刻版左右两侧的座体，座体真空吸附将光刻版的下板面的左右边缘，插板处于左右座体的中部，插板水平移动并不妨碍。然由于光刻工艺的提升和改进，光刻版上的上下表面会粘结有版膜，版膜的厚度薄且易磨损和破裂，目前的自动送取料装置结构并不适用粘结有版膜的光刻版，插板在插入光刻版的下方进行取料时，容易与版膜表面或边缘接触而造成版膜磨损或撕裂，从而使其无法满足后续的光刻要求。
技术实现思路
本专利技术所要解决的技术问题是：提供一种芯片光刻机的光刻版自动送取料装置，该自动送取料装置可通过第一吸板和第二吸板的同步开合从光刻版的两侧进入到光刻版的下方并直接吸附光刻版，并且可避让原有的光刻版吸附底座，第一吸板和第二吸板并不接触版膜，从而避免了版膜的磨损或撕裂，保证了正常的光刻操作。为解决上述技术问题，本专利技术的技术方案是：一种芯片光刻机的光刻版自动送取料装置，包括机座，所述机座上竖直升降安装有由升降动力装置驱动的升降座，所述升降座上水平滑动安装有由水平动力装置驱动的水平基座，所述水平基座上安装有取料机构，所述取料机构包括固定于水平基座上的支座，所述支座上滑动安装有第一吸板和第二吸板，所述第一吸板和第二吸板的滑动方向相同且与水平基座的滑动方向垂直，所述支座上设置有分别与第一吸板和第二吸板连接的同步开合机构，所述第一吸板和第二吸板上均设置有负压抽吸口，该负压抽吸口与负压抽吸系统连接，所述负压抽吸口与光刻版的下板面的边缘对应，所述第一吸板或第二吸板由开合动力装置驱动，所述第一吸板和第二吸板的相对侧均设置有用于避让光刻版吸附底座的避让凹口。作为一种优选的方案，所述同步开合机构包括转动安装于支座上的同步摆轮，所述同步摆轮上安装有第一销轴和第二销轴，所述第一销轴和第二销轴相对于同步摆轮的摆动中心成中心对称布置，所述第一吸板上设置有与第一销轴适配的第一条孔，第二吸板上设置有与第二销轴适配的第二条孔，所述第一销轴和第二销轴分别约束于第一条孔和第二条孔内。作为一种优选的方案，所述底座上设置有限位条孔，所述第一吸板和第二吸板上分别设置有位于限位条孔内的第一限位销和第二限位销。作为一种优选的方案，所述底座与第一吸板之间或底座与第二吸板之间设置有合拢复位弹性件。作为一种优选的方案，所述第一吸板的长度比第二吸板的长度长，所述第一吸板上的避让凹口为一个大避让凹口，第二吸板上的避让缺口为两个小避让凹口，第一吸板上设置了两个负压抽吸口且位于大避让凹口的两侧，第二吸板上设置了两个负压抽吸口且位于远离支座的小避让凹口的两侧，第一吸板上的两个负压抽吸口的连线与第二吸板上的两个负压抽吸口的连线平行，第二吸板上的两个负压抽吸口处于大避让凹口范围内。作为一种优选的方案，所述升降动力装置包括升降电机和丝杠螺母机构，所述机座上固定有两根立柱，所述升降座滑动套装于立柱上，所述升降电机安装于机座上，所述丝杠螺母机构的丝杠竖直转动安装于机座上，所述丝杠螺母机构的螺母固定于升降座上，所述升降电机与丝杠螺母机构的丝杠之间通过齿轮传动机构连接。作为一种优选的方案，所述水平动力装置包括水平驱动气缸，所述升降座上固定有两个水平导杆，所述水平基座活动套装于水平导杆上，所述驱动气缸的缸体固定于升降座上，驱动气缸的活塞杆与水平基座固定连接。作为一种优选的方案，所述底座上设置有第一供气连接头和第二供气连接头，所述第一吸板上设置有第一进气接头，所述第二吸板上设置有第二进气接头，所述第一供气连接头和第一进气接头之间通过软管连通，所述第二供气连接头与第二进气接头通过软管连通，第一吸板板体和第二吸板的板体内均设置有通气通道。采用了上述技术方案后，本专利技术的效果是：在实际的送取料过程中，初始状态时，升降座的位置高于光刻版吸附底座，光刻版被送至到取料工位上的光刻吸附底座上后，升降座下降并且第一吸板和第二吸板张开，第一吸板和第二吸板之间的间距大于光刻版的宽度，升降座下降使第一吸板和第二吸板处于光刻版的下方，而后第一吸板和第二吸板同步合拢，第一吸板和第二吸板与光刻版的下板面边缘对应，该边缘正好也是光刻版吸附底座的吸附边缘，版膜的尺寸小于光刻版的尺寸，从而在光刻版板面边缘形成方便吸附的部位；升降座上升将光刻版抬起，然后第一吸板和第二吸板抽真空将光刻版附着在第一吸板和第二吸板上，而后将光刻版移动到光刻工位的光刻板吸附底座上方，然后升降座下降，此时第一吸板和第二吸板上的避让凹口刚好实现避让，光刻版吸附底座刚好处于避让口区域内，方便将光刻版放置在光刻版吸附底座上，然后取料机构的第一吸板和第二吸板同步张开，第一吸板和第二吸板的张开的宽度超过光刻版的宽度后上升，这样该取料装置在取料的过程中不会与光刻版的版膜接触，避免版膜磨损或撕裂，从而确保光刻机的正常工作，保证了良好的光刻效果。