本实用新型公开了一种芯片光刻机的光刻版取料装置，包括支座，所述支座上安装有第一吸板和第二吸板，第一吸板和第二吸板的滑动方向相同，支座上设置有分别与第一吸板和第二吸板连接的同步开合机构，第一吸板和第二吸板上均设置有负压抽吸口，该负压抽吸口...

本实用新型公开了一种光刻机的硅片输送装置，包括机架，机架上滑动安装有第一输送架和第二输送架，第一输送架包括水平滑座，水平滑座上竖直滑动安装有竖直连杆竖直连杆的顶部固定有吸片架，第一输送架的吸片架比第二输送架的吸片架的高度低，吸片架上设置...

本实用新型公开了一种光刻机的硅片自动校正装置，包括机架和校正平台，机架上滑动安装有X滑座，X滑座上滑动安装有Y滑座，Y滑座上旋转安装有旋转座，旋转座上滑动安装有Z滑座，Z滑座从贯通孔伸出，Z滑座的上端固定有硅片吸盘，校正平台上设置有处于...

本实用新型公开了一种光刻机硅片自动检测校正系统，包括至少三个校圆检测传感器、粗检测传感器和精检测传感器，三个校圆检测传感器设置于同一校正圆的圆周上，粗检测传感器设置于校正平台上且处于粗检测工位，精检测传感器设置于校正平台上且处于精检测工...

本实用新型公开了一种光刻机的取片装置，包括机架，所述机架上竖直滑动安装有升降座，机架上水平滑动安装有取片座，取片座与水平驱动装置传动连接，机架上设置有用于检测片盒内对应的插槽中是否有硅片的对射式传感器，对射式传感器的发射端或接收端固定位...

本实用新型公开了一种芯片光刻机的光刻版自动送取料装置，包括机座，机座上竖直升降安装有升降座，升降座上安装有水平基座，水平基座上安装有取料机构，取料机构包括支座，支座上滑动安装有第一吸板和第二吸板，第一吸板和第二吸板的滑动方向相同且与水平...

本实用新型公开了一种光刻机用硅片盛放盒，包括盒体，所述盒体上设置有可容纳硅片的容纳腔，盒体的前侧面设置了开口，所述容纳腔的左腔壁和右腔壁上均等间距设置有若干个平行设置的支撑导轨，相邻支撑导轨之间的间距构成了方便硅片插入的插槽，左腔壁上的...

本实用新型公开了一种光刻机的硅片转移装置，包括机架，机架上安装有第一转移架和第二转移架，第一转移架和第二转移架均与同一个水平动力装置传动连接，第一转移架包括第一滑板，第一滑板的底部安装有水平设置的第一转移框，第一转移框上设置有避让校正机...

本实用新型公开了一种光刻机的硅片进料校准装置，该硅片进料校准装置可将硅片从片盒中逐片取出后利用第一输送架和第二输送架交替送至校正工位，在校正工位上利用至少三个校圆对射传感器、粗检测传感器和精检测传感器快速校准，确保硅片的圆心和缺口处于指...

本发明公开了一种芯片光刻机的光刻版自动送取料装置，包括机座，机座上竖直升降安装有升降座，升降座上安装有水平基座，水平基座上安装有取料机构，取料机构包括支座，支座上滑动安装有第一吸板和第二吸板，第一吸板和第二吸板的滑动方向相同且与水平基座...

本发明公开了一种光刻机的硅片进料校准装置，同时还公开了该硅片的进料校准方法，该硅片进料校准装置可将硅片从片盒中逐片取出后利用第一输送架和第二输送架交替送至校正工位，在校正工位上利用至少三个校圆对射传感器、粗检测传感器和精检测传感器快速校...