又由于所述同步开合机构包括转动安装于支座上的同步摆轮，所述同步摆轮上安装有第一销轴和第二销轴，所述第一销轴和第二销轴相对于同步摆轮的摆动中心成中心对称布置，所述第一吸板上设置有与第一销轴适配的第一条孔，第二吸板上设置有与第二销轴适配的第二条孔，所述第一销轴和第二销轴分别约束于第一条孔和第二条孔内，该同步开合机构动作准确可靠，开合距离准确，方便第一吸板和第二吸板准确的进入到光刻版的边缘下方，避免因第一吸板和第二吸板开合不准确而接触版膜造成版膜磨损或破裂。又由于所述底座上设置有限位条孔，所述第一吸板和第二吸板上分别设置有位于限位条孔内的第一限位销和第二限位销，利用限位条孔可限定开合的极限位置，从而进一步的确保开合位置准确。又由于所述底座与第一吸板之间或底座与第二吸板之间设置有合拢复位弹性件。这样，利用合拢复位弹性件即可带动第一吸板和第二吸板同步合拢，动作稳定可靠，并且避一旦开合动力装置出现故障时，第一吸板和第二吸板会因为弹性力而收拢，这样避免光刻版从第一吸板和第二吸板上掉落。又由于所述第一吸板的长度比第二吸板的长度长，所述第一吸板上的避让凹口为一个大避让凹口，第二吸板上的避让缺口为两个小避让凹口，第一吸板上设置了两个负压抽吸口且位于大避让凹口的两侧，第二吸板上设置了两个负压抽吸口且位于远离支座的小避让凹口的两侧，第一吸板上的两个负压抽吸口的连线与第二吸板上的两个负压抽吸口的连线平行，第二吸板上的两个负压抽吸口处于大避让凹口范围内，这样，第一吸板和第二吸板的负压抽吸口分布合理，光刻版的受力合理，吸附力更均匀，不易本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种芯片光刻机的光刻版自动送取料装置，包括机座，其特征在于：所述机座上竖直升降安装有由升降动力装置驱动的升降座，所述升降座上水平滑动安装有由水平动力装置驱动的水平基座，所述水平基座上安装有取料机构，所述取料机构包括固定于水平基座上的支座，所述支座上滑动安装有第一吸板和第二吸板，所述第一吸板和第二吸板的滑动方向相同且与水平基座的滑动方向垂直，所述支座上设置有分别与第一吸板和第二吸板连接的同步开合机构，所述第一吸板和第二吸板上均设置有负压抽吸口，该负压抽吸口与负压抽吸系统连接，所述负压抽吸口与光刻版的下板面的边缘对应，所述第一吸板或第二吸板由开合动力装置驱动，所述第一吸板和第二吸板的相对侧均设置有用于避让光刻版吸附底座的避让凹口。

【技术特征摘要】
1.一种芯片光刻机的光刻版自动送取料装置，包括机座，其特征在于：所述机座上竖直升降安装有由升降动力装置驱动的升降座，所述升降座上水平滑动安装有由水平动力装置驱动的水平基座，所述水平基座上安装有取料机构，所述取料机构包括固定于水平基座上的支座，所述支座上滑动安装有第一吸板和第二吸板，所述第一吸板和第二吸板的滑动方向相同且与水平基座的滑动方向垂直，所述支座上设置有分别与第一吸板和第二吸板连接的同步开合机构，所述第一吸板和第二吸板上均设置有负压抽吸口，该负压抽吸口与负压抽吸系统连接，所述负压抽吸口与光刻版的下板面的边缘对应，所述第一吸板或第二吸板由开合动力装置驱动，所述第一吸板和第二吸板的相对侧均设置有用于避让光刻版吸附底座的避让凹口。2.如权利要求1所述的一种芯片光刻机的光刻版自动送取料装置，其特征在于：所述同步开合机构包括转动安装于支座上的同步摆轮，所述同步摆轮上安装有第一销轴和第二销轴，所述第一销轴和第二销轴相对于同步摆轮的摆动中心成中心对称布置，所述第一吸板上设置有与第一销轴适配的第一条孔，第二吸板上设置有与第二销轴适配的第二条孔，所述第一销轴和第二销轴分别约束于第一条孔和第二条孔内。3.如权利要求2所述的一种芯片光刻机的光刻版自动送取料装置，其特征在于：所述底座上设置有限位条孔，所述第一吸板和第二吸板上分别设置有位于限位条孔内的第一限位销和第二限位销。4.如权利要求3所述的一种芯片光刻机的光刻版自动送取料装置，其特征在于：所述底座与第一吸板之间或底座与第二吸板之间设置有合拢复位弹性件。5.如权利要求...

【专利技术属性】
技术研发人员：丁桃宝，
申请(专利权)人：张家港晋宇达电子科技有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏,32